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二氧化锆栅介质薄膜光学及电学特性研究
被引量：
2
1
作者
马春雨
李智
张庆瑜
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期491-494,共4页
采用反应RF磁控溅射法在氧气和氩气的混合气氛中制备了具有较高介电常数、较宽光学禁带间隙的ZrO2薄膜。利用变角度光谱椭圆偏振仪研究了不同O2/Ar流量比下制备所得薄膜的厚度、复折射率、复介电常数和吸收系数,估算了薄膜的光学禁带...
采用反应RF磁控溅射法在氧气和氩气的混合气氛中制备了具有较高介电常数、较宽光学禁带间隙的ZrO2薄膜。利用变角度光谱椭圆偏振仪研究了不同O2/Ar流量比下制备所得薄膜的厚度、复折射率、复介电常数和吸收系数,估算了薄膜的光学禁带间隙,并测试分析了在不同O2/Ar流量比下溅射沉积的Al/ZrO2/SiO2/n型Si叠层结构的C V、I V特性曲线。通过对O2/Ar流量比分别为1/9、1/4、4/1、1/0工艺条件下溅射沉积ZrO2薄膜的α2与光子能量关系图的拟合,确定了其光学禁带间隙Eg分别为6.27、5.84、6.03、5.92eV,在O2/Ar流量比为1/9、1/4、1/0工艺条件下溅射沉积ZrO2薄膜,其ZrO2/SiO2叠层的有效介电常数keff计算结果分别为14.6、19.6和9.3,漏电流较低(<5.0×10-5A/cm2),其击穿电场强度分别为5.6、6.3、9MV/cm。
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关键词
光谱椭圆偏振仪
介电常数
ZRO2薄膜
光学禁带间隙
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职称材料
聚甲基丙烯酸甲酯乳胶膜在溶剂退火过程中的结构演变
被引量：
1
2
作者
郑楠
刘甲雪
+2 位作者
陈冉
赖宇晴
门永锋
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期2576-2581,共6页
通过乳液聚合的方法得到了单分散的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)乳胶分散液,利用小角X射线散射技术得到乳胶分散液中乳胶颗粒的粒径以及粒径分布.PMMA乳胶分散液在硅片上成膜后,利用椭偏仪和扫描电子显微镜研究了其在2种溶剂退火过程中的膜...
通过乳液聚合的方法得到了单分散的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)乳胶分散液,利用小角X射线散射技术得到乳胶分散液中乳胶颗粒的粒径以及粒径分布.PMMA乳胶分散液在硅片上成膜后,利用椭偏仪和扫描电子显微镜研究了其在2种溶剂退火过程中的膜厚以及结构变化.干燥后的PMMA乳胶膜在相对良溶剂丙酮的溶剂退火过程中存在粒子的形变及溶胀2个过程,而在相对不良溶剂乙醇的溶剂退火过程中仅存在粒子的溶胀过程.
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关键词
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
乳胶膜
溶剂退火
结构演变
光谱
型
椭圆偏振
仪
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职称材料
题名
二氧化锆栅介质薄膜光学及电学特性研究
被引量：
2
1
作者
马春雨
李智
张庆瑜
机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
大连大学机械工程系
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期491-494,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50240420656)
文摘
采用反应RF磁控溅射法在氧气和氩气的混合气氛中制备了具有较高介电常数、较宽光学禁带间隙的ZrO2薄膜。利用变角度光谱椭圆偏振仪研究了不同O2/Ar流量比下制备所得薄膜的厚度、复折射率、复介电常数和吸收系数,估算了薄膜的光学禁带间隙,并测试分析了在不同O2/Ar流量比下溅射沉积的Al/ZrO2/SiO2/n型Si叠层结构的C V、I V特性曲线。通过对O2/Ar流量比分别为1/9、1/4、4/1、1/0工艺条件下溅射沉积ZrO2薄膜的α2与光子能量关系图的拟合,确定了其光学禁带间隙Eg分别为6.27、5.84、6.03、5.92eV,在O2/Ar流量比为1/9、1/4、1/0工艺条件下溅射沉积ZrO2薄膜,其ZrO2/SiO2叠层的有效介电常数keff计算结果分别为14.6、19.6和9.3,漏电流较低(<5.0×10-5A/cm2),其击穿电场强度分别为5.6、6.3、9MV/cm。
关键词
光谱椭圆偏振仪
介电常数
ZRO2薄膜
光学禁带间隙
Keywords
Argon
Dielectric properties
Electric breakdown of solids
Ellipsometry
Leakage currents
Light absorption
Magnetron sputtering
Optical properties
Oxygen
Refraction
Sputter deposition
Zirconia
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
聚甲基丙烯酸甲酯乳胶膜在溶剂退火过程中的结构演变
被引量：
1
2
作者
郑楠
刘甲雪
陈冉
赖宇晴
门永锋
机构
中国科学院长春应用化学研究所
中国科学院大学
出处
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期2576-2581,共6页
基金
国家自然科学基金(批准号:21074136)
国家重点基础研究发展计划(批准号:2012CB821500)
荷兰高分子研究所项目(批准号:779)资助~~
文摘
通过乳液聚合的方法得到了单分散的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)乳胶分散液,利用小角X射线散射技术得到乳胶分散液中乳胶颗粒的粒径以及粒径分布.PMMA乳胶分散液在硅片上成膜后,利用椭偏仪和扫描电子显微镜研究了其在2种溶剂退火过程中的膜厚以及结构变化.干燥后的PMMA乳胶膜在相对良溶剂丙酮的溶剂退火过程中存在粒子的形变及溶胀2个过程,而在相对不良溶剂乙醇的溶剂退火过程中仅存在粒子的溶胀过程.
关键词
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
乳胶膜
溶剂退火
结构演变
光谱
型
椭圆偏振
仪
Keywords
Poly （ methyl methacrylate） （PMMA）
Latex dispersion
Solvent annealing
Structure evolution
Spectroscopic ellipsometer
分类号
O631 [理学—高分子化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
二氧化锆栅介质薄膜光学及电学特性研究
马春雨
李智
张庆瑜
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
在线阅读
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职称材料
2
聚甲基丙烯酸甲酯乳胶膜在溶剂退火过程中的结构演变
郑楠
刘甲雪
陈冉
赖宇晴
门永锋
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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职称材料
已选择
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