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基于严格耦合波理论的亚波长金属光栅偏振器设计被引量：20: 1; 作者张娜褚金奎 +1 位作者赵开春孟凡涛《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1739-1743,共5页; 亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊性质.针对仿生微纳导航系统敏感波段0.52-0.59μm的要求,采用严格耦合波理论分析了不同光栅材料、光栅面型及光栅结构参数对TM偏振透射率及透射消光比的影响,设计了对应的金属偏振光栅.所... 展开更多; 关键词二元光学亚波长光栅严格耦合波分析金属光栅偏振器; 在线阅读下载PDF 职称材料

多方向金属光栅偏振器及在偏振导航中的应用被引量：11: 2; 作者褚金奎王志文 +1 位作者张英杰王寅龙《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2237-2244,共8页; 在同一聚碳酸酯基底上制作了6个不同方向的双层金属光栅偏振器,用于消除分立器件带来的安装误差。将该偏振器应用于偏振导航传感器上并进行了测角精度测试,基于神经网络法研究了角度测量的误差补偿方法。首先,基于严格耦合波理论设计了... 展开更多; 关键词光栅偏振器偏振导航严格耦合波分析纳米压印 BP神经网络; 在线阅读下载PDF 职称材料

面形误差对亚波长金属光栅偏振器性能的影响被引量：7: 3; 作者孟凡涛褚金奎 +1 位作者韩志涛郭庆《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期951-955,共5页; 基于严格耦合波理论分析了光栅面形误差对亚波长金属光栅偏振器偏振性能的影响.通过对数值结果的分析发现,光栅圆角误差、光栅侧壁倾斜误差和光栅表面粗糙误差对光栅的TM透射效率影响不大,但它们使得光栅的消光比明显降低.因此,面形误... 展开更多; 关键词亚波长光栅亚波长金属光栅偏振器面形误差严格耦合波理论 TM透射效率消光比; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于强激光系统的光栅偏振器被引量：5: 4; 作者刘全吴建宏郭培亮《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期2962-2968,共7页; 针对强激光系统中常用的1 053nm激光器进行了偏振光栅结构的优化设计。利用严格耦合波理论分析了光栅偏振器的衍射特性及消光比,分析显示偏振光栅周期为600nm,占宽比为0.535~0.55,槽形深度为1 395nm^1 420nm时,可保证其在1 053nm波长下... 展开更多; 关键词高功率激光系统光栅偏振器严格耦合波理论全息光刻离子束刻蚀; 在线阅读下载PDF 职称材料

亚波长金属光栅偏振器制备技术研究被引量：3: 5; 作者杨江涛王健安 +1 位作者王银胡啸《红外技术》 CSCD 北大核心 2021年第1期8-12,共5页; 亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊特性,采用严格耦合波法设计并制作了一种柔性双层金属光栅偏振器,通过纳米压印技术在方形的PC(Polycarbonate,聚碳酸酯)上制备了周期为278 nm,深度为110 nm,占空比为0.5的亚波长光栅,通过... 展开更多; 关键词柔性光栅偏振器 TM透射效率消光比; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于严格耦合波理论的亚波长金属光栅偏振器设计被引量：20: 1; 作者张娜褚金奎赵开春孟凡涛; 机构大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室大连理工大学微系统研究中心; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1739-1743,共5页; 基金国家重点基础研究发展计划项目(2006CB300407) 教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-04-0266); 文摘亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊性质.针对仿生微纳导航系统敏感波段0.52-0.59μm的要求,采用严格耦合波理论分析了不同光栅材料、光栅面型及光栅结构参数对TM偏振透射率及透射消光比的影响,设计了对应的金属偏振光栅.所设计的光栅与传统金属光栅不同之处在于基底和光栅之间增加了氟化镁介质,在垂直入射条件下,TM偏振透射率及消光比都增大.在0.38μm^0.40μm及0.50μm^0.76μm全光波段内,TM偏振透射率都大于50%,消光比都大于170,达到了宽带宽、TM偏振透射率及透射消光比都较高的要求.; 关键词二元光学亚波长光栅严格耦合波分析金属光栅偏振器; Keywords binary optics subwavelength gratings rigorous coupled-wave analysis（RCWA） wire-grid polarizers（WGPs）; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] O436.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多方向金属光栅偏振器及在偏振导航中的应用被引量：11: 2; 作者褚金奎王志文张英杰王寅龙; 机构大连理工大学机械工程学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2237-2244,共8页; 基金国家973重点基础研究发展规划资助项目(No.2011CB302101 No.2011CB302105) 国家自然科学基金资助项目(No.51175056); 文摘在同一聚碳酸酯基底上制作了6个不同方向的双层金属光栅偏振器,用于消除分立器件带来的安装误差。将该偏振器应用于偏振导航传感器上并进行了测角精度测试,基于神经网络法研究了角度测量的误差补偿方法。首先,基于严格耦合波理论设计了一种亚波长双层金属光栅偏振器,分析了它的周期和金属厚度对偏振器性能的影响,其在510nm波长入射时TM偏振光透射率高于71%,消光比大于2 100。应用纳米压印技术在聚碳酸酯基底上加工制作了设计的偏振器,其基底上设有6块结构参数相同但朝向不同的双层金属光栅结构。将此偏振器安装在偏振导航传感器上并在测试平台上测试了测角精度,测试的原始误差在±1°以内;经BP神经网络法误差补偿后,测角误差在±0.2°以内。得到的结果可较好地满足偏振导航的要求。; 关键词光栅偏振器偏振导航严格耦合波分析纳米压印 BP神经网络; Keywords nano wire polarizer polarization navigation Rigorous Coupled Wave Analysis （RCWA）nanoimprint lithography BP neural network; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] O436.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名面形误差对亚波长金属光栅偏振器性能的影响被引量：7: 3; 作者孟凡涛褚金奎韩志涛郭庆; 机构大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室辽宁省微纳米技术及系统重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期951-955,共5页; 基金 973国家重点基础研究与发展计划(2006CB00407) 国家自然科学基金(50775017) 新世纪优秀人才基金(NCET-04-0266)资助; 文摘基于严格耦合波理论分析了光栅面形误差对亚波长金属光栅偏振器偏振性能的影响.通过对数值结果的分析发现,光栅圆角误差、光栅侧壁倾斜误差和光栅表面粗糙误差对光栅的TM透射效率影响不大,但它们使得光栅的消光比明显降低.因此,面形误差使得光栅的偏振性能明显降低.理论分析表明,顶角为直角、侧壁垂直和表面光滑的理想矩形光栅结构的偏振性能最好.; 关键词亚波长光栅亚波长金属光栅偏振器面形误差严格耦合波理论 TM透射效率消光比; Keywords Sub wavelength grating Sub-wavelength wire-grid polarizer Grating profile RCWT TM transmission efficiency Extinction ratio; 分类号 O436.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于强激光系统的光栅偏振器被引量：5: 4; 作者刘全吴建宏郭培亮; 机构苏州大学物理与光电.能源学部苏州纳米科技协同创新中心苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室教育部现代光学技术重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期2962-2968,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.60907017) 上海市全固态激光器与应用技术重点实验室开放课题资助项目(No.2014ADL02); 文摘针对强激光系统中常用的1 053nm激光器进行了偏振光栅结构的优化设计。利用严格耦合波理论分析了光栅偏振器的衍射特性及消光比,分析显示偏振光栅周期为600nm,占宽比为0.535~0.55,槽形深度为1 395nm^1 420nm时,可保证其在1 053nm波长下,透射率高于95%,消光比大于1 500。基于分析结果,利用全息光刻技术制作了高质量光刻胶光栅掩模,并采用倾斜转动的离子束刻蚀结合反应离子束刻蚀的方法对该光刻胶光栅掩模进行图形转移,制作了底部占宽比为0.54,槽形深度为1 400nm的光栅偏振器。实验测量显示其透射率为92.9%,消光比达到160。与其他制作光栅偏振器方法相比,采用单光刻胶光栅掩模结合倾斜转动的离子束刻蚀工艺,不但简化了制作工艺,而且具有激光损伤阈值高、成本低的优点。由于该技术可制作大面积光栅,特别利于在强激光系统中应用。; 关键词高功率激光系统光栅偏振器严格耦合波理论全息光刻离子束刻蚀; Keywords high power laser system~ grating polarizer rigorous coupled-wave theory holographic li- thography ion beam etching; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程] O436.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名亚波长金属光栅偏振器制备技术研究被引量：3: 5; 作者杨江涛王健安王银胡啸; 机构太原科技大学电子信息工程学院; 出处《红外技术》 CSCD 北大核心 2021年第1期8-12,共5页; 基金国家自然科学基金青年基金(61905172) 博士科研启动基金项目(20192015) 来晋优秀博士奖励资金项目(20192068)。; 文摘亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊特性,采用严格耦合波法设计并制作了一种柔性双层金属光栅偏振器,通过纳米压印技术在方形的PC(Polycarbonate,聚碳酸酯)上制备了周期为278 nm,深度为110 nm,占空比为0.5的亚波长光栅,通过磁控溅射技术在制作的介质光栅上沉积了70 nm的金属铝层,制作了具有双层金属结构的柔性双层金属光栅偏振器,并用光谱测试系统进行了简单的性能测试。实验结果表明,当入射光波长范围在350~800 nm时,制作的柔性双层光栅偏振器偏振特性优良,且具有非常高的透过率和消光比,分别高达48%和100000。该制作工艺只由纳米压印和金属蒸镀完成,省去了复杂的涂胶、剥离及刻蚀,因此在大批量生产偏振器方面具有很明显的优势,可普遍用于光探测器件、光电开光等半导体光电子器件的制作过程。; 关键词柔性光栅偏振器 TM透射效率消光比; Keywords flexible wire-grid polarizer TM transmission efficiency extinction ratio; 分类号 TH706 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于严格耦合波理论的亚波长金属光栅偏振器设计	张娜褚金奎赵开春孟凡涛	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	20	在线阅读下载PDF 职称材料
2	多方向金属光栅偏振器及在偏振导航中的应用	褚金奎王志文张英杰王寅龙	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	11	在线阅读下载PDF 职称材料
3	面形误差对亚波长金属光栅偏振器性能的影响	孟凡涛褚金奎韩志涛郭庆	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	用于强激光系统的光栅偏振器	刘全吴建宏郭培亮	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	亚波长金属光栅偏振器制备技术研究	杨江涛王健安王银胡啸	《红外技术》 CSCD 北大核心	2021	3	在线阅读下载PDF 职称材料