期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
浸没式光刻照明系统的照明模式变换器
被引量：
1
1
作者
李美萱
董连和
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2018年第6期162-167,共6页
研究了NA1.35浸没式光刻照明系统中照明模式变换模块的设计和测试。采用衍射光学元件实现包括传统照明、二极照明、四极照明的照明模式变换系统的设计和分析。给出了不同照明模式的衍射光学元件的设计结果,并对设计结果进行了模拟分析...
研究了NA1.35浸没式光刻照明系统中照明模式变换模块的设计和测试。采用衍射光学元件实现包括传统照明、二极照明、四极照明的照明模式变换系统的设计和分析。给出了不同照明模式的衍射光学元件的设计结果,并对设计结果进行了模拟分析和实验分析,证明了设计的可行性。研究结果表明:当输入光场被分割的阵列数为20×20单元时,二极和四极照明模式下衍射元件台阶数为32,传统照明模式下台阶数为128的情况下,衍射光学元件作为照明模式变换器的均匀性及衍射效率都能够满足设计要求。从原理、实验上验证衍射光学元件激光模式变换器设计的正确性及可行性。研究结果能够应用于浸没式光刻照明系统中照明模式变换结构中,具有一定的理论价值和工程意义。
展开更多
关键词
浸没式
光
刻照明系统
照明模式变换
衍射
光
学元件
光瞳整形
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
浸没式光刻照明系统的照明模式变换器
被引量：
1
1
作者
李美萱
董连和
机构
吉林工程技术师范学院量子信息技术交叉学科研究院
吉林省量子信息技术工程实验室
长春理工大学
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2018年第6期162-167,共6页
基金
国家自然科学基金(91338116
11474037)
+1 种基金
吉林省教育厅科学研究项目(JJKH20181363KJ)
2018年度校级项目支持(可预置强度关联成像理论及实验研究)
文摘
研究了NA1.35浸没式光刻照明系统中照明模式变换模块的设计和测试。采用衍射光学元件实现包括传统照明、二极照明、四极照明的照明模式变换系统的设计和分析。给出了不同照明模式的衍射光学元件的设计结果,并对设计结果进行了模拟分析和实验分析,证明了设计的可行性。研究结果表明:当输入光场被分割的阵列数为20×20单元时,二极和四极照明模式下衍射元件台阶数为32,传统照明模式下台阶数为128的情况下,衍射光学元件作为照明模式变换器的均匀性及衍射效率都能够满足设计要求。从原理、实验上验证衍射光学元件激光模式变换器设计的正确性及可行性。研究结果能够应用于浸没式光刻照明系统中照明模式变换结构中,具有一定的理论价值和工程意义。
关键词
浸没式
光
刻照明系统
照明模式变换
衍射
光
学元件
光瞳整形
Keywords
immersion lithography lighting system
illumination mode transformation
diffractiveoptical elements
pupil shaping
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
浸没式光刻照明系统的照明模式变换器
李美萱
董连和
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2018
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
