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闭环电容式微加速度计全差分CMOS接口电路
被引量：
4
1
作者
刘晓为
尹亮
+1 位作者
李海涛
周治平
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期580-586,共7页
提出了一种用于电容式微加速度计的低噪声、高线性度全差分接口电路。基于开关电容检测技术,该电路采用一种新的双路反馈结构来提高系统线性度,并采用2μmn阱CMOS工艺完成芯片设计。仿真结果证明,电路中采用的双路反馈和全差分检测结构...
提出了一种用于电容式微加速度计的低噪声、高线性度全差分接口电路。基于开关电容检测技术,该电路采用一种新的双路反馈结构来提高系统线性度,并采用2μmn阱CMOS工艺完成芯片设计。仿真结果证明,电路中采用的双路反馈和全差分检测结构使系统的线性度达到0.01%。加入经过优化设计的比例-微分-积分控制器后,有效减小了系统稳态误差,系统响应速度提高了31%,系统线性度提高了66.7%。在±5 V工作电压下,选取64 kHz作为电路采样频率时,其电路等效输入噪声为8μg·Hz-1/2,系统灵敏度为1.22 V/g,线性度为0.03%,测量范围为±2g。测试结果显示,提出的电路达到高精度微加速度计系统设计要求,可以应用到地震监测、石油勘探等领域中。
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关键词
闭环
电
容式微加速度计
全差分接口电路
比例-微分-积分控制器
低噪声
高线性度
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职称材料
题名
闭环电容式微加速度计全差分CMOS接口电路
被引量：
4
1
作者
刘晓为
尹亮
李海涛
周治平
机构
哈尔滨工业大学微电子技术与科学系
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期580-586,共7页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2008AA04220)
文摘
提出了一种用于电容式微加速度计的低噪声、高线性度全差分接口电路。基于开关电容检测技术,该电路采用一种新的双路反馈结构来提高系统线性度,并采用2μmn阱CMOS工艺完成芯片设计。仿真结果证明,电路中采用的双路反馈和全差分检测结构使系统的线性度达到0.01%。加入经过优化设计的比例-微分-积分控制器后,有效减小了系统稳态误差,系统响应速度提高了31%,系统线性度提高了66.7%。在±5 V工作电压下,选取64 kHz作为电路采样频率时,其电路等效输入噪声为8μg·Hz-1/2,系统灵敏度为1.22 V/g,线性度为0.03%,测量范围为±2g。测试结果显示,提出的电路达到高精度微加速度计系统设计要求,可以应用到地震监测、石油勘探等领域中。
关键词
闭环
电
容式微加速度计
全差分接口电路
比例-微分-积分控制器
低噪声
高线性度
Keywords
closed-loop capacitive micro-accelerometer
full differential interface circuit
PID controller
low noise
high linearity
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
闭环电容式微加速度计全差分CMOS接口电路
刘晓为
尹亮
李海涛
周治平
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
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