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飞秒激光制备的高灵敏度气压探针传感器 被引量:2
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作者 郭小珊 王解 +3 位作者 叶文豪 江超 孙四梅 刘昌宁 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2021年第11期1498-1505,共8页
提出并实验验证了一款基于法布里—珀罗干涉仪(FPI)的气压探针传感器。首先将毛细石英管与单模光纤拼接,然后利用飞秒激光将毛细石英管精确切割到极短长度,最后在毛细石英管的端面涂覆聚乙烯醇(PVA)薄膜构成气压传感探针。传感头总长度... 提出并实验验证了一款基于法布里—珀罗干涉仪(FPI)的气压探针传感器。首先将毛细石英管与单模光纤拼接,然后利用飞秒激光将毛细石英管精确切割到极短长度,最后在毛细石英管的端面涂覆聚乙烯醇(PVA)薄膜构成气压传感探针。传感头总长度仅为50μm,可以在有限的空间和恶劣的环境中灵活使用。实验结果表明解调传感器反射谱波长漂移量实现了环境气压测量,气压灵敏度达到-4.457 nm/MPa,线性度为99.52%,气压测量范围0~0.5 MPa。在低温时传感器对温度有一定的依赖性;在高温时传感器对温度不敏感,可以忽略温度对气压测量的串扰。该传感器结构紧凑、灵敏度高、结构重复性好、温度串扰小,在工程实际中具有一定的应用前景。 展开更多
关键词 光纤气压传感器 法布里—珀罗干涉仪 飞秒激光微加工 聚乙烯醇 毛细石英管 气压
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基于UV胶和陶瓷插芯的光纤Fabry-Perot腔气压探针
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作者 黄会玲 郭小珊 +4 位作者 曹庭水 孙四梅 舒玉坤 张珑 江超 《激光杂志》 北大核心 2024年第12期34-39,共6页
利用紫外胶(UV)和陶瓷插芯制备了一款法布里-珀罗干涉仪(FPI)用于测量气压。首先在陶瓷插芯的端面均匀涂覆一层UV胶,然后将一段端面平整的单模光纤(SMF)插入到陶瓷插芯中,调节SMF与陶瓷插芯端面UV胶薄膜之间距离,制作性能优异的FPI。由... 利用紫外胶(UV)和陶瓷插芯制备了一款法布里-珀罗干涉仪(FPI)用于测量气压。首先在陶瓷插芯的端面均匀涂覆一层UV胶,然后将一段端面平整的单模光纤(SMF)插入到陶瓷插芯中,调节SMF与陶瓷插芯端面UV胶薄膜之间距离,制作性能优异的FPI。由于UV胶具有良好的弹性变形,因此,FPI对气压变化敏感。实验结果显示传感器的气压灵敏度和温度灵敏度分别为-10.712 nm/MPa和-1.449 nm/℃。为了弥补温度变化对传感器气压测量的影响,将一个对温度敏感对气压不敏感的光纤布拉格光栅(FBG)与FPI级联,补偿温度对传感器气压测量的影响。该传感器结构简单、制备方便、灵敏度高、重复性与稳定性好,在工业生产中具有一定的应用前景。 展开更多
关键词 光纤气压传感器 法布里-珀罗干涉仪 光纤布拉格光栅 紫外固化胶 陶瓷插芯 温度补偿
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