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题名全自动硅片下料机碎片分析与优化设计
被引量：2
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作者
段建国
穆星泽
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机构
中国电子科技集团公司第二研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2019年第3期13-16,共4页
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文摘
全自动硅片下料机在生产过程中,容易受到刻蚀工艺机台碎片的影响,出现堵片、流片等问题,从而降低良品率。通过分析工艺机台产生的几种碎片形态,提出了加装碎片检测装置和改造下料机翻转结构的解决方案;该方案能及时检测碎片,并通过优化后的结构处理碎片,提高了设备的稳定性。
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关键词
全自动硅片下料机
碎片分析与处理
结构优化
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Keywords
Automatic silicon wafer unloading machine
Fragment analysis and processing
Construction optimization
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名太阳能电池片传输中的表面脏污分析与优化
被引量：3
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作者
席思南
王鹏鹏
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机构
中国电子科技集团公司第二研究所
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出处
《电子工艺技术》
2016年第6期367-369,共3页
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文摘
太阳能电池片(硅片)在全自动硅片下料机的传输过程中,容易出现皮带印迹造成硅片污染,降低良品率,影响电池片的转换效率。通过分析全自动硅片下料机在运行过程中产生皮带印迹和脏污的原因,提出了优化直流步进电机传输段和交流步进电机传输段的解决方案,提高了全自动硅片下料机的洁净性和稳定性。
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关键词
太阳能电池片
全自动硅片下料机
传输印迹
工艺优化
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Keywords
solar cell
automatic wafer download machine
dirt during transmission
process optimization
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分类号
TM914
[电气工程—电力电子与电力传动]
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