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一种新型单频激光干涉系统的研究 被引量:11
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作者 韩旭东 艾华 龙科慧 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期49-51,共3页
这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决了常规单频激光干涉仪中的光强“零漂”问题。利用共模抑制技术... 这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决了常规单频激光干涉仪中的光强“零漂”问题。利用共模抑制技术,提高了干涉系统的测量稳定性和重复性。采用光程差放大技术,提高了干涉系统的分辨力。 展开更多
关键词 单频激光干涉系统 激光干涉仪 偏振光移相 光程差放大 光路设计
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