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一种实现CCD亚像元位移分辨率的新方法 被引量:8
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作者 姚新程 李兆霖 +2 位作者 郭红莲 程丙英 张道中 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期60-63,共4页
基于 CCD子窗口内四个像限的光积分量随目标位置而变化的机理 ,可从摄取的 CCD数字图像提取目标的位移信号 ,本文提出一种新的方法可实现目标位移探测的亚像元分辨率。理论及实验结果表明 ,对于直径为 1μm的球体而言 ,在± 40 0 n... 基于 CCD子窗口内四个像限的光积分量随目标位置而变化的机理 ,可从摄取的 CCD数字图像提取目标的位移信号 ,本文提出一种新的方法可实现目标位移探测的亚像元分辨率。理论及实验结果表明 ,对于直径为 1μm的球体而言 ,在± 40 0 nm的范围内 ,光积分量的变化同球体的位移关系具有良好的线性度。物方和像方位移分辨率分别可达 1nm和 1/ 3 0个像元宽度 ,可满足光镊系统位移测量要求。 展开更多
关键词 CCD 亚像元 分辨率 光积分量 位移测量
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