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薄膜应力激光测量的新装置 被引量:6
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作者 方小坤 安毓英 林晓春 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期693-695,共3页
介绍了一种基于多光束原理的薄膜应力测试方法,通过对反射光光点间距变化的检测,可以实时得到应力的信息。其灵敏度优于2.5×106 Pa,精度优于5%。该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,与计算机自动控制系统相结合,可以... 介绍了一种基于多光束原理的薄膜应力测试方法,通过对反射光光点间距变化的检测,可以实时得到应力的信息。其灵敏度优于2.5×106 Pa,精度优于5%。该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,与计算机自动控制系统相结合,可以应用于生产线的薄膜生长过程控制检测。 展开更多
关键词 薄膜 实时应力测试 光束传感器
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薄膜应力激光测量的新装置 被引量:1
2
作者 方小坤 林晓春 安毓英 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z1期282-,共1页
薄膜生长过程中薄膜应力的检测已引起国内外广泛的关注和重视.文中介绍了一种光学和电子学结合的方法,建立了基于多光束光学传感器和光电检测电路以检测薄膜应力的装置,通过对反射光光点间距变化的检测,可以实时得到应力的信息.它可进... 薄膜生长过程中薄膜应力的检测已引起国内外广泛的关注和重视.文中介绍了一种光学和电子学结合的方法,建立了基于多光束光学传感器和光电检测电路以检测薄膜应力的装置,通过对反射光光点间距变化的检测,可以实时得到应力的信息.它可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106 Pa,精度优于5%.该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,与计算机自动控制系统相结合,可以应用于生产线的薄膜生长过程控制检测. 展开更多
关键词 实时检测技术 光束光学传感器 光电检测电路 CCD 应力
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半导体薄膜特性实时检测的新装置
3
作者 胡志敏 林晓春 安毓英 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第7期25-27,33,共4页
利用光学和电子学结合的方法,建立了基于多光束光学传感器和光电检测电路的检测薄膜特性装置。通过对反射光光点间距变化和光强振荡的检测,实时检测薄膜应力、厚度、生长率等常数的信息。通过理论分析,该装置厚度测量的精度优于2nm,应... 利用光学和电子学结合的方法,建立了基于多光束光学传感器和光电检测电路的检测薄膜特性装置。通过对反射光光点间距变化和光强振荡的检测,实时检测薄膜应力、厚度、生长率等常数的信息。通过理论分析,该装置厚度测量的精度优于2nm,应力的灵敏度优于5MPa,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制检测。 展开更多
关键词 实时检测 光束光学传感器 光电检测电路 薄膜应力
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全自动波形瓦机组
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作者 《广东建材》 1998年第2期39-39,共1页
浙江慈溪天风挤出机械有限公司,运用国外九十年代挤塑机械的先进技术,自行设计生产出PVC波形瓦整套机组。 该机组以成型挤出模具、采用进口光束传感器作定长切割;以及成品波形瓦堆放架等为副机。可与进口同类机械相媲美的自动化PVC波形... 浙江慈溪天风挤出机械有限公司,运用国外九十年代挤塑机械的先进技术,自行设计生产出PVC波形瓦整套机组。 该机组以成型挤出模具、采用进口光束传感器作定长切割;以及成品波形瓦堆放架等为副机。可与进口同类机械相媲美的自动化PVC波形瓦连续生产机组。 展开更多
关键词 波形瓦 光束传感器 整套机组 定长切割 成型挤出 挤出机械 生产机组 堆放架 先进技术 自动化
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风洞模型激光攻角测量 被引量:2
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作者 陈国光 张岩 张心英 《大连铁道学院学报》 2002年第3期46-48,共3页
给出一种用于风洞飞机模型攻角测量的方法.采用对称双光束交叠照射角传感器,风洞实验测角范围由40°增加到76°;利用电子处理器计数干涉条纹,测角精度可达0.005°.
关键词 风洞模型 攻角测量 飞机模型 对称双光束交叠照射角传感器
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PASSIVE OPTICAL FIBRE SENSOR FOR REB MEASUREMENT
6
作者 王耀才 《Journal of China University of Mining and Technology》 1990年第1期93-100,共8页
The paper systematically describes the theoretical research on Cerenkov effect of REB in optical fibres. The analytical expressions for light generation ,collection efficiency ,electron incident angle .the Cerenkov ra... The paper systematically describes the theoretical research on Cerenkov effect of REB in optical fibres. The analytical expressions for light generation ,collection efficiency ,electron incident angle .the Cerenkov radiation sensitivity of the optical fibre to the current density of the REB stream.and the response of the sensitivity to both electron energy and electron incident angles are given. The typical sensor system for REB measurement is presented. The dynamic range and bandwidth are quantitatively analyzed. The calculation results are illustrated, 展开更多
关键词 cerenkon radiation optical fibre sensor relativistic electron beam
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