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全内反射照明光学元件损伤检测信噪比分析
被引量：
16
1
作者
彭志涛
魏晓峰
+5 位作者
元浩宇
傅学军
陈德怀
孙志红
刘华
徐隆波
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2011年第6期1111-1114,共4页
适合的光学元件照明对终端光学元件损伤检测成像至关重要。基于平板光学元件的全内反射原理,将阵列LED边缘照明光耦合进大口径光学元件,光学元件上疵点处的全内反射条件被破坏,光线从疵点出射,用相机对元件成像,散射光就会在相机CCD上...
适合的光学元件照明对终端光学元件损伤检测成像至关重要。基于平板光学元件的全内反射原理,将阵列LED边缘照明光耦合进大口径光学元件,光学元件上疵点处的全内反射条件被破坏,光线从疵点出射,用相机对元件成像,散射光就会在相机CCD上形成疵点的图像,它是暗背景中的亮点,因此图像信噪比很高,解决了损伤检测过程中疵点到底归属于光学系统中哪块光学元件的难题。建立了被检测元件损伤点的信噪比模型,分析了临近损伤元件损伤对检测结果的影响。离线验证结果表明:对于310 mm×310 mm口径的平面光学元件,全口径检测分辨率优于120μm×120μm。
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关键词
全内反射照明
损伤检测
暗场成像
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职称材料
光学元件损伤在线检测图像处理技术
被引量：
7
2
作者
冯博
刘炳国
+4 位作者
陈凤东
刘国栋
彭志涛
元浩宇
孙和义
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期1697-1700,共4页
针对光学元件损伤图像中损伤区域的高精度检测问题,对内全反射照明下光学元件损伤图像的处理技术进行了研究。根据在线检测图像中损伤区域中心峰值的信号强度高于局部背景的信号强度这一特点,利用高斯滤波器生成待检测图像的局部信号强...
针对光学元件损伤图像中损伤区域的高精度检测问题,对内全反射照明下光学元件损伤图像的处理技术进行了研究。根据在线检测图像中损伤区域中心峰值的信号强度高于局部背景的信号强度这一特点,利用高斯滤波器生成待检测图像的局部信号强度比图像,实现了对损伤区域的低漏检率自动定位;根据CCD的成像原理,利用辐射标定的方法建立起损伤区域的尺寸与其在图像中总灰度的关系方程,实现了损伤区域的亚像素高精度尺寸测量。实验结果表明,与传统的光学元件损伤图像处理算法相比,本文提出的算法在保持低漏检率的同时大大提高了损伤区域的测量精度。
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关键词
图像处理
局部信号强度比
辐射标定
全内反射照明
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职称材料
题名
全内反射照明光学元件损伤检测信噪比分析
被引量：
16
1
作者
彭志涛
魏晓峰
元浩宇
傅学军
陈德怀
孙志红
刘华
徐隆波
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2011年第6期1111-1114,共4页
文摘
适合的光学元件照明对终端光学元件损伤检测成像至关重要。基于平板光学元件的全内反射原理,将阵列LED边缘照明光耦合进大口径光学元件,光学元件上疵点处的全内反射条件被破坏,光线从疵点出射,用相机对元件成像,散射光就会在相机CCD上形成疵点的图像,它是暗背景中的亮点,因此图像信噪比很高,解决了损伤检测过程中疵点到底归属于光学系统中哪块光学元件的难题。建立了被检测元件损伤点的信噪比模型,分析了临近损伤元件损伤对检测结果的影响。离线验证结果表明:对于310 mm×310 mm口径的平面光学元件,全口径检测分辨率优于120μm×120μm。
关键词
全内反射照明
损伤检测
暗场成像
Keywords
total internal reflection edge illumination
damage inspection
dark-field imaging
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
光学元件损伤在线检测图像处理技术
被引量：
7
2
作者
冯博
刘炳国
陈凤东
刘国栋
彭志涛
元浩宇
孙和义
机构
哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期1697-1700,共4页
基金
国家自然科学基金项目(61275096)
文摘
针对光学元件损伤图像中损伤区域的高精度检测问题,对内全反射照明下光学元件损伤图像的处理技术进行了研究。根据在线检测图像中损伤区域中心峰值的信号强度高于局部背景的信号强度这一特点,利用高斯滤波器生成待检测图像的局部信号强度比图像,实现了对损伤区域的低漏检率自动定位;根据CCD的成像原理,利用辐射标定的方法建立起损伤区域的尺寸与其在图像中总灰度的关系方程,实现了损伤区域的亚像素高精度尺寸测量。实验结果表明,与传统的光学元件损伤图像处理算法相比,本文提出的算法在保持低漏检率的同时大大提高了损伤区域的测量精度。
关键词
图像处理
局部信号强度比
辐射标定
全内反射照明
Keywords
images progressing local signal intensity ratio exposure calibration total internal reflection edge illumination
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
全内反射照明光学元件损伤检测信噪比分析
彭志涛
魏晓峰
元浩宇
傅学军
陈德怀
孙志红
刘华
徐隆波
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2011
16
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职称材料
2
光学元件损伤在线检测图像处理技术
冯博
刘炳国
陈凤东
刘国栋
彭志涛
元浩宇
孙和义
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
7
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