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基于应变梯度理论的光栅铝膜本构关系表征及纳米压痕实验
被引量：
2
1
作者
丁健生
史国权
石广丰
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期2843-2851,共9页
基于应变梯度理论,提出了一种玻璃基底光栅铝膜本构关系的表征方法。建立了包含基底参数和铝膜参数的本构关系数学模型,并逐一表征了相关参数。进行了79g/mm中阶梯光栅铝膜的纳米压痕实验,验证了上述本构关系表征过程的正确性。提出了...
基于应变梯度理论,提出了一种玻璃基底光栅铝膜本构关系的表征方法。建立了包含基底参数和铝膜参数的本构关系数学模型,并逐一表征了相关参数。进行了79g/mm中阶梯光栅铝膜的纳米压痕实验,验证了上述本构关系表征过程的正确性。提出了光栅薄膜材料和基底材料都具有尺度效应的假设,并应用纳米压痕实验对铝膜的尺度效应和基底效应进行了实验表征。对光栅铝膜压痕实验与含基底压深实验的结果进行了比较,结果显示,在有无基底条件下,压痕结果在应力方向上相差0.8倍,在应变方向上相差3倍。进行了光栅刻划实验,结果显示压痕实验对刻划实验具有重要的指导作用。研究过程及研究结果表明:理论分析和两种实验可有效地分析光栅刻划过程,有助于在实际光栅刻划过程中减小误差,对光栅刻划的工艺过程具有较好的理论指导意义。
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关键词
光栅
刻划
光栅铝膜
玻璃基底
本构关系
纳米压痕
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职称材料
题名
基于应变梯度理论的光栅铝膜本构关系表征及纳米压痕实验
被引量：
2
1
作者
丁健生
史国权
石广丰
机构
长春理工大学机电工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期2843-2851,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51075042
No.51405031)
文摘
基于应变梯度理论,提出了一种玻璃基底光栅铝膜本构关系的表征方法。建立了包含基底参数和铝膜参数的本构关系数学模型,并逐一表征了相关参数。进行了79g/mm中阶梯光栅铝膜的纳米压痕实验,验证了上述本构关系表征过程的正确性。提出了光栅薄膜材料和基底材料都具有尺度效应的假设,并应用纳米压痕实验对铝膜的尺度效应和基底效应进行了实验表征。对光栅铝膜压痕实验与含基底压深实验的结果进行了比较,结果显示,在有无基底条件下,压痕结果在应力方向上相差0.8倍,在应变方向上相差3倍。进行了光栅刻划实验,结果显示压痕实验对刻划实验具有重要的指导作用。研究过程及研究结果表明:理论分析和两种实验可有效地分析光栅刻划过程,有助于在实际光栅刻划过程中减小误差,对光栅刻划的工艺过程具有较好的理论指导意义。
关键词
光栅
刻划
光栅铝膜
玻璃基底
本构关系
纳米压痕
Keywords
grating ruling
grating aluminum film
glass substrate
constitutive relationship
nano-indentation
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于应变梯度理论的光栅铝膜本构关系表征及纳米压痕实验
丁健生
史国权
石广丰
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
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