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微电子用过氧化氢的制备方法
1
《无机盐工业》
CAS
北大核心
2005年第1期60-60,共1页
一种制备更纯的微电子用过氧化氢的方法，首先将过氧化氢溶解，然后通过蒸馏提高纯度，再加入少量螯合物和无离子改变的共聚物吸收剂，如用苯乙稀-二乙烯苯共聚物，最后获得较高纯度的过氧化氢溶液，以满足生产计算机微处理器蕊片的需要。
关键词
过氧化氢
制备方法
共聚物吸收剂
计算机微处理器
微电子
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职称材料
题名
微电子用过氧化氢的制备方法
1
出处
《无机盐工业》
CAS
北大核心
2005年第1期60-60,共1页
文摘
一种制备更纯的微电子用过氧化氢的方法，首先将过氧化氢溶解，然后通过蒸馏提高纯度，再加入少量螯合物和无离子改变的共聚物吸收剂，如用苯乙稀-二乙烯苯共聚物，最后获得较高纯度的过氧化氢溶液，以满足生产计算机微处理器蕊片的需要。
关键词
过氧化氢
制备方法
共聚物吸收剂
计算机微处理器
微电子
分类号
TQ123.6 [化学工程—无机化工]
TP368.1 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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1
微电子用过氧化氢的制备方法
《无机盐工业》
CAS
北大核心
2005
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