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题名基于石英的声表面波宽量程气压传感器研究
被引量：3
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作者
李学玲
王文
范淑瑶
程利娜
高旭
胡梵冰
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机构
中国科学院声学研究所
中国科学院大学
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2021年第4期435-438,442,共5页
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基金
国家重点研发计划基金资助项目(2018YFB2002500)
国家自然科学基金委联合重点基金资助项目(U1837209)。
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文摘
该文提出了一种面向航天航空飞行器宽量程压力检测的声表面波(SAW)传感器的设计方法。在Y切石英晶体上,利用半导体平面工艺设计并制作了单端对谐振型传感器,在此基础上,通过石英干法刻蚀工艺制备了压力参考腔,并构建了全石英封装的面压式传感结构。利用搭建的气压测试平台,对制备的SAW传感器性能进行测试,测试结果表明,传感器在0~3.6 MPa量程内获得了1.36 kHz/MPa的检测灵敏度,并表现出良好的线性度。
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关键词
声表面波
气压传感器
单端对谐振器
宽量程
全石英封装
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Keywords
SAW
pressure sensor
one-port resonator
wide range
all quartz package
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
TM22
[一般工业技术—材料科学与工程]
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