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题名一种基于光电极值法的光学膜厚监控系统的改进设计
被引量：4
- 1
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作者
权贵秦
韩军
弥谦
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机构
西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2002年第4期30-32,25,共4页
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文摘
介绍目前通用的基于光电极值法的光学膜厚监控系统的特点 ,针对其缺点进行改进设计 ,新系统的稳定性有较大提高 ,可满足镀制多层介质薄膜器件的要求。
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关键词
系统设计
光学薄膜
光学膜厚控制系统
光电极值法
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Keywords
film thickness
monitoring control
system design
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分类号
O484.5
[理学—固体物理]
TP277
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名光电极值法测厚多层介质膜镀膜机性能的几点改进
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作者
李之慧
陶然·瓦吉地
杨雅丽
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机构
新疆大学物理系激光室
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出处
《四川激光》
1981年第A02期120-120,共1页
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文摘
我们对“光电极值法”测厚多层介质膜镀膜机的性能作了改进，取得了明显的效果，可以说几个主要指标；如保持基片和膜层的清洁，膜层厚度的相对精度、低消耗电量，设备简单上以及调整光电路的节省时间等，都达到了同类型镀膜机的先进水平。另外，我们的实验还可能对要求保持高度清洁的其它镀膜器件提供一些解决问题的途径。此外，对改进本类型镀膜机的设计也提供了一些重要的参考。
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关键词
多层介质膜
光电极值法
镀膜机
测厚
膜层厚度
相对精度
先进水平
耗电量
膜器件
类型
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分类号
TN929.11
[电子电信—通信与信息系统]
TN304.055
[电子电信—物理电子学]
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题名石英晶体振荡法监控膜厚研究
被引量：21
- 3
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作者
占美琼
张东平
杨健贺
洪波
邵建达
范正修
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期585-588,共4页
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基金
国家 8 6 3高技术计划课题的资助项目 (86 3 80 4 2 )
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文摘
给出了石英晶体振荡法监控膜厚的基本原理 ,在相同的工艺条件下分别用光电极值法和石英晶体振荡法监控膜厚 ,对制备的增透膜的反射光谱曲线进行了比较 ,并对石英晶体振荡法的监控结果做了误差分析 结果表明 :石英晶体振荡法不仅膜厚监控精度高 ,而且能监控沉积速率 ,获得稳定的膜层折射率 。
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关键词
光学薄膜
石英晶体振荡法
光电极值法
工具因子
误差
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Keywords
Optical coatings
Quartz crystal oscillation
Photoelectric extremum method
Tooling factor
Error
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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题名光控-晶控相结合的膜厚监控法对滤光片膜厚的研究
被引量：4
- 4
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作者
张学典
钱研华
常敏
江旻珊
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机构
上海理工大学光电信息与计算机工程
上海市现代光学系统重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期111-116,共6页
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基金
国家重大仪器专项(Nos.2014YQ09070903,2013YQ03065104)
国家高技术研究发展计划(No.2015AA020401)~~
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文摘
针对光电极值法和石英晶振法各自的弊端,结合两种方法提出了光控-晶控膜厚监控法.在相同工艺条件下,分别使用这三种方法监控905nm窄带滤光片（规整膜系）和830nm截止滤光片（非规整膜系）的膜厚,对制备的滤光片的透射率光谱曲线进行比较.结果表明,光控-晶控膜厚监控法除了各项指标都符合要求外,在曲线通带处获得的平均透过率值比光电极值法和石英晶振法获得的平均透过率值提高了3%～6%,且与理论光谱基本吻合,光谱特性最好.该方法不仅对规整和非规整膜系都能进行监控,且能有效降低膜厚误差,提高光谱特性.
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关键词
规整膜系
非规整膜系
光控-晶控
滤光片
光电极值法
石英晶振法
透射率
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Keywords
Quarter wave coatings
Non-quarter wave coatings
Photoelectric-quartz control
Filters
Photoelectric extreme value method
Quartz crystal oscillation method
Transmittance value
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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