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用投影全息干涉条纹测量物体三维面形 被引量:2
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作者 钟丽云 张文碧 +2 位作者 杨齐民 吕晓旭 佘灿麟 《激光杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期37-38,共2页
在以往投影法测量三维面形的装置中,其产生激光干涉投影条纹的装置较大,且干涉条纹较容易受外界的影响而漂移和抖动,影响测量结果精度的提高,本文提出用离轴全息干涉条纹替代投影法的激光干涉仪投影条纹,并将其用于实际测量中,实... 在以往投影法测量三维面形的装置中,其产生激光干涉投影条纹的装置较大,且干涉条纹较容易受外界的影响而漂移和抖动,影响测量结果精度的提高,本文提出用离轴全息干涉条纹替代投影法的激光干涉仪投影条纹,并将其用于实际测量中,实验结果表明:该方法产生干涉条纹的装置简单,且不受外界振动的影响,光能利用率高,易于移相和解调,这使得三维形貌检测精度高、速度快,实用性更强。 展开更多
关键词 全息干涉条纹 三维面形测量 投影条纹测量 激光
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