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光针轮廓仪伺服机构设计与聚焦误差信号的改进
被引量：
2
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作者
王选择
郭军
谢铁邦
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2005年第1期8-11,共4页
应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构—音圈电机的结构,使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力。通过改善传统的聚焦误差信号曲线,并利用数字伺服控制方法,在提高系统测量精度的同时,克服了传统对于陡坑或阶梯测量容易脱焦的...
应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构—音圈电机的结构,使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力。通过改善传统的聚焦误差信号曲线,并利用数字伺服控制方法,在提高系统测量精度的同时,克服了传统对于陡坑或阶梯测量容易脱焦的问题。
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关键词
计量学
光针轮廓仪
线切割方法
聚焦误差信号
阶梯测量
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职称材料
题名
光针轮廓仪伺服机构设计与聚焦误差信号的改进
被引量：
2
1
作者
王选择
郭军
谢铁邦
机构
华中科技大学机械学院仪器系
出处
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2005年第1期8-11,共4页
基金
国家自然科学基金(50175037)
高等学校博士学科点专项科研基金(20020487039)
文摘
应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构—音圈电机的结构,使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力。通过改善传统的聚焦误差信号曲线,并利用数字伺服控制方法,在提高系统测量精度的同时,克服了传统对于陡坑或阶梯测量容易脱焦的问题。
关键词
计量学
光针轮廓仪
线切割方法
聚焦误差信号
阶梯测量
Keywords
Metrology
Optical stylus profilometer
Line cutting
Focus error signal
Step measurement
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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1
光针轮廓仪伺服机构设计与聚焦误差信号的改进
王选择
郭军
谢铁邦
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2005
2
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