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Mo/Si多层膜小角X射线衍射结构表征 被引量:6
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作者 喻波 《中国光学与应用光学》 2010年第6期623-629,共7页
为了实现对Mo/Si多层膜的结构表征,测量了多层膜样品的小角X射线衍射谱。介绍了小角X射线衍射谱的分析方法,包括Bragg峰值拟合法,傅里叶变换法,反射谱拟合法。Bragg峰值拟合法和反射谱拟合法得到多层膜的周期厚度为7.09nm,两种模型的反... 为了实现对Mo/Si多层膜的结构表征,测量了多层膜样品的小角X射线衍射谱。介绍了小角X射线衍射谱的分析方法,包括Bragg峰值拟合法,傅里叶变换法,反射谱拟合法。Bragg峰值拟合法和反射谱拟合法得到多层膜的周期厚度为7.09nm,两种模型的反射谱拟合法得到界面的粗糙度(扩散长度)为0.40~0.41nm(Si在Mo上),0.52~0.70nm(Mo在Si上),前者要比后者小,这与透射电镜法(TEM)得到的结果0.40nm(Si在Mo上),0.6~0.65nm(Mo在Si上)是一致的。通过基于扩散模型的反射谱拟合法得到的折射率剖面也与由高倍率透射电镜(HRTEM)积分得到的灰度值剖面在趋势上是一致的。通过X射线衍射谱和TEM图像对Mo/Si多层膜进行综合表征,得到了多层膜的精细结构信息,这对多层膜制备工艺的优化具有十分重要的意义。 展开更多
关键词 MO/SI多层膜 小角X射线衍射 傅里叶变换 遗传算法 内扩散模型
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从报废发烟剂中浸取回收六氯乙烷
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作者 汪海涛 刘斐 +3 位作者 牟瑛琳 郑卫平 邓轶 李高宝 《高校化学工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期232-237,共6页
利用溶剂浸取分离法,研究了不同浸取溶剂种类、液固比、反应温度、反应时间、转速等因素对报废发烟剂中六氯乙烷回收率的影响,并对其固液浸取动力学进行了对比研究。发现以丙酮作为浸取溶剂,液固比在20:1-40:1,转速为450 r?min?1,在... 利用溶剂浸取分离法,研究了不同浸取溶剂种类、液固比、反应温度、反应时间、转速等因素对报废发烟剂中六氯乙烷回收率的影响,并对其固液浸取动力学进行了对比研究。发现以丙酮作为浸取溶剂,液固比在20:1-40:1,转速为450 r?min?1,在298 K条件下浸取发烟剂40 min,六氯乙烷的总浸取率(浸取到液相中的物料量与固体中初始物料总量的比率)可达90%以上,该浸取过程属于属固相产物层内扩散步骤控制类型浸取法能够很好地分离六氯乙烷,是一种分离处理报废发烟剂中的各组分的有效方法。 展开更多
关键词 报废发烟剂 六氯乙烷 浸取率 内扩散模型
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利用电石渣进行赤泥脱碱研究 被引量:2
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作者 王亚丽 丁思哲 王玲玉 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2023年第10期3617-3623,共7页
赤泥是制铝工业提取氧化铝时排出的工业固体废弃物,高碱含量限制了其利用。利用电石渣替代天然钙基材料进行赤泥脱碱,分析脱碱温度、电石渣掺量、液固比、反应时间四个因素对脱碱效果的影响,探究电石渣进行赤泥脱碱的反应机理。结果表明... 赤泥是制铝工业提取氧化铝时排出的工业固体废弃物,高碱含量限制了其利用。利用电石渣替代天然钙基材料进行赤泥脱碱,分析脱碱温度、电石渣掺量、液固比、反应时间四个因素对脱碱效果的影响,探究电石渣进行赤泥脱碱的反应机理。结果表明,随着温度升高、电石渣掺量增加、反应时间增加,赤泥脱碱效率升高;在温度为90℃、液固比为4∶1、反应时间为360 min、赤泥与电石渣的质量比为1∶1的反应条件下,脱碱效率达到81%,脱碱后赤泥中的Na2O含量不大于1%(质量分数),满足水泥原料的要求。电石渣进行赤泥脱碱反应符合内扩散未反应收缩核模型,提高反应温度与反应物的质量均可提高脱碱率。 展开更多
关键词 赤泥 石灰脱碱 电石渣 脱碱效率 内扩散未反应收缩核模型
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