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铝基微结构光栅几何参数反演
1
作者
孙双成
齐宏
+3 位作者
孙建平
阮世庭
吕中原
阮立明
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期2199-2206,共8页
微结构光栅是一种广泛应用的电子元件。采用随机微粒群优化(SPSO)算法反演了一维铝基衬底矩形光栅的几何结构参数。首先介绍了严格耦合波分析(RCWA)法和微粒群优化算法的基本原理,并采用RCWA法求解了光栅内电磁场问题;然后根据正问题求...
微结构光栅是一种广泛应用的电子元件。采用随机微粒群优化(SPSO)算法反演了一维铝基衬底矩形光栅的几何结构参数。首先介绍了严格耦合波分析(RCWA)法和微粒群优化算法的基本原理,并采用RCWA法求解了光栅内电磁场问题;然后根据正问题求得的光栅光谱反射率建立目标函数,并采用SPSO算法优化目标函数,反演得到单槽和双槽矩形光栅的周期、凸脊宽度和凹槽深度;最后分析了种群大小和搜索区间对反演结果的影响。结果表明,SPSO算法可以准确地反演光栅几何结构参数,并推荐种群数取30。
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关键词
光栅结构反演
随机微粒群优化(SPSO)算法
严格耦合波分析(RCWA)法
光谱反射率
辐射特性
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职称材料
题名
铝基微结构光栅几何参数反演
1
作者
孙双成
齐宏
孙建平
阮世庭
吕中原
阮立明
机构
哈尔滨工业大学能源科学与工程学院
上海卫星工程研究所
出处
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期2199-2206,共8页
基金
国家自然科学基金(51476043)~~
文摘
微结构光栅是一种广泛应用的电子元件。采用随机微粒群优化(SPSO)算法反演了一维铝基衬底矩形光栅的几何结构参数。首先介绍了严格耦合波分析(RCWA)法和微粒群优化算法的基本原理,并采用RCWA法求解了光栅内电磁场问题;然后根据正问题求得的光栅光谱反射率建立目标函数,并采用SPSO算法优化目标函数,反演得到单槽和双槽矩形光栅的周期、凸脊宽度和凹槽深度;最后分析了种群大小和搜索区间对反演结果的影响。结果表明,SPSO算法可以准确地反演光栅几何结构参数,并推荐种群数取30。
关键词
光栅结构反演
随机微粒群优化(SPSO)算法
严格耦合波分析(RCWA)法
光谱反射率
辐射特性
Keywords
inverse estimation of grating structure
stochastic particle swarm optimization （SPSO） algo-rithm
rigorous coupled wave analysis （RCWA） algorithm
spectral reflectance
radiative property
分类号
TK121 [动力工程及工程热物理—工程热物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
铝基微结构光栅几何参数反演
孙双成
齐宏
孙建平
阮世庭
吕中原
阮立明
《北京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
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