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光纤相移点衍射干涉仪关键技术被引量：5: 1; 作者张宇金春水 +1 位作者马冬梅王丽萍《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第1期254-259,共6页; 为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10 min),光斑尺寸在实现最佳耦合效率允... 展开更多; 关键词高精度检测光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差激光光源光纤; 在线阅读下载PDF 职称材料

双光纤相移点衍射干涉仪装调技术被引量：3: 2; 作者张宇金春水 +1 位作者马冬梅王丽萍《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期145-150,共6页; 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直,实现了耦... 展开更多; 关键词装调技术双光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差光学检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

光纤点衍射干涉仪的技术研究被引量：13: 3; 作者刘国淦张学军 +4 位作者王权陡张忠玉郭培基张峰齐涤菲《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第2期142-145,共4页; 提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法 ,由两根光纤分别传输参考光和测试光 ,利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比 ,该方法结构相对简单 ,误差来源少 ,且不需要传统干涉仪中的高质量标... 展开更多; 关键词干涉仪点衍射相移光学纤维; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模被引量：1: 4; 作者张海涛《中国光学与应用光学》 2010年第6期616-622,共7页; 为了模拟用于球面面形高精度检测的相移点衍射干涉仪的测试过程,介绍了点衍射干涉仪的基本工作原理,分析了相移点衍射干涉仪的测量误差。利用光学设计软件和自行编制的软件建立了点衍射干涉仪的检测模型,利用该模型分别推导了参考光束... 展开更多; 关键词点衍射干涉仪相移干涉图建模光学测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于小孔点衍射的超精面形瞬态干涉测量技术被引量：3: 5; 作者张金鹏高芬李兵《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期248-255,共8页; 为解决时域相移小孔点衍射干涉仪中移相依赖昂贵压电陶瓷相移器,且长时间采集易受环境干扰影响的问题,提出一种基于偏振同步相移的小孔点衍射瞬态干涉检测方法。构建反射式结构的小孔点衍射干涉测量光路得到两束正交的圆偏振光,利用棋... 展开更多; 关键词干涉测量面形检测点衍射干涉仪同步相移瞬态检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究被引量：7: 6; 作者张宇金春水 +1 位作者马冬梅王丽萍《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期3384-3389,共6页; 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,对其检测方案进行了优化设计,在相移系统和光程差调节系统中引入了特伦结构,并且对光纤端面进行了抛光镀膜处理。将影响干涉仪检测精度及波面重复精度... 展开更多; 关键词光学检测双光纤相移点衍射干涉仪精度分析波面重复精度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光纤相移点衍射干涉仪关键技术被引量：5: 1; 作者张宇金春水马冬梅王丽萍; 机构东北电力大学理学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第1期254-259,共6页; 基金东北电力大学博士科研启动基金(BSJXM-201218); 文摘为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10 min),光斑尺寸在实现最佳耦合效率允许范围内,光束位置稳定度约为6μm,相干长度为1 cm左右,都在测试精度允许范围内;选择了纤芯直径为3.5μm的单模不保偏光纤,对光纤端面镀半反半透金属膜,实现了较高的条纹对比度和光能利用率,并设计了波前参考源,方便了光纤端面的抛光、镀膜及装卡。最后,利用选择的部件搭建了光纤相移点衍射干涉仪实验装置,为最终能够实现光学系统波像差的高精度检测提供了前期的准备。; 关键词高精度检测光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差激光光源光纤; Keywords high accuracy test fiber phase-shifting point diffraction interferometer wavefront aberration of optical system laser source fiber; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双光纤相移点衍射干涉仪装调技术被引量：3: 2; 作者张宇金春水马冬梅王丽萍; 机构东北电力大学理学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期145-150,共6页; 基金东北电力大学博士科研启动基金(BSJXM-201218); 文摘为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直,实现了耦合系统与光纤之间最大的耦合效率和干涉条纹最大的条纹对比度,为最终能够实现极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测提供了前期准备。装调完毕后,利用实验装置对某一光学系统进行了测量,使用十三步相移算法还原被检光学系统波像差,得到了较好的结果,测试结果为:PV值为37.82 nm,RMS值为7.83 nm。; 关键词装调技术双光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差光学检测; Keywords alignment technology double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer optical system wavefront aberration optical test; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程] O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光纤点衍射干涉仪的技术研究被引量：13: 3; 作者刘国淦张学军王权陡张忠玉郭培基张峰齐涤菲; 机构中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第2期142-145,共4页; 基金中科院重点基金! (ZG99Q 0 2 B); 文摘提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法 ,由两根光纤分别传输参考光和测试光 ,利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比 ,该方法结构相对简单 ,误差来源少 ,且不需要传统干涉仪中的高质量标准面。; 关键词干涉仪点衍射相移光学纤维; Keywords interferometers point diffraction phase shift optical fibers; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程] O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模被引量：1: 4; 作者张海涛; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《中国光学与应用光学》 2010年第6期616-622,共7页; 基金国家重大科技专项; 文摘为了模拟用于球面面形高精度检测的相移点衍射干涉仪的测试过程,介绍了点衍射干涉仪的基本工作原理,分析了相移点衍射干涉仪的测量误差。利用光学设计软件和自行编制的软件建立了点衍射干涉仪的检测模型,利用该模型分别推导了参考光束和测试光束在干涉场的复振幅分布,模拟了测量过程。根据光的相干理论,通过改变被测镜的位置,实现移相,得到移相干涉图。最后对一设定的被检镜进行实验模拟,生成了两组对称倾斜的13步移相干涉图,对干涉图处理后计算得到了被检镜的检测面形。结果表明,在不引入硬件误差时,由相位提取和波面反演造成的检测面形与设定面形偏差为RMS值0.0783nm,PV值0.5656nm。; 关键词点衍射干涉仪相移干涉图建模光学测量; Keywords point diffraction interferometer phase shifting interferogram modeling optical measurement; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程] TH744.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于小孔点衍射的超精面形瞬态干涉测量技术被引量：3: 5; 作者张金鹏高芬李兵; 机构西安工业大学光电工程学院西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期248-255,共8页; 基金国家自然科学基金(Nos.52005383,51975448)。; 文摘为解决时域相移小孔点衍射干涉仪中移相依赖昂贵压电陶瓷相移器,且长时间采集易受环境干扰影响的问题,提出一种基于偏振同步相移的小孔点衍射瞬态干涉检测方法。构建反射式结构的小孔点衍射干涉测量光路得到两束正交的圆偏振光,利用棋盘位相光栅分光与偏振片阵列移相,在CCD上同时获得4幅不同相移量的干涉图像,对单次采集的4幅瞬时干涉图像进行处理即可直接获得被测面形信息。搭建实际测量系统,通过基于琼斯矩阵的偏振态分析及与ZYGO干涉仪的比对实验,从理论及实验两方面验证了所提方法的正确性,多次多组实验结果表明该系统稳定,有着良好的重复测量精度。; 关键词干涉测量面形检测点衍射干涉仪同步相移瞬态检测; Keywords Interferometry Surface measurement Point diffraction interferometer Synchronous phase shift Transient detection; 分类号 TH741 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究被引量：7: 6; 作者张宇金春水马冬梅王丽萍; 机构东北电力大学理学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期3384-3389,共6页; 基金中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室资助项目(09Q03FQ090); 文摘为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,对其检测方案进行了优化设计,在相移系统和光程差调节系统中引入了特伦结构,并且对光纤端面进行了抛光镀膜处理。将影响干涉仪检测精度及波面重复精度的误差源引入到干涉图中进行整体分析,得到干涉仪的检测精度及波面重复精度,为了验证双光纤相移点衍射干涉仪的切实可行性及理论分析结果的正确性,搭建了原理实验装置,对同一被检光学系统进行了512次测量,将其分成8组,最终8组测量的波面重复精度能够达到0.13 nm,优于λ/4000。; 关键词光学检测双光纤相移点衍射干涉仪精度分析波面重复精度; Keywords optical testing double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer accuracy analysis wavefront repeatability; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	光纤相移点衍射干涉仪关键技术	张宇金春水马冬梅王丽萍	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2015	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	双光纤相移点衍射干涉仪装调技术	张宇金春水马冬梅王丽萍	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2014	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	光纤点衍射干涉仪的技术研究	刘国淦张学军王权陡张忠玉郭培基张峰齐涤菲	《光学精密工程》 EI CAS CSCD	2001	13	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模	张海涛	《中国光学与应用光学》	2010	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于小孔点衍射的超精面形瞬态干涉测量技术	张金鹏高芬李兵	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2022	3	在线阅读下载PDF 职称材料
6	极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究	张宇金春水马冬梅王丽萍	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2012	7	在线阅读下载PDF 职称材料