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PECVD法玻璃容器内壁沉积SiO_2薄膜的SEM表征 被引量:2
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作者 朱恒伟 李文杰 +4 位作者 张金云 叶欢 陈国安 吕斌 吕建国 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期666-670,共5页
采用自主研制的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)专用设备,在玻璃容器内壁沉积SiO2薄膜,用作阻隔涂层。通过设计沉积工艺,在不同的气体流量比例、工作气压和生长时间等生长条件下制备出SiO2薄膜;通过扫描电子显微镜(SEM)测试表征薄膜的... 采用自主研制的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)专用设备,在玻璃容器内壁沉积SiO2薄膜,用作阻隔涂层。通过设计沉积工艺,在不同的气体流量比例、工作气压和生长时间等生长条件下制备出SiO2薄膜;通过扫描电子显微镜(SEM)测试表征薄膜的形貌和结构,评价薄膜的性能。根据表征结果分析了各种工艺参数对薄膜性能的影响,获得了较为优化的工艺参数,在玻璃容器内壁制备出较高质量的SiO2薄膜。 展开更多
关键词 PECVD 玻璃容器 内壁镀膜 SIO2薄膜 SEM表征
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10m长管道内壁类金刚石薄膜沉积及性能 被引量:2
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作者 靳朋礼 田修波 巩春志 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期49-56,共8页
工业生产过程中管道内壁经常受到输送物质的腐蚀和磨损,对管道内壁进行涂层防护十分必要,而目前鲜有在大长径比管道内壁镀膜的报道,且缺乏对大长径比管道内壁膜层性能的研究。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在直径100 mm、长1... 工业生产过程中管道内壁经常受到输送物质的腐蚀和磨损,对管道内壁进行涂层防护十分必要,而目前鲜有在大长径比管道内壁镀膜的报道,且缺乏对大长径比管道内壁膜层性能的研究。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在直径100 mm、长10 m管道内壁沉积类金刚石(DLC)薄膜,并研究管道内工作气体的等离子体放电辉光光谱、膜层表面亮度、水静态接触角、硬度、摩擦因数和拉曼光谱等。结果表明:管道内等离子体光谱显示管内等离子体中有Ar^(+)和乙炔分解成的C_(2)、H和CH;膜层表面的亮度L*最高达到37.4和色差ΔE^(*)最大1.9,膜层拉曼光谱结果表明靠近管道两端和中间位置膜层的I_(D)/I_(G)均匀,膜层水静态接触角显示靠近管道两端的膜层接触角略小;靠近管道两端膜层硬度相比中间位置的膜层硬度高,并且磨损测试中膜层均未出现破损剥落,膜层具有高的耐磨性。试验实现了在大长径比的管道内壁沉积耐磨损的DLC膜层,为长管道内壁均匀镀膜提供了理论支持和技术指导。 展开更多
关键词 等离子体增强化学气相沉积(PECVD) 长管道 内壁镀膜 类金刚石
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美国西南研究院等离子全方位离子镀膜技术研究及实际应用 被引量:9
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作者 魏荣华 李灿民 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期1-10,共10页
文中介绍了美国西南研究院(Southwest Research Institute-SwRI)等离子全方位离子镀膜技术(PI-ID)的最新研究成果。SwRI从实际应用出发,在等离子表面工程领域成功研发了一些新技术,PIID技术为其中一种。近几年来,SwRI研究的重点为类金刚... 文中介绍了美国西南研究院(Southwest Research Institute-SwRI)等离子全方位离子镀膜技术(PI-ID)的最新研究成果。SwRI从实际应用出发,在等离子表面工程领域成功研发了一些新技术,PIID技术为其中一种。近几年来,SwRI研究的重点为类金刚石(DLC)涂层的高速率沉积,制备超厚DLC涂层用于提高工件的耐磨性和耐腐蚀性能、憎水DLC涂层以及长管道内表面的镀膜技术。与传统的脉冲辉光放电(PGD)技术不同,SwRI基于空心阴极放电(HCD)等离子技术研发了一套独特的镀膜技术,同时讨论了HCD技术的原理,并对HCD和PGD技术制备DLC涂层的实验结果和这两项技术的实际应用进行了讨论。最后,对该技术最新的研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 DLC 脉冲辉光放电 空心阴极放电 管道内壁镀膜 冲蚀 磨损 腐蚀
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