飞秒激光在光敏玻璃内制作微孔 被引量：3

1

作者 巫殷忠 王清月 +2 位作者 贾威 胡明列 柴路 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1293-1296,共4页

用20倍显微物镜将波长为775nm的飞秒激光聚焦在光敏玻璃(FOTURAN)内部,通过纵向写制模式由表面以下500μm曝光至表面,并结合热处理和在浓度8%的氢氟酸超声溶液中腐蚀50min,在FOTURAN内部制作了直径为几十μm的微孔.利用光学和扫描电子... 用20倍显微物镜将波长为775nm的飞秒激光聚焦在光敏玻璃(FOTURAN)内部,通过纵向写制模式由表面以下500μm曝光至表面,并结合热处理和在浓度8%的氢氟酸超声溶液中腐蚀50min,在FOTURAN内部制作了直径为几十μm的微孔.利用光学和扫描电子显微镜分析发现微孔具有圆形横截面和清晰边缘,目前得到的深宽比大约为7.通过在宽范围内改变入射激光能流(2.3～36.2J/cm2)和写制速度(100～1000μm/s),研究了这两项飞秒激光入射参量对制作微孔的影响.发现写制速度对制作微孔直径影响较小,而利用相对低的入射激光能流曝光可得到较大深宽比的微孔,并且在此情形下制作微孔的横截面更圆,璧面光滑度更高,并分析了原因. 展开更多

关键词 飞秒激光 微制作 微孔 FOTURAN玻璃 光敏玻璃

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飞秒激光在光敏玻璃上制作微凹面

2

作者 巫殷忠 王清月 +2 位作者 贾威 胡明列 柴路 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1597-1601,共5页

利用聚焦的飞秒激光(中心波长775nm、脉宽150fs)照射FOTURAN光敏玻璃,经热处理及浓度为8%的氢氟酸溶液室温腐蚀50min后,在FOTURAN玻璃表面制作了微凹面.利用原子力显微镜和扫描电子显微镜分析了微凹面的形貌,发现它具有光滑璧面和清晰边... 利用聚焦的飞秒激光(中心波长775nm、脉宽150fs)照射FOTURAN光敏玻璃,经热处理及浓度为8%的氢氟酸溶液室温腐蚀50min后,在FOTURAN玻璃表面制作了微凹面.利用原子力显微镜和扫描电子显微镜分析了微凹面的形貌,发现它具有光滑璧面和清晰边缘,直径约为几十微米.通过分别改变入射激光的单脉冲能量(970～3250nJ)和脉冲数目(10～3000个),研究了它们对微凹面制作结果的影响,发现了微凹面的直径随激光入射参量的饱和效应,并解释了其原因;指出了飞秒激光在FOTURAN上制作微结构的应用. 展开更多

关键词 飞秒激光 微凹面 微细加工 FOTURAN玻璃 光敏玻璃

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光敏玻璃在飞秒激光作用下的析晶 被引量：5

3

作者 游牧 赵卫 +1 位作者 程光华 邹快盛 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期40-42,46,共4页

采用高温熔融法制备了银掺杂的锂铝硅酸盐微晶玻璃。经近红外飞秒激光照射和热处理后,通过显微镜观察及X射线衍射分析发现,玻璃内部形成以银原子为晶核的L i2O.A l2O3.3S iO2多晶结构微晶,晶体细小,呈乳白色,为六方晶系,呈现空间取向分... 采用高温熔融法制备了银掺杂的锂铝硅酸盐微晶玻璃。经近红外飞秒激光照射和热处理后,通过显微镜观察及X射线衍射分析发现,玻璃内部形成以银原子为晶核的L i2O.A l2O3.3S iO2多晶结构微晶,晶体细小,呈乳白色,为六方晶系,呈现空间取向分布结构。飞秒激光照射部位玻璃折射率发生明显变化,出现析晶;未照射部位折射率无明显变化,仍为玻璃体。利用光致折射率变化和飞秒激光的空间选择特性,可望在玻璃内部实现微光栅、波导、微机械器件、光学掩模等微结构。 展开更多

关键词 超快光学 光敏玻璃 飞秒激光 六方晶系 X射线衍射

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基于光敏玻璃的垂直互连通孔仿真与电镀工艺研究 被引量：18

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作者 林来存 王启东 +4 位作者 邱德龙 伍恒 薛恺 于大全 曹立强 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期52-57,共6页

本文对玻璃通孔与硅通孔垂直互连结构进行了电磁场仿真,并对比了两者的高频传输特性,结果显示在20GHz处,玻璃通孔与硅通孔的插入损耗分别为-0.024dB和-1.62dB,玻璃通孔的高频传输性能明显优于硅通孔.基于光敏玻璃衬底,采用高刻蚀速率的... 本文对玻璃通孔与硅通孔垂直互连结构进行了电磁场仿真,并对比了两者的高频传输特性,结果显示在20GHz处,玻璃通孔与硅通孔的插入损耗分别为-0.024dB和-1.62dB,玻璃通孔的高频传输性能明显优于硅通孔.基于光敏玻璃衬底,采用高刻蚀速率的湿法腐蚀方法,获得了深宽比为7∶1的玻璃通孔,孔阵列均匀性良好,侧壁粗糙度小于1μm.对不同电流密度下的玻璃通孔填充工艺进行了仿真分析,结果显示在小电流密度下,开口处的电流密度拥挤效应改善明显,铜层生长速度更为均匀,但沉积速度较慢.基于仿真结果,进行了电流密度为1ASD下的通孔填充实验研究,结果显示填充效果良好,120μm的TGV中铜层生长均匀,70μm的TGV中的缝隙较小. 展开更多

关键词 转接板技术 光敏玻璃 玻璃通孔 电流密度 填充工艺

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彩色光敏玻璃的微观结构分析

5

作者 迟桂凤 陈金庆 《天津师大学报（自然科学版）》 1993年第1期44-47,共4页

本文用透射电子显微镜,采取复型与离子减薄制样方法,配合选区电子衍射花样,分析了彩色光敏玻璃中晶体形貌、结构及成份。证明在含有F、Br、Ag的Na_2O-ZnO—Al_2O_3-SiO_2系统的彩色光敏玻璃中存在立方体或球形晶体NaF和立方基型的锥状晶... 本文用透射电子显微镜,采取复型与离子减薄制样方法,配合选区电子衍射花样,分析了彩色光敏玻璃中晶体形貌、结构及成份。证明在含有F、Br、Ag的Na_2O-ZnO—Al_2O_3-SiO_2系统的彩色光敏玻璃中存在立方体或球形晶体NaF和立方基型的锥状晶体NaBr。彩色光敏玻璃的颜色是由于非球形的各向异性银颗粒选择光吸收造成的,这种银颗粒可在锥体的顶端形成,也可在球形NaF表面上不对称地排列成椭球状。随第一次UV-曝光时间的加长,玻璃中析出晶体尺寸由大变小,晶体密度由小变大。 展开更多

关键词 彩色 光敏玻璃 微观结构 TEM

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锂铝硅系光敏微晶玻璃的研究进展和应用 被引量：6

6

作者 张浩 朱永昌 +2 位作者 崔竹 韩勖 耿安东 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第A02期80-84,共5页

自Li_2O-Al_2O_3-SiO_2系光敏微晶玻璃诞生以来,人们便期望将其优秀的异向刻蚀能力应用于微型结构件的制造中。目前,对锂铝硅系光敏微晶玻璃材料的研究主要集中在成核机理、析晶过程和组分、性质间的关系等方面。光敏微晶玻璃的光敏性... 自Li_2O-Al_2O_3-SiO_2系光敏微晶玻璃诞生以来,人们便期望将其优秀的异向刻蚀能力应用于微型结构件的制造中。目前,对锂铝硅系光敏微晶玻璃材料的研究主要集中在成核机理、析晶过程和组分、性质间的关系等方面。光敏微晶玻璃的光敏性和结晶性能密不可分,光敏性决定了晶核的形成,而生成的偏硅酸锂晶体则决定了其异向刻蚀能力。因而对成核机理和析晶过程的研究至关重要,亦有利于了解玻璃的本质。而随着科学技术的发展进步,光敏微晶玻璃的某些性能已不能很好地满足应用要求,如介电损耗和化学稳定性,因此提高光敏微晶玻璃的性能变得必要。随着研究的日益深入,光敏微晶玻璃在实际应用中也暴露出一些问题,如刻蚀精度、壁角倾斜度、内壁光滑度、介电损耗高等,这些问题制约着该材料的发展,亟待解决。本文阐述了锂铝硅系光敏微晶玻璃的光敏化诱导析晶原理,详细介绍了Li_2O-Al_2O_3-SiO_2系光敏微晶玻璃的研究进展以及在三维集成电路、微流控芯片和微通道板等方面的应用,分析了现阶段存在的问题,并指出了今后光敏微晶玻璃的研究方向。 展开更多

关键词 光敏微晶玻璃 转接板 微流控芯片 介电性能 微结构

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钾钠物质的量比对LAS光敏微晶玻璃介电性能的影响

7

作者 张浩 朱永昌 +2 位作者 崔竹 韩勖 耿安东 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期20-23,共4页

作为新型玻璃转接板的基板材料,光敏微晶玻璃的介电性能成为限制其发展的关键因素之一。为此,本研究通过熔融法制备出含有不同钾钠物质的量比的光敏微晶玻璃样品,借助网络矢量分析仪、拉曼光谱、红外光谱以及X射线衍射仪等分析钾钠物质... 作为新型玻璃转接板的基板材料,光敏微晶玻璃的介电性能成为限制其发展的关键因素之一。为此,本研究通过熔融法制备出含有不同钾钠物质的量比的光敏微晶玻璃样品,借助网络矢量分析仪、拉曼光谱、红外光谱以及X射线衍射仪等分析钾钠物质的量比对样品介电常数和介电损耗的影响。结果表明,钾钠物质的量比为0的样品(不含有K2O)具有最低的介电常数和介电损耗,分别为5.0和4.9×10-3(1GHz),这一研究表明增加Na2O对K2O的取代量可以使玻璃结构更加致密,降低玻璃极化和光敏玻璃陶瓷的介电常数和损耗。 展开更多

关键词 介电性能 光敏微晶玻璃 玻璃通孔 碱金属氧化物

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铝含量对光敏微晶玻璃介电性能的影响

8

作者 张浩 朱永昌 +2 位作者 崔竹 韩勖 耿安东 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2019年第9期2871-2875,共5页

光敏微晶玻璃是一种新型TGVs(Through Glass Vias,玻璃通孔)转接板基板材料,介电性能的改善有助于光敏微晶玻璃在集成电路应用中的发展。实验通过熔融法制备出不同Al2O3含量的光敏微晶玻璃,并借助网络矢量分析仪、红外光谱、拉曼光谱等... 光敏微晶玻璃是一种新型TGVs(Through Glass Vias,玻璃通孔)转接板基板材料,介电性能的改善有助于光敏微晶玻璃在集成电路应用中的发展。实验通过熔融法制备出不同Al2O3含量的光敏微晶玻璃,并借助网络矢量分析仪、红外光谱、拉曼光谱等手段研究样品的介电常数、介电损耗以及玻璃网络结构。其中Al2O3含量为2wt%的样品具有最优的介电常数和介电损耗,分别为5.0和4.8×10^-3(1 GHz)。 展开更多

关键词 光敏微晶玻璃 介电常数 介电损耗 TGVs

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功能微晶玻璃的研究现状及发展趋势 被引量：15

9

作者 肖汉宁 赵运才 刘付胜聪 《材料导报》 EI CAS CSCD 2002年第8期39-41,共3页

功能微晶玻璃是由非晶态无机材料经受控晶化而获得的一类具有均匀致密微晶结构的新型功能材料。综述了具有良好的光学、电学、磁学和生物等功能的微晶玻璃的研究现状,探讨了功能微晶玻璃的发展趋势及值得关注的几个问题。

关键词 功能微晶玻璃 研究现状 发展趋势 生物微晶玻璃 应用 光敏微晶玻璃 透明微晶玻璃

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GC正畸玻璃离子粘接剂不同酸蚀时间对体外氟斑牙面与金属托槽粘接强度的影响 被引量：7

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作者 何丽 王军强 曹伟靖 《西安交通大学学报（医学版）》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期154-156,共3页

目的比较GC正畸玻璃离子光敏粘接剂对氟斑牙面不同酸蚀时间与金属托槽的体外粘接强度。方法选择60颗离体氟斑牙随机分为酸蚀1min(A组)和2min(B组)组(n=30),GC正畸玻璃离子光敏粘接剂粘接直丝弓金属托槽,每组粘接剂结固5min,于24h后各取... 目的比较GC正畸玻璃离子光敏粘接剂对氟斑牙面不同酸蚀时间与金属托槽的体外粘接强度。方法选择60颗离体氟斑牙随机分为酸蚀1min(A组)和2min(B组)组(n=30),GC正畸玻璃离子光敏粘接剂粘接直丝弓金属托槽,每组粘接剂结固5min,于24h后各取出15颗牙齿在万能材料试验机上测试去除托槽时的抗剪切强度,同时对每一牙面上的粘接剂残留指数(ARI)进行观察统计。结果 B组在5min和24h的抗剪切强度分别高于A组相应时间点的抗剪切强度,差异有统计学意义(P<0.05);每组5min和24h时间点的抗剪切强度数值相比,差异无统计学意义(P>0.05),且2组在2个时间点的抗前切强度值均>6MPa。B组在5min和24h的ARI值与A组相应时间点的ARI值差异均有统计学意义(P<0.05)。结论 GC正畸玻璃离子光敏粘接剂对氟斑牙酸蚀1min的粘接强度可得到临床正畸最低需求,如需较大正畸力时,可延长酸蚀时间至2min。 展开更多

关键词 氟斑牙 牙酸蚀 GC正畸玻璃离子光敏粘接剂 剪切强度 粘接剂残留指数(ARI)

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光学加工及设备

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《中国光学》 EI CAS 1995年第3期95-95,共1页

TH706 95032068微透镜列阵的光敏热成形新方法=A new methodof photosensitive thermal formation formocrolens array[刊,中]/罗风光,曹明翠,李洪谱,艾军,徐军,李再光(华中理工大学激光技术国家重点实验室.湖北。武汉(430074))∥光电工... TH706 95032068微透镜列阵的光敏热成形新方法=A new methodof photosensitive thermal formation formocrolens array[刊,中]/罗风光,曹明翠,李洪谱,艾军,徐军,李再光(华中理工大学激光技术国家重点实验室.湖北。武汉(430074))∥光电工程.—1994,21(4). 展开更多

关键词 微透镜列阵 激光技术 国家重点实验室 热成形 光敏玻璃 成形方法 新方法 华中理工大学 光电工程 光学加工

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