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题名光栅直线位移测量技术研究进展与展望
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作者
赵志财
于海
万秋华
赵长海
李勇杰
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
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出处
《电测与仪表》
北大核心
2025年第2期51-61,共11页
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基金
国家自然科学基金资助项目(52075520)
吉林省自然科学基金项目(20230101111JC)。
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文摘
直线位移测量技术在机械精密制造领域扮演着至关重要的角色,是保证加工精度的关键。与其他直线位移测量技术相比,光栅直线位移测量技术具有测量精度高、抗干扰能力强,易于实现大量程测量等优点,已成为当下研究热点之一,为进一步开展光栅直线位移测量技术研究,文中分析了三种光栅直线位移测量系统的测量原理,归纳整理了三种光栅直线位移测量的研究进展,并总结现有研究的优点与存在的不足:基于莫尔条纹的光栅直线位移测量技术受限于衍射极限的影响,分辨力难以进一步提高,基于衍射光栅的直线位移测量技术难以实现绝对位置测量,基于图像处理算法的直线位移测量技术存在集成化程度较低、测量范围有限等缺点,展望了光栅直线位移测量技术的发展方向。为开展光栅直线位移测量技术研究提供依据。
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关键词
光栅直线位移测量
高精度
高分辨力
大量程
研究进展
展望
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Keywords
grating linear displacement measurement
high precision
high resolution
large range
research progress
prospect
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分类号
TM932
[电气工程—电力电子与电力传动]
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