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基于双棱镜的全视场外差干涉测量: 1; 作者焦琪璐朱聪慧 +2 位作者吕彤伍洲张文喜《光学精密工程》北大核心 2025年第7期1019-1030,共12页; 为了提升全视场外差干涉仪的测量适用性,降低寄生波、混频对干涉仪测量结果的影响,实现高精度低噪声的动态干涉测量,提出了基于双棱镜新型干涉仪构型。该系统能够适用于全视场外差动态干涉测量技术,解决混频对测量结果的影响,进一步降... 展开更多; 关键词干涉测量双棱镜构型全视场外差寄生波混频; 在线阅读下载PDF 职称材料

全视场外差干涉三维测量系统被引量：16: 2; 作者尚万祺张文喜 +2 位作者伍洲李杨孔新新《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期2097-2104,共8页; 结构光三维测量技术具有快速、无损接触、重复性好等特点,被广泛应用在模具检测及工程制造中,但传统投影式结构具有离焦模糊的缺点。本文采用全视场外差干涉的原理,使用高精度声光移频外差干涉条纹代替传统光栅投影中的编码条纹,与传统... 展开更多; 关键词三维测量全视场外差声光移频相位高度映射; 在线阅读下载PDF 职称材料

全视场外差短相干形貌测量技术被引量：7: 3; 作者吕彤张文喜 +3 位作者吕笑宇李杨伍洲孔新新《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期800-807,共8页; 针对工业检测中对微米量级测量精度、秒级测量时间的检测需求,提出了全视场外差短相干形貌测量方案。本方案采用短相干光源,实现大步长测量,节约扫描时间;采用全视场外差技术,实现干涉轮廓的快速反演,在抑制振动、直流噪声对测量精度影... 展开更多; 关键词光学测量三维形貌短相干测量全视场外差; 在线阅读下载PDF 职称材料

全视场外差移相双波长干涉面形检测技术被引量：6: 4; 作者樊国翔李杨 +2 位作者张文喜伍洲吕彤《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第9期122-130,共9页; 双波长干涉检测技术可以实现高动态范围与高测试精度的兼顾,是一种极具潜力的检测技术,用于干涉检测的压电位移机械移相技术存在着一些问题,使用全视场外差移相技术,低频差的外差光源与面阵探测器采集帧率相配合,相较于传统的压电位移... 展开更多; 关键词面形检测技术全视场外差双波长干涉非球面移相; 在线阅读下载PDF 职称材料

混频对全视场外差动态干涉仪测量精度的影响被引量：4: 5; 作者杨宇琦李杨 +2 位作者吕彤张文喜伍洲《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期1267-1276,共10页; 全视场外差动态干涉仪在面形测量方面具有测量精度高、抗干扰能力强等优点,适合用于长焦距面形的动态干涉测量以及大口径光学元件的测量。但是干涉仪系统内部光学元件性能不理想以及元件装配存在误差等,会在干涉光路中引入频率混叠,影... 展开更多; 关键词干涉测量全视场外差混频测量误差; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于双棱镜的全视场外差干涉测量: 1; 作者焦琪璐朱聪慧吕彤伍洲张文喜; 机构中国科学院空天信息创新研究院中国科学院大学光电学院; 出处《光学精密工程》北大核心 2025年第7期1019-1030,共12页; 基金中国科学院科研仪器设备研制项目(No.PTYQ2024TD0036)。; 文摘为了提升全视场外差干涉仪的测量适用性,降低寄生波、混频对干涉仪测量结果的影响,实现高精度低噪声的动态干涉测量,提出了基于双棱镜新型干涉仪构型。该系统能够适用于全视场外差动态干涉测量技术,解决混频对测量结果的影响,进一步降低寄生波对测量结果的影响,同时采用光纤出射的理想光代替参考面,能够避免参考面不均匀对测量精度的影响。解释了干涉仪的基本构型,描述了测量原理,对提出的双棱镜结构的寄生波进行建模仿真,对混频误差进行论证,并进行了寄生波、混频情况的实验验证。实验结果表明:发散结构寄生波相对平行光结构寄生波自然对数量级相差最高为3.2,该构型无混频因素的影响,在测量反射率为3%的元件时,引入的面形测量误差相对泰曼构型优于0.0155λ,与仿真结果一致。基于双棱镜的全视场外差干涉测量技术提升了测量适用性,降低寄生波混频对干涉仪中低频率测量结果的影响,抑制了混频的影响,进一步提升了干涉仪的测量精度。; 关键词干涉测量双棱镜构型全视场外差寄生波混频; Keywords interferometric measurement double-prism configuration full-field heterodyne stray light frequency mixing; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程] TH744 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名全视场外差干涉三维测量系统被引量：16: 2; 作者尚万祺张文喜伍洲李杨孔新新; 机构中国科学院计算光学成像技术重点实验室中国科学院大学光电学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期2097-2104,共8页; 基金国家自然科学基金青年科学基金资助项目（No.61605217）中国科学院青年创新促进会资助项目（No.2015127）; 文摘结构光三维测量技术具有快速、无损接触、重复性好等特点,被广泛应用在模具检测及工程制造中,但传统投影式结构具有离焦模糊的缺点。本文采用全视场外差干涉的原理,使用高精度声光移频外差干涉条纹代替传统光栅投影中的编码条纹,与传统工业相机结合使用便可获取快速的全视场三维数据。根据对系统参数的建模计算,设计加工了外差干涉三维测量仪,联合使用电动平台及棋盘格标定板来获取该系统的相位高度映射模型,最后对标准陶瓷台阶进行了测量。实验结果复现了原物体的三维形貌及高度信息,在30°的观测角下系统的高度分辨率为22 μm,视场内的空间分辨率优于58 μm,测量标准陶瓷平板,高度误差为75 μm。该方法具有检测速度快、体积紧凑、抗环境干扰性强等特点。; 关键词三维测量全视场外差声光移频相位高度映射; Keywords three dimensional measurement full-field heterodyne acoustic optical frequency shifter phase-to-height; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程] TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名全视场外差短相干形貌测量技术被引量：7: 3; 作者吕彤张文喜吕笑宇李杨伍洲孔新新; 机构中国科学院光电研究院中国科学院大学光电学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期800-807,共8页; 基金国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.61605217)。; 文摘针对工业检测中对微米量级测量精度、秒级测量时间的检测需求,提出了全视场外差短相干形貌测量方案。本方案采用短相干光源,实现大步长测量,节约扫描时间;采用全视场外差技术,实现干涉轮廓的快速反演,在抑制振动、直流噪声对测量精度影响的同时,提高数据反演的效率。搭建了实验验证系统,对测量时间和测量精度进行了实验验证,结果表明,系统的探测时长小于10 s,测量精度优于2μm。后续经进一步优化设计,探测时间可小于5 s,探测精度优于微米量级。该方案具有测量速度较快和测量精度较高等优势,在对效率要求较高的工业检测领域具有一定的应用前景。; 关键词光学测量三维形貌短相干测量全视场外差; Keywords optical measurement three-dimensional profilometry short coherent light source full-field heterodyne; 分类号 P164 [天文地球—天文学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名全视场外差移相双波长干涉面形检测技术被引量：6: 4; 作者樊国翔李杨张文喜伍洲吕彤; 机构中国科学院空天信息创新研究院中国科学院计算光学成像技术重点实验室中国科学院大学光电学院; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第9期122-130,共9页; 基金中国科学院战略性先导科技专项(XDC07040300)。; 文摘双波长干涉检测技术可以实现高动态范围与高测试精度的兼顾,是一种极具潜力的检测技术,用于干涉检测的压电位移机械移相技术存在着一些问题,使用全视场外差移相技术,低频差的外差光源与面阵探测器采集帧率相配合,相较于传统的压电位移机械移相技术,可以同时保证不同波长的移相精度,简化移相的复杂度,且可以方便实现多步移相。提出了全视场外差移相双波长干涉测量技术,并搭建了全视场外差移相双波长干涉测量系统,测试了在边缘最高偏离顶点球13μm的非球面以及高度为(1.3±0.1)μm的台阶,经过实验验证其非球面面形PV测试精度为λ/3.53 (λ=633 nm),面形PV测试重复精度为λ/77.38,面形RMS测试精度为λ/14.16,面形RMS测试重复精度为λ/919.10,台阶高度测试精度为λ/16.19,测试重复精度为λ/311.85。; 关键词面形检测技术全视场外差双波长干涉非球面移相; Keywords surface testing technology full-field heterodyne two wavelength interferometry asphere phase shifting; 分类号 TH741 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名混频对全视场外差动态干涉仪测量精度的影响被引量：4: 5; 作者杨宇琦李杨吕彤张文喜伍洲; 机构中国科学院空天信息创新研究院中国科学院大学光电学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期1267-1276,共10页; 基金中国科学院战略性先导科技专项(No.XDC07040300)。; 文摘全视场外差动态干涉仪在面形测量方面具有测量精度高、抗干扰能力强等优点,适合用于长焦距面形的动态干涉测量以及大口径光学元件的测量。但是干涉仪系统内部光学元件性能不理想以及元件装配存在误差等,会在干涉光路中引入频率混叠,影响干涉仪的测量精度。为了分析混频对全视场外差动态干涉仪测量精度的影响,从混频产生的原因出发,建立了由混频引入的测量误差的理论模型,分析了混频程度对测量精度的影响,分析结果表明,测量误差与混频程度呈非线性正相关,混频会造成测量面形结果上叠加一个和干涉条纹相同频率的周期性误差。搭建了全视场外差动态干涉测量实验系统,验证了不同混频程度对面形测量精度的影响,当混频程度为0.029时,面形测量误差为0.053λ;当混频程度为0.120时,面形测量误差为0.110λ,与仿真分析结果吻合。本文的研究对研制高精度全视场外差动态干涉仪具有实际意义。; 关键词干涉测量全视场外差混频测量误差; Keywords interferometry full-field heterodyne frequency mixing measurement error; 分类号 O439 [机械工程—光学工程] TH74 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于双棱镜的全视场外差干涉测量	焦琪璐朱聪慧吕彤伍洲张文喜	《光学精密工程》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	全视场外差干涉三维测量系统	尚万祺张文喜伍洲李杨孔新新	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	16	在线阅读下载PDF 职称材料
3	全视场外差短相干形貌测量技术	吕彤张文喜吕笑宇李杨伍洲孔新新	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2020	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	全视场外差移相双波长干涉面形检测技术	樊国翔李杨张文喜伍洲吕彤	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2022	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	混频对全视场外差动态干涉仪测量精度的影响	杨宇琦李杨吕彤张文喜伍洲	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2023	4	在线阅读下载PDF 职称材料