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kHz准分子激光器全固态脉冲激励源
被引量:
6
1
作者
王庆胜
游利兵
+2 位作者
余吟山
赵家敏
方晓东
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期885-889,共5页
由于寿命制约,准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块,使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生μs级的高压脉冲,利用磁...
由于寿命制约,准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块,使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生μs级的高压脉冲,利用磁脉冲压缩技术将上升时间为μs级高压脉冲压缩至满足准分子激光器使用的上升时间为0.1μs级高压脉冲。在ArF准分子激光头上放电,获得激励脉冲的上升时间约为90ns,放电电压16.5kV,重复频率达到1kHz,两级磁脉冲压缩开关能量传递效率达59.1%。
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关键词
准分子激光器
全固态脉冲功率模块
磁开关
磁
脉冲
压缩
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职称材料
题名
kHz准分子激光器全固态脉冲激励源
被引量:
6
1
作者
王庆胜
游利兵
余吟山
赵家敏
方晓东
机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期885-889,共5页
文摘
由于寿命制约,准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块,使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生μs级的高压脉冲,利用磁脉冲压缩技术将上升时间为μs级高压脉冲压缩至满足准分子激光器使用的上升时间为0.1μs级高压脉冲。在ArF准分子激光头上放电,获得激励脉冲的上升时间约为90ns,放电电压16.5kV,重复频率达到1kHz,两级磁脉冲压缩开关能量传递效率达59.1%。
关键词
准分子激光器
全固态脉冲功率模块
磁开关
磁
脉冲
压缩
Keywords
excimer lasers
all solid state pulsed power module
magnetic switch
magnetic pulse compression
分类号
TN248.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
kHz准分子激光器全固态脉冲激励源
王庆胜
游利兵
余吟山
赵家敏
方晓东
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
6
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