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窄原子束在共振驻波场中的扩散
1
作者 周石伦 曾高坚 +1 位作者 敖胜美 曾朝阳 《湖南师范大学自然科学学报》 CAS 1997年第1期30-35,共6页
研究在短时原子与场相互作用极限下窄原子束在共振驻波场中的运动．原子的平动和内部运动按量子力学处理，而电磁场则处理为经典场．结果表明，原子的动量几率密度由两种动量分布组成．在典型的情况下。
关键词 窄原子束 扩散 动量几率密度 共振驻波场
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光学工艺 微细加工技术与设备
2
《中国光学》 CAS 2005年第5期99-100,共2页
TN305．7 2005053954 光刻工艺中缺陷来源的分析=Analysis on defect sources in photolithographic process[刊,中]／邓涛(重庆光电技术 研究所．重庆(400060)),李平…∥半导体光电．-2005, 26(3)．-229-231 对半导体集成电路和器件制... TN305．7 2005053954 光刻工艺中缺陷来源的分析=Analysis on defect sources in photolithographic process[刊,中]／邓涛(重庆光电技术 研究所．重庆(400060)),李平…∥半导体光电．-2005, 26(3)．-229-231 对半导体集成电路和器件制作过程中光刻工艺产生 的各种缺陷种类及来源进行了集中分析,提出了一些减少 或消除这些缺陷的办法和措施。图1(于晓光) TN305．7 2005053955 用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析=Anal- 展开更多
关键词 微细加工光学技术 光刻工艺 光学工艺 热原子束 半导体集成电路 光电技术 蒙特卡罗算法 共振激光驻波场 国家重点实验室 技术与设备
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