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二维微变形测试器
被引量：
2
1
作者
高永全
王晓光
+1 位作者
周惠
杨翠云
《应用光学》
CAS
CSCD
2001年第5期46-48,共3页
利用光电位置传感器和二维双光杠杆放大 ,能够测量出二维微小距离的变化。
关键词
二
维
微小距离
双光杠杆
光电二维位置传感器
二
维
微变形测试器
测微原理
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
二维微变形测试器
被引量：
2
1
作者
高永全
王晓光
周惠
杨翠云
机构
华北工学院
广灵三中
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2001年第5期46-48,共3页
基金
山西省自然科学基金资助项目 2 0 0 0 10 36
文摘
利用光电位置传感器和二维双光杠杆放大 ,能够测量出二维微小距离的变化。
关键词
二
维
微小距离
双光杠杆
光电二维位置传感器
二
维
微变形测试器
测微原理
Keywords
two dimensional micro distance
position sensor diode
double optical lever
spot
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
二维微变形测试器
高永全
王晓光
周惠
杨翠云
《应用光学》
CAS
CSCD
2001
2
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职称材料
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