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光谱探测中的超宽带减反射膜
被引量：
2
1
作者
付秀华
潘永刚
+2 位作者
刘冬梅
张静
熊仕富
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期1-5,共5页
设计并研制了基于声光晶体的1 300-3 400nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速...
设计并研制了基于声光晶体的1 300-3 400nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速率不稳定的材料,待蒸发速率稳定后,同时沉积另一种蒸发速率较稳定的材料,可提高共蒸发时两种材料的质量配比准确度从而获得所需要的折射率.制备的薄膜在所需波段平均透射率大于96%,薄膜满足相应的环境检测要求.
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关键词
红外减反射膜
声光可调滤光器
共蒸发技术
TeO2晶体
材料吸收
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职称材料
题名
光谱探测中的超宽带减反射膜
被引量：
2
1
作者
付秀华
潘永刚
刘冬梅
张静
熊仕富
机构
长春理工大学光电工程学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期1-5,共5页
基金
重大科技攻关专项(No.20140203002GX)资助
文摘
设计并研制了基于声光晶体的1 300-3 400nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速率不稳定的材料,待蒸发速率稳定后,同时沉积另一种蒸发速率较稳定的材料,可提高共蒸发时两种材料的质量配比准确度从而获得所需要的折射率.制备的薄膜在所需波段平均透射率大于96%,薄膜满足相应的环境检测要求.
关键词
红外减反射膜
声光可调滤光器
共蒸发技术
TeO2晶体
材料吸收
Keywords
Infrared antireflection coating
Acousto-optic tunable filter
Co-evaporation technology
TeO2 crystal
Absorption of material
分类号
O484 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
光谱探测中的超宽带减反射膜
付秀华
潘永刚
刘冬梅
张静
熊仕富
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
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