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硅基光波导分束器的研究进展
1
作者
陈梦林
冯松
+3 位作者
王迪
刘勇
胡祥建
冯露露
《电子科技》
2025年第1期59-72,共14页
光波导型器件作为集成光路中重要的器件,可分为对光波具有调制功能的有源器件和对光波呈现静态特性的无源器件。光波导分束器是光通信网络中重要的无源器件之一,被广泛应用于光通信系统,以此实现高效、快速的信息传输。硅基材料凭借优...
光波导型器件作为集成光路中重要的器件,可分为对光波具有调制功能的有源器件和对光波呈现静态特性的无源器件。光波导分束器是光通信网络中重要的无源器件之一,被广泛应用于光通信系统,以此实现高效、快速的信息传输。硅基材料凭借优越的光电特性,同时与集成电路中半导体工艺相互兼容,已成为光子集成电路的主要基底材料。文中分析了硅基光波导分束器的研究现状,归纳了定向耦合器型、多模干涉耦合器型和亚波长光栅型等结构的硅基光波导分束器,并讨论和对比了不同结构类型的硅基光波导分束器的尺寸和性能,为研发低损耗、小尺寸和宽带宽的光波导分束器提供了新思路。
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关键词
光波导型器件
集成光路
无源
器件
光波
导
分束器
硅基材料
定向耦合器
多模干涉耦合器
亚波长光栅
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职称材料
题名
硅基光波导分束器的研究进展
1
作者
陈梦林
冯松
王迪
刘勇
胡祥建
冯露露
机构
西安工程大学理学院
出处
《电子科技》
2025年第1期59-72,共14页
基金
国家重点研发计划(2018YFB2200500)
国家自然科学基金(61204080)
+2 种基金
国家重点实验室基金(SKL201804)
陕西省重点研发计划(2022GY-012)
西安市科技计划(2020KJRC0026)。
文摘
光波导型器件作为集成光路中重要的器件,可分为对光波具有调制功能的有源器件和对光波呈现静态特性的无源器件。光波导分束器是光通信网络中重要的无源器件之一,被广泛应用于光通信系统,以此实现高效、快速的信息传输。硅基材料凭借优越的光电特性,同时与集成电路中半导体工艺相互兼容,已成为光子集成电路的主要基底材料。文中分析了硅基光波导分束器的研究现状,归纳了定向耦合器型、多模干涉耦合器型和亚波长光栅型等结构的硅基光波导分束器,并讨论和对比了不同结构类型的硅基光波导分束器的尺寸和性能,为研发低损耗、小尺寸和宽带宽的光波导分束器提供了新思路。
关键词
光波导型器件
集成光路
无源
器件
光波
导
分束器
硅基材料
定向耦合器
多模干涉耦合器
亚波长光栅
Keywords
optical waveguide devices
photonic integrated circuit
passive device
optical waveguide beam splitter
silicon-based materials
directional coupler
multimode interference coupler
subwavelength grating
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅基光波导分束器的研究进展
陈梦林
冯松
王迪
刘勇
胡祥建
冯露露
《电子科技》
2025
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