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应用碳化硅表面改性技术降低全息-离子束刻蚀光栅刻槽的粗糙度
被引量：
1
1
作者
王彤彤
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第11期1489-1493,共5页
采用具有良好比刚度和热稳定性的碳化硅材料作为基底,使用全息-离子束刻蚀技术制作了光栅。碳化硅材料表面固有缺陷导致制作的光栅刻槽表面粗糙度高,槽底和槽顶粗糙度分别达到了29.6 nm和65.3nm(R q)。通过等离子辅助沉积技术在碳化硅...
采用具有良好比刚度和热稳定性的碳化硅材料作为基底,使用全息-离子束刻蚀技术制作了光栅。碳化硅材料表面固有缺陷导致制作的光栅刻槽表面粗糙度高,槽底和槽顶粗糙度分别达到了29.6 nm和65.3nm(R q)。通过等离子辅助沉积技术在碳化硅表面镀制一层均匀的硅改性层,经过抛光可以获得无缺陷的超光滑表面。XRD测试表明制备的硅改性层为无定形结构。原子力显微镜的测试结果表明:经过抛光后,表面粗糙度为0.64 nm(R q)。在此表面上制作的光栅刻槽表面粗糙度明显降低,槽底和槽顶粗糙度分别为2.96nm和7.21 nm,相当于改性前的1/10和1/9。
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关键词
碳化硅
表面改性
光栅
全息
-
离子
束
刻蚀
等
离子
辅助
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职称材料
锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响
被引量：
2
2
作者
葛建平
沈为民
+1 位作者
刘全
陈明辉
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013年第6期1557-1561,共5页
与矩形槽和正弦槽光栅相比,锯齿槽光栅具有高的衍射效率,可采用全息离子束刻蚀和单点金刚石车削两种方法制造。首先,介绍了这两种方法的制造误差。然后,分析了这些制造误差对用于可见近红外和长波红外成像光谱仪的光栅衍射效率的影响,...
与矩形槽和正弦槽光栅相比,锯齿槽光栅具有高的衍射效率,可采用全息离子束刻蚀和单点金刚石车削两种方法制造。首先,介绍了这两种方法的制造误差。然后,分析了这些制造误差对用于可见近红外和长波红外成像光谱仪的光栅衍射效率的影响,指出闪耀角误差、槽顶角误差和刻刀圆弧半径是影响锯齿槽光栅衍射效率的关键因素。为制作高质量成像光谱仪用光栅奠定了理论基础和指导。
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关键词
锯齿槽光栅
全息离子束刻蚀
单点金刚石车削
误差
衍射效率
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职称材料
无缝光谱仪用紫外透射闪耀光栅的制作
被引量：
2
3
作者
陈智文
王雅楠
+4 位作者
蔡茂琦
陈火耀
刘正坤
邱克强
洪义麟
《天文学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期73-80,共8页
无缝光谱巡天是如今国际天文学研究的重点方向,相比较地基巡天任务,空间巡天可获取更多紫外波段与红外波段的光谱信息,其发展受到色散元件的制约,针对紫外波段的核心色散元件|紫外透射闪耀光栅开展了一系列研究.通过全息干涉光刻产生图...
无缝光谱巡天是如今国际天文学研究的重点方向,相比较地基巡天任务,空间巡天可获取更多紫外波段与红外波段的光谱信息,其发展受到色散元件的制约,针对紫外波段的核心色散元件|紫外透射闪耀光栅开展了一系列研究.通过全息干涉光刻产生图形,离子束垂直刻蚀将图形转移至基底形成光栅掩模,利用光栅掩模对倾斜离子束的遮挡作用,使得槽底不同部位受到离子束的轰击通量不同,从而获得非对称的槽形结构.实验分析了倾斜离子束刻蚀中沉积物的主要组成以及对槽形和闪耀角度的影响,并在去除沉积物影响的情况下,成功制作了线密度为333 lines/mm,闪耀角度分别为13.2◦、10.5◦的紫外透射闪耀光栅,峰值衍射效率分别可达理论值的88%以及92%,为制作高衍射效率紫外透射闪耀光栅奠定了基础.
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关键词
仪器:光谱仪
方法:数据分析
全息
-
离子
束
刻蚀
紫外透射闪耀光栅
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职称材料
题名
应用碳化硅表面改性技术降低全息-离子束刻蚀光栅刻槽的粗糙度
被引量：
1
1
作者
王彤彤
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第11期1489-1493,共5页
基金
国家自然科学基金(60478035)资助项目
文摘
采用具有良好比刚度和热稳定性的碳化硅材料作为基底,使用全息-离子束刻蚀技术制作了光栅。碳化硅材料表面固有缺陷导致制作的光栅刻槽表面粗糙度高,槽底和槽顶粗糙度分别达到了29.6 nm和65.3nm(R q)。通过等离子辅助沉积技术在碳化硅表面镀制一层均匀的硅改性层,经过抛光可以获得无缺陷的超光滑表面。XRD测试表明制备的硅改性层为无定形结构。原子力显微镜的测试结果表明:经过抛光后,表面粗糙度为0.64 nm(R q)。在此表面上制作的光栅刻槽表面粗糙度明显降低,槽底和槽顶粗糙度分别为2.96nm和7.21 nm,相当于改性前的1/10和1/9。
关键词
碳化硅
表面改性
光栅
全息
-
离子
束
刻蚀
等
离子
辅助
Keywords
silicon carbide
surface modification
grating
hologram-ion beam etching
PIAD
分类号
TN253 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响
被引量：
2
2
作者
葛建平
沈为民
刘全
陈明辉
机构
苏州大学现代光学技术研究所
苏州大学信息光学工程研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013年第6期1557-1561,共5页
基金
国防科工局专项课题
文摘
与矩形槽和正弦槽光栅相比,锯齿槽光栅具有高的衍射效率,可采用全息离子束刻蚀和单点金刚石车削两种方法制造。首先,介绍了这两种方法的制造误差。然后,分析了这些制造误差对用于可见近红外和长波红外成像光谱仪的光栅衍射效率的影响,指出闪耀角误差、槽顶角误差和刻刀圆弧半径是影响锯齿槽光栅衍射效率的关键因素。为制作高质量成像光谱仪用光栅奠定了理论基础和指导。
关键词
锯齿槽光栅
全息离子束刻蚀
单点金刚石车削
误差
衍射效率
Keywords
sawtooth grating
holographic ion-beam etching
SPDT
error
diffraction efficiency
分类号
O43 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
无缝光谱仪用紫外透射闪耀光栅的制作
被引量：
2
3
作者
陈智文
王雅楠
蔡茂琦
陈火耀
刘正坤
邱克强
洪义麟
机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
出处
《天文学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期73-80,共8页
基金
国家自然科学基金项目(U1731116)资助。
文摘
无缝光谱巡天是如今国际天文学研究的重点方向,相比较地基巡天任务,空间巡天可获取更多紫外波段与红外波段的光谱信息,其发展受到色散元件的制约,针对紫外波段的核心色散元件|紫外透射闪耀光栅开展了一系列研究.通过全息干涉光刻产生图形,离子束垂直刻蚀将图形转移至基底形成光栅掩模,利用光栅掩模对倾斜离子束的遮挡作用,使得槽底不同部位受到离子束的轰击通量不同,从而获得非对称的槽形结构.实验分析了倾斜离子束刻蚀中沉积物的主要组成以及对槽形和闪耀角度的影响,并在去除沉积物影响的情况下,成功制作了线密度为333 lines/mm,闪耀角度分别为13.2◦、10.5◦的紫外透射闪耀光栅,峰值衍射效率分别可达理论值的88%以及92%,为制作高衍射效率紫外透射闪耀光栅奠定了基础.
关键词
仪器:光谱仪
方法:数据分析
全息
-
离子
束
刻蚀
紫外透射闪耀光栅
Keywords
instrumentation:spectrographs
methods:data analysis
holography-ion beam etching
ultraviolet transmission blazed grating
分类号
P111 [天文地球—天文学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
应用碳化硅表面改性技术降低全息-离子束刻蚀光栅刻槽的粗糙度
王彤彤
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响
葛建平
沈为民
刘全
陈明辉
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
无缝光谱仪用紫外透射闪耀光栅的制作
陈智文
王雅楠
蔡茂琦
陈火耀
刘正坤
邱克强
洪义麟
《天文学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021
2
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职称材料
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