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二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析
1
作者
邓燕
王翔峰
+1 位作者
嵇保健
石琦凯
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期58-63,共6页
采用高质量的标准位相结构是实现光学干涉检测系统的系统传递函数精确校准及保证光学元件波前/表面中高频段信息准确检测的前提。通过对二元伪随机光栅结构和台阶位相结构两类典型表面进行模拟,分析了空间周期误差及跃变边缘陡度等制造...
采用高质量的标准位相结构是实现光学干涉检测系统的系统传递函数精确校准及保证光学元件波前/表面中高频段信息准确检测的前提。通过对二元伪随机光栅结构和台阶位相结构两类典型表面进行模拟,分析了空间周期误差及跃变边缘陡度等制造误差对于检测系统传递函数校准的影响,并分析了检测系统CCD对二元伪随机光栅欠采样和过采样时功率谱密度(PSD)的变化。结果表明:存在同等制造误差时,二元伪随机光栅结构比台阶位相结构对检测系统传递函数中高频能够实现更高精度的校准;当对二元伪随机光栅存在欠采样或过采样时,均会造成PSD随频率的下降,可通过对理想二元伪随机光栅的高度分布进行相应的采样修正消除因采样对传递函数校准的影响。
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关键词
干涉检测系统
传递
函数
二元伪随机
光栅
台阶
功率
谱
密度
中高频
制造误差
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职称材料
基于光栅滤波效应的测速方法研究
被引量：
2
2
作者
魏玉欣
张建华
+1 位作者
桂杰
周哲海
《激光杂志》
北大核心
2018年第2期39-43,共5页
本文研究了一种基于光栅滤波效应的固体表面测速方法,进行了理论分析和实验验证。阐述了光栅滤波测速方法的基本原理,测试系统的基本结构,给出了具体的实验数据和测试精度等关键指标,并讨论了光栅结构参数对测速结果的影响。分别选用0....
本文研究了一种基于光栅滤波效应的固体表面测速方法,进行了理论分析和实验验证。阐述了光栅滤波测速方法的基本原理,测试系统的基本结构,给出了具体的实验数据和测试精度等关键指标,并讨论了光栅结构参数对测速结果的影响。分别选用0.2mm和0.5mm的等距透射光栅进行光栅透过率功率谱密度函数的数值模拟计算,结果可得到不同的中心频率,验证了此方法的可行性。实验中,选用0.2mm的光栅,调整光学系统至最佳,改变被测物体的运动速度,经光栅滤波效应后会产生0.65kHz至3.23kHz的电信号,基于此信号可计算出物体的速度为0.5m/s至2.5m/s,测量精度在3.5%左右。
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关键词
光栅
滤波效应
光栅
滤波测速
光栅
结构参数
光栅透过率功率谱密度函数
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职称材料
题名
二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析
1
作者
邓燕
王翔峰
嵇保健
石琦凯
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期58-63,共6页
基金
中国工程物理研究院科技发展基金项目(2013B0401066)
文摘
采用高质量的标准位相结构是实现光学干涉检测系统的系统传递函数精确校准及保证光学元件波前/表面中高频段信息准确检测的前提。通过对二元伪随机光栅结构和台阶位相结构两类典型表面进行模拟,分析了空间周期误差及跃变边缘陡度等制造误差对于检测系统传递函数校准的影响,并分析了检测系统CCD对二元伪随机光栅欠采样和过采样时功率谱密度(PSD)的变化。结果表明:存在同等制造误差时,二元伪随机光栅结构比台阶位相结构对检测系统传递函数中高频能够实现更高精度的校准;当对二元伪随机光栅存在欠采样或过采样时,均会造成PSD随频率的下降,可通过对理想二元伪随机光栅的高度分布进行相应的采样修正消除因采样对传递函数校准的影响。
关键词
干涉检测系统
传递
函数
二元伪随机
光栅
台阶
功率
谱
密度
中高频
制造误差
Keywords
interferometric measurement system
system transfer {unction
binary pseudo random grating
step
power spectrum density
mid and high spatial frequency
fabrication imperfection
分类号
O437 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于光栅滤波效应的测速方法研究
被引量：
2
2
作者
魏玉欣
张建华
桂杰
周哲海
机构
北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室
北京聚利科技股份有限公司
出处
《激光杂志》
北大核心
2018年第2期39-43,共5页
基金
国家自然科学基金(No.61108047、61475021)
北京市自然科学基金(No.4152015)
北京信息科技大学“勤信人才”培育计划项目(No.QXTCP A201701)
文摘
本文研究了一种基于光栅滤波效应的固体表面测速方法,进行了理论分析和实验验证。阐述了光栅滤波测速方法的基本原理,测试系统的基本结构,给出了具体的实验数据和测试精度等关键指标,并讨论了光栅结构参数对测速结果的影响。分别选用0.2mm和0.5mm的等距透射光栅进行光栅透过率功率谱密度函数的数值模拟计算,结果可得到不同的中心频率,验证了此方法的可行性。实验中,选用0.2mm的光栅,调整光学系统至最佳,改变被测物体的运动速度,经光栅滤波效应后会产生0.65kHz至3.23kHz的电信号,基于此信号可计算出物体的速度为0.5m/s至2.5m/s,测量精度在3.5%左右。
关键词
光栅
滤波效应
光栅
滤波测速
光栅
结构参数
光栅透过率功率谱密度函数
Keywords
grating filter effect
grating filtering speed measurement
grating structure parameter
power spectral density function of grating transmittance
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析
邓燕
王翔峰
嵇保健
石琦凯
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于光栅滤波效应的测速方法研究
魏玉欣
张建华
桂杰
周哲海
《激光杂志》
北大核心
2018
2
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职称材料
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