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基于MEMS工艺的光强调制型光纤氢传感器
被引量：
1
1
作者
周业成
陈吉安
+1 位作者
张晓晶
邱显涛
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2006年第5期1-2,5,共3页
现有的氢传感器都是根据钯膜吸氢而产生膨胀的这个特点设计而成,但这些传感器基本上都存在着结构复杂、价格高、市场化比较困难、配套设备昂贵等特点。介绍一种基于MEMS工艺的光强调制型光纤传感器,说明该传感器的工作原理,并且给出了...
现有的氢传感器都是根据钯膜吸氢而产生膨胀的这个特点设计而成,但这些传感器基本上都存在着结构复杂、价格高、市场化比较困难、配套设备昂贵等特点。介绍一种基于MEMS工艺的光强调制型光纤传感器,说明该传感器的工作原理,并且给出了相关的制作工艺流程,最后对其测试性能进行了必要的探讨。证明了此类传感器不仅具有低成本、结构简单、适宜于批量生产等优点,而且在一定的测氢范围内具有相当良好的灵敏度和稳定性。
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关键词
MEMS
光强调制
光纤氢传感器
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职称材料
题名
基于MEMS工艺的光强调制型光纤氢传感器
被引量：
1
1
作者
周业成
陈吉安
张晓晶
邱显涛
机构
上海交通大学微纳科学技术研究院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2006年第5期1-2,5,共3页
文摘
现有的氢传感器都是根据钯膜吸氢而产生膨胀的这个特点设计而成,但这些传感器基本上都存在着结构复杂、价格高、市场化比较困难、配套设备昂贵等特点。介绍一种基于MEMS工艺的光强调制型光纤传感器,说明该传感器的工作原理,并且给出了相关的制作工艺流程,最后对其测试性能进行了必要的探讨。证明了此类传感器不仅具有低成本、结构简单、适宜于批量生产等优点,而且在一定的测氢范围内具有相当良好的灵敏度和稳定性。
关键词
MEMS
光强调制
光纤氢传感器
Keywords
MEMS
light inteusity-modulation
optical hydrogen sensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MEMS工艺的光强调制型光纤氢传感器
周业成
陈吉安
张晓晶
邱显涛
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2006
1
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