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基于椭偏光谱和光杠杆法的薄膜厚度及曲率测量系统设计
1
作者
孙伟
金尚忠
+2 位作者
张殷
孙紫娟
徐胜
《光通信技术》
北大核心
2025年第1期94-100,共7页
在密集波分复用系统中使用窄带滤光片进行工艺调试时,需要对单层薄膜的厚度、厚度分布以及残余应力等参数进行测量。针对当前需采用多个系统测量时的复杂性及重复定位而引入误差的问题,设计了一种基于椭偏光谱和光杠杆法的薄膜厚度及曲...
在密集波分复用系统中使用窄带滤光片进行工艺调试时,需要对单层薄膜的厚度、厚度分布以及残余应力等参数进行测量。针对当前需采用多个系统测量时的复杂性及重复定位而引入误差的问题,设计了一种基于椭偏光谱和光杠杆法的薄膜厚度及曲率测量系统。该系统在椭偏光谱测量的基础上引入光杠杆法,成功地在一个集成设备上实现了对上述多种参数的精确测量。实验结果表明:与RC2型椭偏仪、ZYGO激光干涉仪测量结果相比,所设计的测量系统测得的薄膜厚度偏差小于0.21%,厚度分布偏差值小于0.025%,曲率和残余应力偏差均在±1°以内,系统能够统满足实际的测量需求。
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关键词
光学检测
椭偏光谱
光杠杆法
基片曲率
法
残余应力
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职称材料
AFM悬臂定位系统中光干涉误差及减小方法研究(英文)
被引量：
3
2
作者
黄强先
万耿华
+4 位作者
谢鸿
权太聪
三隅伊知子
金泰皓
黑泽富藏
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期217-223,共7页
光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法。由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露。被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针—试样接近曲线中产生光干涉误差。基于...
光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法。由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露。被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针—试样接近曲线中产生光干涉误差。基于轻触模式AFM,分析了光干涉误差的产生原因,并对其引起的AFM测量误差进行了数学分析和仿真、提出了减小光干涉误差的方法。实验结果和理论分析表明,为了进一步提高AFM的测量精度,有必要克服定位系统中的光干涉误差。
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关键词
干涉误差
光杠杆法
悬臂
原子力显微镜
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职称材料
阶梯式物理实验教学
3
作者
李寿松
李锦英
《中国大学教学》
1992年第3期10-11,共2页
1984年起我校进行了阶梯式物理实验教学的尝试,目前已取得较为满意的教学效果。现将阶梯式物理实验教学的概况和特点介绍如下: 一、概况传统的物理实验教学是按照力学、热学、电学、磁学、光学、近代物理的顺序编排的,阶梯式物理实验教...
1984年起我校进行了阶梯式物理实验教学的尝试,目前已取得较为满意的教学效果。现将阶梯式物理实验教学的概况和特点介绍如下: 一、概况传统的物理实验教学是按照力学、热学、电学、磁学、光学、近代物理的顺序编排的,阶梯式物理实验教学则突破这一模式。
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关键词
实验教学
特点介绍
顺序编排
光杠杆
放大
法
普朗克常数
基本实验方
法
学生能力培养
教学效果
绪论课
金属丝
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职称材料
题名
基于椭偏光谱和光杠杆法的薄膜厚度及曲率测量系统设计
1
作者
孙伟
金尚忠
张殷
孙紫娟
徐胜
机构
中国计量大学光学与电子科技学院
苏州岚创科技有限公司
出处
《光通信技术》
北大核心
2025年第1期94-100,共7页
文摘
在密集波分复用系统中使用窄带滤光片进行工艺调试时,需要对单层薄膜的厚度、厚度分布以及残余应力等参数进行测量。针对当前需采用多个系统测量时的复杂性及重复定位而引入误差的问题,设计了一种基于椭偏光谱和光杠杆法的薄膜厚度及曲率测量系统。该系统在椭偏光谱测量的基础上引入光杠杆法,成功地在一个集成设备上实现了对上述多种参数的精确测量。实验结果表明:与RC2型椭偏仪、ZYGO激光干涉仪测量结果相比,所设计的测量系统测得的薄膜厚度偏差小于0.21%,厚度分布偏差值小于0.025%,曲率和残余应力偏差均在±1°以内,系统能够统满足实际的测量需求。
关键词
光学检测
椭偏光谱
光杠杆法
基片曲率
法
残余应力
Keywords
optical inspection
ellipsometry spectrum
optical lever method
substrate curvature method
residual stress
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
AFM悬臂定位系统中光干涉误差及减小方法研究(英文)
被引量：
3
2
作者
黄强先
万耿华
谢鸿
权太聪
三隅伊知子
金泰皓
黑泽富藏
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
产业技术综合研究所日本国家计量院筑波
合肥工业大学计算机与信息学院
产业技术综合研究所日本国家计量院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期217-223,共7页
基金
Supported by the Foundation of Creating Research Group Programme, Hefei University of Technology, and Provincial Key Labora-tory "Quality Engineering of Modern Test and Manufacture" Foundation of Anhui
文摘
光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法。由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露。被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针—试样接近曲线中产生光干涉误差。基于轻触模式AFM,分析了光干涉误差的产生原因,并对其引起的AFM测量误差进行了数学分析和仿真、提出了减小光干涉误差的方法。实验结果和理论分析表明,为了进一步提高AFM的测量精度,有必要克服定位系统中的光干涉误差。
关键词
干涉误差
光杠杆法
悬臂
原子力显微镜
Keywords
interference error
optical lever method
cantilever
AFM
分类号
TH71 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TH89 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
阶梯式物理实验教学
3
作者
李寿松
李锦英
机构
扬州工学院基础部
扬州工学院基础部 副教授
讲师
出处
《中国大学教学》
1992年第3期10-11,共2页
文摘
1984年起我校进行了阶梯式物理实验教学的尝试,目前已取得较为满意的教学效果。现将阶梯式物理实验教学的概况和特点介绍如下: 一、概况传统的物理实验教学是按照力学、热学、电学、磁学、光学、近代物理的顺序编排的,阶梯式物理实验教学则突破这一模式。
关键词
实验教学
特点介绍
顺序编排
光杠杆
放大
法
普朗克常数
基本实验方
法
学生能力培养
教学效果
绪论课
金属丝
分类号
G649.2 [文化科学—高等教育学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于椭偏光谱和光杠杆法的薄膜厚度及曲率测量系统设计
孙伟
金尚忠
张殷
孙紫娟
徐胜
《光通信技术》
北大核心
2025
0
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职称材料
2
AFM悬臂定位系统中光干涉误差及减小方法研究(英文)
黄强先
万耿华
谢鸿
权太聪
三隅伊知子
金泰皓
黑泽富藏
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
阶梯式物理实验教学
李寿松
李锦英
《中国大学教学》
1992
0
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职称材料
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