-
题名用于光热反射显微热成像的位置漂移修正方法
- 1
-
-
作者
刘岩
翟玉卫
丁晨
乔玉娥
荆晓冬
吴爱华
-
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
-
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第9期1142-1146,共5页
-
文摘
光热反射显微热成像测试过程中需要采集若干被测图像,整个过程中图像各像素与被测表面位置的对应关系应保持不变,但是被测表面不可避免地会发生位置漂移,从而引起测量误差。结合光热反射显微热成像的具体应用场景和位置漂移的特性,设计了有针对性的亚像素图像配准算法,结合PID控制驱动三轴纳米位移台实现实时的位置漂移修正。实验验证了算法性能以及漂移修正效果,位移修正残差在5 nm以内,与未补偿测量相比,位置漂移引入的误差得到了较好的抑制,提高了光热反射显微热成像测试的准确性。
-
关键词
计量学
亚像素图像配准
光热反射显微热成像
位置漂移
PID
-
Keywords
metrology
sub-pixel image registration
thermoreflectance microscopy
position drift
PID
-
分类号
TB96
[机械工程—光学工程]
-
