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光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁挠度分析
被引量：
1
1
作者
唐玉娟
陈昱松
+1 位作者
王新杰
乔锟
《南京理工大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期150-155,共6页
针对PLZT陶瓷光致形变直接驱动响应速度较慢的问题,提出了一种光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁的新型驱动方式。阐述了光电-静电驱动悬臂梁的驱动机理,并建立了光电-静电驱动悬臂梁的静态模型;利用平行板电容器原理,推导出光电-静电复合驱...
针对PLZT陶瓷光致形变直接驱动响应速度较慢的问题,提出了一种光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁的新型驱动方式。阐述了光电-静电驱动悬臂梁的驱动机理,并建立了光电-静电驱动悬臂梁的静态模型;利用平行板电容器原理,推导出光电-静电复合驱动悬臂梁的挠度与静电力之间的微分方程,并得到悬臂梁自由端挠度的解析表达式;建立了光电-静电场大小及位置分布的数学模型,并分析了光照强度、静电场分布位置和静电场区域大小对悬臂梁自由端挠度的影响规律。悬臂梁自由端挠度与光照强度、静电场远离固定端的距离、静电场区域大小成正相关变化。
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关键词
PLZT陶瓷
悬臂梁
光电-静电复合驱动
挠度分析
数学模型
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职称材料
题名
光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁挠度分析
被引量：
1
1
作者
唐玉娟
陈昱松
王新杰
乔锟
机构
金陵科技学院智能科学与控制工程学院
南京理工大学机械工程学院
中兴通讯西安研发中心
出处
《南京理工大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期150-155,共6页
基金
国家自然科学基金(51675282)
2020年度金陵科技学院“科教融合”项目(2020KJRH15)。
文摘
针对PLZT陶瓷光致形变直接驱动响应速度较慢的问题,提出了一种光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁的新型驱动方式。阐述了光电-静电驱动悬臂梁的驱动机理,并建立了光电-静电驱动悬臂梁的静态模型;利用平行板电容器原理,推导出光电-静电复合驱动悬臂梁的挠度与静电力之间的微分方程,并得到悬臂梁自由端挠度的解析表达式;建立了光电-静电场大小及位置分布的数学模型,并分析了光照强度、静电场分布位置和静电场区域大小对悬臂梁自由端挠度的影响规律。悬臂梁自由端挠度与光照强度、静电场远离固定端的距离、静电场区域大小成正相关变化。
关键词
PLZT陶瓷
悬臂梁
光电-静电复合驱动
挠度分析
数学模型
Keywords
PLZT ceramics
cantilever beam
photoelectric
-
electrostatic hybrid drive
deflection analysis
mathematical model
分类号
TB381 [一般工业技术—材料科学与工程]
TH122 [机械工程—机械设计及理论]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁挠度分析
唐玉娟
陈昱松
王新杰
乔锟
《南京理工大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
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