期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性
1
作者
饶欢乐
刘正坤
+5 位作者
刘颖
蒋晓龙
邱克强
徐向东
洪义麟
付绍军
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期1609-1610,共2页
作为强激光系统的终端组件之一,光束采样光栅是制作在熔石英基底上的浅槽光栅。利用熔石英的传统化学机械抛光技术,修正熔石英光束采样光栅的槽型轮廓,降低局部偏高的衍射效率,以提高光束采样光栅的整体效率均匀性。利用此方法已成功将4...
作为强激光系统的终端组件之一,光束采样光栅是制作在熔石英基底上的浅槽光栅。利用熔石英的传统化学机械抛光技术,修正熔石英光束采样光栅的槽型轮廓,降低局部偏高的衍射效率,以提高光束采样光栅的整体效率均匀性。利用此方法已成功将430mm×430mm的光束采样光栅的衍射效率均方根值(RMS)由30%附近降低到5%以下。实验结果显示,利用传统化学机械抛光技术可以有效提高光束采样光栅衍射效率均匀性,这是一种可行的技术方案。
展开更多
关键词
光束采样光栅
衍射效率
均匀性
化学机械抛光
在线阅读
下载PDF
职称材料
物理光学
2
《中国光学与应用光学》
2007年第2期4-7,共4页
关键词
物理光学
光栅
常数
色分离
光栅
圆偏振光
高斯
光束
湍流介质
横向位移
正弦相位调制
偏振分光镜
剪切电子散斑干涉
偏振态
等倾干涉
光束采样光栅
红外偏振成像
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性
1
作者
饶欢乐
刘正坤
刘颖
蒋晓龙
邱克强
徐向东
洪义麟
付绍军
机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期1609-1610,共2页
基金
国家重大专项
中国科学院知识创新工程重要方向项目(GY2011053005)
国家自然科学基金项目(10975139)
文摘
作为强激光系统的终端组件之一,光束采样光栅是制作在熔石英基底上的浅槽光栅。利用熔石英的传统化学机械抛光技术,修正熔石英光束采样光栅的槽型轮廓,降低局部偏高的衍射效率,以提高光束采样光栅的整体效率均匀性。利用此方法已成功将430mm×430mm的光束采样光栅的衍射效率均方根值(RMS)由30%附近降低到5%以下。实验结果显示,利用传统化学机械抛光技术可以有效提高光束采样光栅衍射效率均匀性,这是一种可行的技术方案。
关键词
光束采样光栅
衍射效率
均匀性
化学机械抛光
Keywords
beam sampling grating
diffraction efficiency
uniformity
chemical mechanical polishing
分类号
TN244 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
物理光学
2
出处
《中国光学与应用光学》
2007年第2期4-7,共4页
关键词
物理光学
光栅
常数
色分离
光栅
圆偏振光
高斯
光束
湍流介质
横向位移
正弦相位调制
偏振分光镜
剪切电子散斑干涉
偏振态
等倾干涉
光束采样光栅
红外偏振成像
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性
饶欢乐
刘正坤
刘颖
蒋晓龙
邱克强
徐向东
洪义麟
付绍军
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
物理光学
《中国光学与应用光学》
2007
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
