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激光束偏转法检测金属表面层的缺陷
被引量:
2
1
作者
施柏煊
赵杰
龚健
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第2期53-58,共6页
本文编程计算了由激光光热效应产生的金属表面的温度分布和泵浦光的调制频率、金属层厚度等的关系,预言检测深度缺陷的能力。用激光光束偏转法检测到表面下不同深处的缺陷,并把面扫描幅值信号以三维象和灰度象显示。
关键词
金属表面层
缺陷
激
光束偏转法
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职称材料
光束偏转法自动测试激光等离子体冲击波系统的研制
2
作者
程志强
冯勇
+2 位作者
宗岩坡
郑天庆
侯贞霞
《物理实验》
北大核心
2002年第1期18-21,共4页
根据光束偏转原理 ,研制了激光等离子体冲击波自动测试系统的硬件和软件 .该系统使用计算机与可编程序控制器作为上下位机 ,采取上下位机通讯的方式控制步进电机及二维移动架的移动 ,以改变探测光的相对位置 ,并利用单模光纤和光电倍增...
根据光束偏转原理 ,研制了激光等离子体冲击波自动测试系统的硬件和软件 .该系统使用计算机与可编程序控制器作为上下位机 ,采取上下位机通讯的方式控制步进电机及二维移动架的移动 ,以改变探测光的相对位置 ,并利用单模光纤和光电倍增管将探测到的光偏转信号传入数字示波器进行存储 ,最后计算机将示波器中采集到的光偏转信号进行分析处理 .使用该系统对激光等离子体冲击波的衰减过程进行了实际测试 。
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关键词
光束偏转法
激光等离子体
可编程序控制器
步进电机
冲击波
衰减过程
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职称材料
用光束偏转层析迭代法重建三维位相物体
被引量:
1
3
作者
高益庆
《南昌航空工业学院学报》
CAS
1996年第1期21-26,共6页
本文结合位相物体的先验知识,研究了用光束偏转层析迭代法重建三维位相物体的重建精度及算法,内插函数、采样方式、视角范围和数据噪声的影响。作为一个应用实例,诊断了气体温度场某一截面的温度分布。
关键词
光束
偏转
层析
法
计算机层析技术
像重显
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职称材料
PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用
被引量:
1
4
作者
张冬仙
章海军
林晓峰
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期384-388,共5页
给出了自制的 3mm× 3mm位置敏感元件 (PSD)的光谱响应特性 ,覆盖从紫外光、可见光到红外光 (32 0~115 0nm)的广阔区域 .采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定 .阐述了PSD在卧式原子力显微镜 (AFM)系统中的应用 ...
给出了自制的 3mm× 3mm位置敏感元件 (PSD)的光谱响应特性 ,覆盖从紫外光、可见光到红外光 (32 0~115 0nm)的广阔区域 .采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定 .阐述了PSD在卧式原子力显微镜 (AFM)系统中的应用 ,介绍了卧式AFM的工作原理和控制系统 ,提供了部分样品的AFM扫描图像 .结果表明 ,该AFM系统具有较高的成像效率以及良好的工作稳定性、图像重复性和对比度 ,系统的最大扫描范围为 5 μm× 5 μm ,分辨率达到 1nm量级 ,表明PSD在光谱响应。
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关键词
光谱响应
纳米技术
原子力显微镜
AFM
光谱响应
光束偏转法
位置敏感元件
分辨率
PSD233型
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职称材料
优化型多扫描方式原子力显微镜的研制
5
作者
陈欢
章海军
张冬仙
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期16-20,共5页
本文提出和发展了一种多扫描方式的新型原子力显微镜(AFM)技术及系统。该系统拥有三个不同的扫描器,以相互组合的方式实现三种不同的扫描方式,由管状压电陶瓷驱动的柔性结构扫描器,采用样品扫描方式,对于小尺寸样品能够提供高分辨率的...
本文提出和发展了一种多扫描方式的新型原子力显微镜(AFM)技术及系统。该系统拥有三个不同的扫描器,以相互组合的方式实现三种不同的扫描方式,由管状压电陶瓷驱动的柔性结构扫描器,采用样品扫描方式,对于小尺寸样品能够提供高分辨率的快速扫描;由叠层式压电陶瓷驱动的扫描器,采用探针扫描方式,提供各类样品的大范围扫描;由步进电机驱动的扫描器,采用样品扫描方式,能够实现大尺寸样品的大范围扫描。三种方式的单幅图像扫描范围可分别达到4μm×4μm、20μm×20μm、40μm×40μm。实验结果表明,借助于上述多扫描方式及独特的结构设计,该AFM不仅具有分辨率高、扫描速度快、重复性好等优化性能,而且能同时实现各类尺寸样品的各种扫描范围的微纳米成像,具有更好的实用性,可望在微纳米技术领域获得广泛应用。
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关键词
AFM
多扫描方式
光束偏转法
大尺寸样品
大扫描范围
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职称材料
题名
激光束偏转法检测金属表面层的缺陷
被引量:
2
1
作者
施柏煊
赵杰
龚健
机构
浙江大学光科系
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第2期53-58,共6页
基金
国家自然科学基金
文摘
本文编程计算了由激光光热效应产生的金属表面的温度分布和泵浦光的调制频率、金属层厚度等的关系,预言检测深度缺陷的能力。用激光光束偏转法检测到表面下不同深处的缺陷,并把面扫描幅值信号以三维象和灰度象显示。
关键词
金属表面层
缺陷
激
光束偏转法
Keywords
optical beam deflection(OBD)
laser inspection
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
光束偏转法自动测试激光等离子体冲击波系统的研制
2
作者
程志强
冯勇
宗岩坡
郑天庆
侯贞霞
机构
安阳钢铁公司职工大学
出处
《物理实验》
北大核心
2002年第1期18-21,共4页
文摘
根据光束偏转原理 ,研制了激光等离子体冲击波自动测试系统的硬件和软件 .该系统使用计算机与可编程序控制器作为上下位机 ,采取上下位机通讯的方式控制步进电机及二维移动架的移动 ,以改变探测光的相对位置 ,并利用单模光纤和光电倍增管将探测到的光偏转信号传入数字示波器进行存储 ,最后计算机将示波器中采集到的光偏转信号进行分析处理 .使用该系统对激光等离子体冲击波的衰减过程进行了实际测试 。
关键词
光束偏转法
激光等离子体
可编程序控制器
步进电机
冲击波
衰减过程
Keywords
beam deflection
laser plasma
PLC(programmable logic controller)
stepper motor
分类号
O536 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
用光束偏转层析迭代法重建三维位相物体
被引量:
1
3
作者
高益庆
出处
《南昌航空工业学院学报》
CAS
1996年第1期21-26,共6页
基金
江西省自然科学基金资助项目
文摘
本文结合位相物体的先验知识,研究了用光束偏转层析迭代法重建三维位相物体的重建精度及算法,内插函数、采样方式、视角范围和数据噪声的影响。作为一个应用实例,诊断了气体温度场某一截面的温度分布。
关键词
光束
偏转
层析
法
计算机层析技术
像重显
Keywords
Light beams, Deflection fomography,Computer tomographic technique,Image reproduing,Temperaturd measurement.
分类号
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
O435 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用
被引量:
1
4
作者
张冬仙
章海军
林晓峰
机构
浙江大学光电系
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期384-388,共5页
文摘
给出了自制的 3mm× 3mm位置敏感元件 (PSD)的光谱响应特性 ,覆盖从紫外光、可见光到红外光 (32 0~115 0nm)的广阔区域 .采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定 .阐述了PSD在卧式原子力显微镜 (AFM)系统中的应用 ,介绍了卧式AFM的工作原理和控制系统 ,提供了部分样品的AFM扫描图像 .结果表明 ,该AFM系统具有较高的成像效率以及良好的工作稳定性、图像重复性和对比度 ,系统的最大扫描范围为 5 μm× 5 μm ,分辨率达到 1nm量级 ,表明PSD在光谱响应。
关键词
光谱响应
纳米技术
原子力显微镜
AFM
光谱响应
光束偏转法
位置敏感元件
分辨率
PSD233型
Keywords
PSD
spectral response
AFM
nanotechnology
分类号
TN15 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
优化型多扫描方式原子力显微镜的研制
5
作者
陈欢
章海军
张冬仙
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期16-20,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目:光致表面弹性波的机理及激光驱动马达的新方法研究(51077117)
浙江省自然科学基金(Z1110196)
文摘
本文提出和发展了一种多扫描方式的新型原子力显微镜(AFM)技术及系统。该系统拥有三个不同的扫描器,以相互组合的方式实现三种不同的扫描方式,由管状压电陶瓷驱动的柔性结构扫描器,采用样品扫描方式,对于小尺寸样品能够提供高分辨率的快速扫描;由叠层式压电陶瓷驱动的扫描器,采用探针扫描方式,提供各类样品的大范围扫描;由步进电机驱动的扫描器,采用样品扫描方式,能够实现大尺寸样品的大范围扫描。三种方式的单幅图像扫描范围可分别达到4μm×4μm、20μm×20μm、40μm×40μm。实验结果表明,借助于上述多扫描方式及独特的结构设计,该AFM不仅具有分辨率高、扫描速度快、重复性好等优化性能,而且能同时实现各类尺寸样品的各种扫描范围的微纳米成像,具有更好的实用性,可望在微纳米技术领域获得广泛应用。
关键词
AFM
多扫描方式
光束偏转法
大尺寸样品
大扫描范围
Keywords
AFM
multi scan mode
beam deflection method
large-sized sample
wide range scan
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光束偏转法检测金属表面层的缺陷
施柏煊
赵杰
龚健
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
1994
2
在线阅读
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职称材料
2
光束偏转法自动测试激光等离子体冲击波系统的研制
程志强
冯勇
宗岩坡
郑天庆
侯贞霞
《物理实验》
北大核心
2002
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
用光束偏转层析迭代法重建三维位相物体
高益庆
《南昌航空工业学院学报》
CAS
1996
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用
张冬仙
章海军
林晓峰
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
优化型多扫描方式原子力显微镜的研制
陈欢
章海军
张冬仙
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
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