PSD光电位置传感器的实现及SOI结构研究 被引量：5

1

作者 张新 高勇 +1 位作者 安涛 王彩琳 《西安理工大学学报》 CAS 2005年第3期236-240,共5页

分析了高灵敏度光电位置传感器(PSD)的设计和工艺制作过程,给出了器件制作工艺流程.对制作的器件进行了参数测试,测试结果为:响应波长为600～1200nm,峰值响应波长为760nm,位置分辨能力为5 μm,位置探测误差为±50 μm,暗电流为1.4&#... 分析了高灵敏度光电位置传感器(PSD)的设计和工艺制作过程,给出了器件制作工艺流程.对制作的器件进行了参数测试,测试结果为:响应波长为600～1200nm,峰值响应波长为760nm,位置分辨能力为5 μm,位置探测误差为±50 μm,暗电流为1.4×10-10A(VR=-5 V),峰值灵敏度为0.8634 A/W.同时为提高器件的响应速度,提出了基于SOI技术的PSD器件结构. 展开更多

关键词 光电位置传感器 电极 灵敏度 位置分辨率 工艺 线性度 SOI

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基于光电位置传感器的激光液位检测系统研究 被引量：7

2

作者 范准峰 莫健华 +1 位作者 高永强 黄树槐 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第12期44-45,48,共3页

针对光固化快速成形液位检测的精度要求,提出了一种基于光电位置传感器(PSD)的新型激光液位检测方法,该方法采用激光三角测量原理,非接触精密测量液位变化。在此基础上建立的液位检测系统采用专门的信号处理集成电路,并由计算机完成数... 针对光固化快速成形液位检测的精度要求,提出了一种基于光电位置传感器(PSD)的新型激光液位检测方法,该方法采用激光三角测量原理,非接触精密测量液位变化。在此基础上建立的液位检测系统采用专门的信号处理集成电路,并由计算机完成数据采集、处理、分析和显示,实现了液位的在线自动检测,检测精度达到0.01 mm. 展开更多

关键词 光电位置传感器 激光液位检测 三角测量 光固化快速成形

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光电位置传感器中形态学滤波方法的研究 被引量：1

3

作者 杨海马 马彩文 +2 位作者 王建宇 刘瑾 张亮 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1072-1075,共4页

为了有效滤除目标跟踪过程中光电位置传感器(PSD)中存在的噪声干扰,提高PSD空间探测精度和稳定性,研究了一种基于开-闭和闭-开级联组合的形态学滤波方法,通过选取适当的结构元素对一维和二维位置信号进行分析和降噪处理,获得稳定的位置... 为了有效滤除目标跟踪过程中光电位置传感器(PSD)中存在的噪声干扰,提高PSD空间探测精度和稳定性,研究了一种基于开-闭和闭-开级联组合的形态学滤波方法,通过选取适当的结构元素对一维和二维位置信号进行分析和降噪处理,获得稳定的位置信息,供后续位置跟踪设备使用。经实验数据分析,该方法具有快速滤除随机噪声、脉冲噪声以及混合噪声干扰的能力,处理速度快、实现过程简单,便于现场实时信号处理应用。 展开更多

关键词 形态学滤波 结构元素 光电位置传感器 降噪 实时信号

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光电位置传感器在转角精密定位中的应用 被引量：1

4

作者 张伯珩 边川平 +1 位作者 李露瑶 刘国媛 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期504-507,共4页

本文介绍了光电位置传感器 (Position Sensitive Detectors) PSD的工作原理及在转角精密定位中的应用 .在空间环境 ,要求体积、功耗和重量都很小的条件下 ,采用

关键词 光电位置传感器 零点定位 航天领域 半导体位置探测器 转角精密定位 旋转机械 角位置控制基准

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五维光电位置传感器的研究初探 被引量：1

5

作者 尹力明 余龙华 《气动实验与测量控制》 CSCD 1996年第1期65-69,共5页

为克服研制磁悬挂天平电感式位置传感器的不足，继而又研制了五维光电位置传感器。它除了改善信号采集的方式外，还可以在控制绕组中使用ＰＷＭ供电方式，降低装置的功耗。本文介绍了这种传感器的工作原理，同时给出了用ＣＣＤ线阵列做... 为克服研制磁悬挂天平电感式位置传感器的不足，继而又研制了五维光电位置传感器。它除了改善信号采集的方式外，还可以在控制绕组中使用ＰＷＭ供电方式，降低装置的功耗。本文介绍了这种传感器的工作原理，同时给出了用ＣＣＤ线阵列做传感器的方法。 展开更多

关键词 天平系统 五维 光电 位置传感器 CCD

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小型相机自动对焦用光电位置传感器 被引量：1

6

作者 谢会开 王爵树 《传感器技术》 CSCD 1992年第4期21-25,共5页

采用新颍的PIN结构研制的光电位置传感器,主要用于小型相机的自动对焦系统。文中阐述了PSD器件的工作原理以及为获得高反向击穿电压、高极间表面电阻和好的红外灵敏度在结构上和工艺上所作的改进。并对PSD器件进行了测试,得到符合设计... 采用新颍的PIN结构研制的光电位置传感器,主要用于小型相机的自动对焦系统。文中阐述了PSD器件的工作原理以及为获得高反向击穿电压、高极间表面电阻和好的红外灵敏度在结构上和工艺上所作的改进。并对PSD器件进行了测试,得到符合设计要求的结果。 展开更多

关键词 相机 小型 对焦 传感器 光电位置

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位置敏感传感器PSD在磁悬浮装置中的应用 被引量：5

7

作者 尹春雷 李庆军 刘淑琴 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第2期203-206,共4页

探讨了非接触式光电位移传感器PSD新的应用方法 ,发射光源和PSD接收光靶相对固定安装 ,被悬浮体悬浮在两者之间 ,其位移变化由球体遮挡光源光斑的大小而检测。讨论了由实时模拟计算芯片AD5 38构成的光电传感器前置放大电路的基本结构和... 探讨了非接触式光电位移传感器PSD新的应用方法 ,发射光源和PSD接收光靶相对固定安装 ,被悬浮体悬浮在两者之间 ,其位移变化由球体遮挡光源光斑的大小而检测。讨论了由实时模拟计算芯片AD5 38构成的光电传感器前置放大电路的基本结构和工作原理。并在磁悬浮装置中进行了实验 ,结果表明 ,传感器的精度和快速性均达到了磁悬浮系统的要求。 展开更多

关键词 位置敏感传感器 psd 磁悬浮 应用 AD538

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光电位置传感器在海绵复卷纠偏控制中的应用 被引量：1

8

作者 马问问 何金龙 王宽 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第7期148-149,共2页

对生产线上具有弹性的海绵复卷纠偏控制进行了阐述,使用步进电机和滚珠丝杠作为执行机构进行纠偏。对位置传感器的作用和工作原理进行了具体的分析,把位置传感器用在海绵布纠偏控制中检测出海绵布的跑偏位置,然后控制系统通过传感器发... 对生产线上具有弹性的海绵复卷纠偏控制进行了阐述,使用步进电机和滚珠丝杠作为执行机构进行纠偏。对位置传感器的作用和工作原理进行了具体的分析,把位置传感器用在海绵布纠偏控制中检测出海绵布的跑偏位置,然后控制系统通过传感器发出的信号来控制整个装置,并且利用智能PID控制算法使之达到期望的效果。这种纠偏控制具有纠偏方式多样性,纠偏精度高等优点。 展开更多

关键词 海绵复卷 纠偏 步进电机 光电位置传感器 智能PID

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五维光电位置传感器在啤酒瓶在线检测中的应用研究 被引量：1

9

作者 王闯 赵美宁 +1 位作者 王玉林 王立党 《食品与机械》 CSCD 北大核心 2006年第1期70-71,96,共3页

针对目前我国各个啤酒生产企业普遍使用的啤酒瓶验瓶机所存在的主要问题,研究和借鉴国内外同类设备解决由于瓶口歪、瓶子本身发生倾斜等原因造成误剔除的技术基础上,提出以五维位置光电传感器为基础,利用电子技术和计算机软件技术来补... 针对目前我国各个啤酒生产企业普遍使用的啤酒瓶验瓶机所存在的主要问题,研究和借鉴国内外同类设备解决由于瓶口歪、瓶子本身发生倾斜等原因造成误剔除的技术基础上,提出以五维位置光电传感器为基础,利用电子技术和计算机软件技术来补偿这一角度误差,消除此类情况下对检测结果的影响,实现降低误剔除率的方法。 展开更多

关键词 五维光电位置传感器 啤酒瓶在线检测 角度补偿

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CPLD在永磁同步电动机位置传感器中的应用 被引量：4

10

作者 尹伟伟 黄从武 +1 位作者 刘建波 乔鸣忠 《机电工程》 CAS 2004年第1期42-45,共4页

转子位置传感器是自控式永磁同步电动机调速控制系统中不可缺少的环节。应用波形分析法求出这种光电式转子位置传感器的逻辑关系表达式 ,用VHDL语言描述这种表达式 ,在MAX +PLUSⅡ软件环境下用AlteraCPLD进行了设计。所设计的传感器具... 转子位置传感器是自控式永磁同步电动机调速控制系统中不可缺少的环节。应用波形分析法求出这种光电式转子位置传感器的逻辑关系表达式 ,用VHDL语言描述这种表达式 ,在MAX +PLUSⅡ软件环境下用AlteraCPLD进行了设计。所设计的传感器具有实时性好 ,结构简单 ,可靠性高 ,易于实现的优点。 展开更多

关键词 永磁同步电动机 CPLD 位置传感器 调速控制系统 光电元件

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宽光束光电传感器 被引量：2

11

作者 徐振高 杨曙年 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第4期9-10,34,共3页

本文介绍了一种宽光束光电传感器的测量原理。这种传感器由光学系统和信号处理电路所组成，可用来检测运动带材的边界位置。试验表明，该传感器具有很大的测量范围和较好的灵敏度。

关键词 位置测量 光电传感器 光束 传感器

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一种便携式超声C扫描系统位置传感器改造研制 被引量：2

12

作者 刘继忠 周晓军 宫闽军 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期399-402,共4页

为满足便携式超声C扫描检测系统位置信息的获取要求,借助光电式鼠标原理,改造研制了一种光电式位置传感器。通过对HID类下层过滤驱动程序开发,定义光电式位置传感器为HID类设备,并完成Windows2000系统下的驱动程序编码。通过编写INF安... 为满足便携式超声C扫描检测系统位置信息的获取要求,借助光电式鼠标原理,改造研制了一种光电式位置传感器。通过对HID类下层过滤驱动程序开发,定义光电式位置传感器为HID类设备,并完成Windows2000系统下的驱动程序编码。通过编写INF安装文件将此新设备及其驱动程序安装到便携式系统笔记本电脑上,并通过编写用户态应用程序读取位置传感器的位置信息,实现便携式系统超声C扫描的位置信息采取。 展开更多

关键词 光电式位置传感器 便携式超声C扫描系统 驱动程序

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位置敏感器PSD在几何量测量中的应用和展望 被引量：1

13

作者 陈刚 范天泉 《工具技术》 北大核心 1996年第12期37-40,共4页

本文介绍了位置敏感器ＰＳＤ的结构原理及特点，对多种光电转换元件的性能及特点进行了归纳比较，并阐述了ＰＳＤ在几何量测量中的各种应用及其发展动向．

关键词 位置敏感器 几何量 测量 psd 传感器

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二维数字阵列光电位置敏感器件新式结构研究

14

作者 李田泽 王生德 +1 位作者 申晋 王淑云 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期46-49,共4页

简要阐述光电位置敏感器件的特点、工作原理,根据光电位置敏感器件的原理和光电位置方程,分析了背景光与测量精度的关系。在此基础上,利用低峰探测仪的双极性三极管将像素M(i,j)的行与列位线联系起来,用来检测最大光强度的像素,显示出... 简要阐述光电位置敏感器件的特点、工作原理,根据光电位置敏感器件的原理和光电位置方程,分析了背景光与测量精度的关系。在此基础上,利用低峰探测仪的双极性三极管将像素M(i,j)的行与列位线联系起来,用来检测最大光强度的像素,显示出最低输出电压,使位线与其输出电压相对应;采用分布图像的峰值检波器来模拟预处理光电信号,通过数字转换得到图像的重心位置;采用集中平行的模拟计算估算射到感光区的光分布的重心,并通过时钟比较器得到数字化图像。给出了检测位置的二维光电传感器阵列、显示与图像数量的平方根成正比功耗关系式以及几个重要结论。 展开更多

关键词 光电位置敏感器件 峰值检波器 二维光传感器阵列 数字化图像

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激光-PSD传感器在焊缝跟踪中的应用 被引量：6

15

作者 文晓江 刘春 +1 位作者 赵琳 陈武柱 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第5期41-43,共3页

详细介绍了扫描式激光 -PSD传感器工作原理 ,包括发射光路、接收光路和扫描机构的设计。该系统已经成功地应用于我国大型耐压壳体焊接中。

关键词 激光 位置检测 焊缝跟踪 psd传感器

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基于光电电场传感器的复合绝缘子内部绝缘故障检测 被引量：14

16

作者 李婵虓 牛犇 +2 位作者 曾嵘 余占清 张福增 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2422-2428,共7页

为提高电场分布法检测复合绝缘子内部故障的灵敏度,基于光电集成电场传感器搭建了一套用于复合绝缘子内部故障检测的实验系统。使用该系统模拟进行绝缘子故障检测,得到了绝缘子附近的电场分布曲线,验证了其检测绝缘子短路故障的可行性... 为提高电场分布法检测复合绝缘子内部故障的灵敏度,基于光电集成电场传感器搭建了一套用于复合绝缘子内部故障检测的实验系统。使用该系统模拟进行绝缘子故障检测,得到了绝缘子附近的电场分布曲线,验证了其检测绝缘子短路故障的可行性。然后对老化实验所得绝缘子和现场运行过的绝缘子进行了故障检测实验,结果表明:绝缘子表面附近轴向电场分布的测量点位于距离伞群边缘10 mm(外侧)时,内部绝缘故障检测具有最佳灵敏度,此时传感器可测量出的最小短路故障为长20 mm的短路故障。 展开更多

关键词 复合绝缘子 故障检测 电场分布法 光电集成电场传感器 最优故障检测位置 灵敏度

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用于光阱刚度测量的位置传感器标定实验研究

17

作者 曹杰 李静 +1 位作者 杜刚 许凯 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2012年第12期1-3,共3页

对位置传感器的标定通常采用压电陶瓷平台驱动样品池,使固定在样品池底部的直径为2.5μm的聚苯乙烯微球穿过轴向位置不同的光阱,由位置传感器获取微球的位移信息。实验结果表明,当光阱在轴向不同位置时,传感器探测灵敏度有差别。实测... 对位置传感器的标定通常采用压电陶瓷平台驱动样品池,使固定在样品池底部的直径为2.5μm的聚苯乙烯微球穿过轴向位置不同的光阱,由位置传感器获取微球的位移信息。实验结果表明,当光阱在轴向不同位置时,传感器探测灵敏度有差别。实测中应采用微球和光阱处于相同轴向位置的标定结果。 展开更多

关键词 位置传感器 压电陶瓷驱动平台 微操纵 光电探测 位移测量

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PSD位置特性与光斑及背景的关系研究 被引量：17

18

作者 袁红星 贺安之 +1 位作者 李振华 王志兴 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1999年第2期145-149,共5页

分析了ＰＳＤ（ＰｏｓｉｔｉｏｎＳｅｎｓｉｔｉｖｅＤｅｔｅｃｔｏｒ）作为二维位置传感器的优越特性，给出了理论上反偏状态下的ＰＳＤ的定位特性与光斑的关系，解释了在信号光源强度较弱时的位置坐标向中心靠拢的实验现象，理论和实... 分析了ＰＳＤ（ＰｏｓｉｔｉｏｎＳｅｎｓｉｔｉｖｅＤｅｔｅｃｔｏｒ）作为二维位置传感器的优越特性，给出了理论上反偏状态下的ＰＳＤ的定位特性与光斑的关系，解释了在信号光源强度较弱时的位置坐标向中心靠拢的实验现象，理论和实验结果符合得很好，并由此将背景光划分为漫射型和集中型，进一步建立起了背景光影响下的位置误差估算公式以及消除背景影响的算法． 展开更多

关键词 误差 光斑 背景 psd 位置传感器 光电传感器

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一维PSD的光电性能解析研究 被引量：8

19

作者 黄梅珍 唐九耀 +1 位作者 陈钰清 曹向群 《电光与控制》 北大核心 2000年第4期55-59,共5页

位置敏感探测器（ＰＳＤ）是一种基于横向光电效应的光敏器件，本文从描述横向光电效应的Ｌｕｃｏｖｓｋｙ方程出发，分析了几种不同情况下一维ＰＳＤ输出信号的解析解，讨论了一维ＰＳＤ的响应特性、线性条件及位置公式。

关键词 位置敏感探测器 psd 响应特性 光电性能

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光电位置灵敏探测器及其应用 被引量：5

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作者 方秋华 田新启 孙定 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1995年第5期52-57,共6页

介绍了一种建立在横向光电效应基础上的新型位置灵敏探测器，它不存在死区，可给出入射光点在整个先敏而上移动时的连续性位置数据，文中介绍了其结构、工作原理和特性，给出了位置坐标函数表达式和相应的检测电路框图，并讨论了ＰＳＤ... 介绍了一种建立在横向光电效应基础上的新型位置灵敏探测器，它不存在死区，可给出入射光点在整个先敏而上移动时的连续性位置数据，文中介绍了其结构、工作原理和特性，给出了位置坐标函数表达式和相应的检测电路框图，并讨论了ＰＳＤ的几个应用实例。 展开更多

关键词 光电检测 位置传感器 光电效应 位置探测器

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