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光学非球面元件非球面度计算方法 被引量：21
1
作者 杜玉军 任海霞 刘中本 《应用光学》 CAS CSCD 2002年第5期42-45,共4页
详细介绍光学非球面元件非球面度计算的牛顿迭代法、近似法、最小二乘法 3种方法 ,并根据工程实践比较了 3种方法的优缺点 ,得出了工程应用中的结论 :近似法适用于一些相对孔径较小的非球面 ,否则误差会较大 ;牛顿迭代法的精度较高 ,但... 详细介绍光学非球面元件非球面度计算的牛顿迭代法、近似法、最小二乘法 3种方法 ,并根据工程实践比较了 3种方法的优缺点 ,得出了工程应用中的结论 :近似法适用于一些相对孔径较小的非球面 ,否则误差会较大 ;牛顿迭代法的精度较高 ,但计算量大也最复杂 ,且不能直接得到最接近参考圆的圆心位置坐标 ;最小二乘法的计算方法简单 ,不涉及求导、积分、迭代 ,适合编写计算程序 。 展开更多
关键词 光学非球面元件 计算方法 非球面度 最接近参考球面 牛顿迭代法 近似法 最小二乘法
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大数据驱动的非球面光学表面缺陷检测研究
2
作者 彭雪梅 黄建军 《激光杂志》 北大核心 2025年第4期252-256,共5页
光学技术的快速发展使非球面光学元件在成像、通信等领域的应用日益广泛,其表面缺陷检测成为确保产品质量的关键环节。为满足更高精度的检测需求,设计了大数据驱动的非球面光学表面缺陷检测方法。在大数据驱动下,设计非球面光学表面图... 光学技术的快速发展使非球面光学元件在成像、通信等领域的应用日益广泛,其表面缺陷检测成为确保产品质量的关键环节。为满足更高精度的检测需求,设计了大数据驱动的非球面光学表面缺陷检测方法。在大数据驱动下,设计非球面光学表面图像采集装置,由显微光学成像系统、分光棱镜、光纤照明、机械调整台、电动转台构成,实施非球面光学表面图像的大数据采集。在大数据驱动下,采用小波阈值去噪方法对采集的非球面光学表面缺陷图像实施去噪处理。选定YOLOv3作为基础架构,对三个方向实施针对性改进,通过改进后的YOLOv3模型实现非球面光学表面缺陷检测。测试结果表明,所设计的方法对于5种实验元件的表面缺陷平均尺寸测量偏差较低,尤其是对于抛光非球面棱镜的表面缺陷,其平均尺寸测量偏差最低。此外,该方法对于五种实验元件的表面伪缺陷响应系数较低,意味着它不容易受到伪缺陷的影响。 展开更多
关键词 大数据技术 非球面光学元件 表面缺陷检测 改进YOLOv3模型 CBAM混合注意力机制
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大口径非球面光学元件测量调心调平工作台系统研究 被引量：1
3
作者 席建普 刘同士 《机床与液压》 北大核心 2021年第10期71-75,80,共6页
为避免大口径高精度非球面光学元件在进行离线测量时存在位姿误差,提出一种精密调心调平工作台设计方案,解决了非球面镜在离线测量时因装卡不当造成的X、Y、Z方向偏差的问题。通过分析转台与非球面在空间6个自由度上存在的相对位姿误差... 为避免大口径高精度非球面光学元件在进行离线测量时存在位姿误差,提出一种精密调心调平工作台设计方案,解决了非球面镜在离线测量时因装卡不当造成的X、Y、Z方向偏差的问题。通过分析转台与非球面在空间6个自由度上存在的相对位姿误差,并以最小二乘法为基础数学理论、模型参数评估为导向,建立基于最小二乘法的优化模型。结果表明:该模型在校正上述误差源上具有极高的精度,验证了所提出的精密调心调平工作台可作为一个独立附件来改善大口径非球面光学元件的加工与测量环境,提高磨削加工精度。 展开更多
关键词 大口径非球面光学元件 调心调平工作台 位姿误差 数学模型 最小二乘法
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非球面光学元件的制造技术(英文) 被引量：4
4
作者 陈耀龙 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第S1期5-9,共5页
非球面光学元件广泛用于不同领域,但它们的成功应用主要取决于其质量和制造费用。近几年来,通过开发计算机数控光学加工机械和新的制造技术,已经取得了大的进展。本文涉及制作非球面所用的主要技术。总结将指明适合的用途和这些方法中... 非球面光学元件广泛用于不同领域,但它们的成功应用主要取决于其质量和制造费用。近几年来,通过开发计算机数控光学加工机械和新的制造技术,已经取得了大的进展。本文涉及制作非球面所用的主要技术。总结将指明适合的用途和这些方法中的每一项的技术成就。两个实际的例子表明非球面光学元件的挑战和光明未来。 展开更多
关键词 非球面加工 非球面光学元件 光学复制 计算机控制抛光
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大口径非球面元件可控气囊抛光系统 被引量：13
5
作者 潘日 杨炜 +3 位作者 王振忠 郭隐彪 王健 钟波 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1344-1348,共5页
根据大口径非球面光学元件的实际加工需要,设计并制造可控气囊抛光系统,并对机构进行运动学仿真,仿真结果表明,气囊自转轴的运动空间可以满足大口径非球面光学元件的连续进动加工要求。为了证明所设计系统的可加工性,以直径320mm的圆形... 根据大口径非球面光学元件的实际加工需要,设计并制造可控气囊抛光系统,并对机构进行运动学仿真,仿真结果表明,气囊自转轴的运动空间可以满足大口径非球面光学元件的连续进动加工要求。为了证明所设计系统的可加工性,以直径320mm的圆形平面光学元件进行加工实验。经过该气囊抛光工具24h的抛光后,工件达到较好的面型精度,光学元件的表面粗糙度由0.272λ减小到0.068λ(λ=632.8nm),PV值从1.671λ降低到0.905λ。对光学元件的实际加工实验结果表明:可控气囊抛光系统在加工过程中结构稳定性好,符合设计要求,可有效提高加工工件面型精度。 展开更多
关键词 大口径非球面光学元件 进动抛光 可控气囊抛光系统 设计及研制
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非球面光学表面缺陷检测技术现状和发展趋势(特邀) 被引量：12
6
作者 李明泽 侯溪 +5 位作者 赵文川 王洪 李梦凡 胡小川 赵远程 周杨 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第9期1-20,共20页
非球面光学元件具有更大的自由度和灵活性,广泛应用在航空航天、微电子装备、光学精密测量、激光光学等诸多领域。光学元件表面缺陷将影响光学系统性能,而表面缺陷控制需要相应检测手段,高分辨率、高精度、高效率光学表面缺陷检测仍存... 非球面光学元件具有更大的自由度和灵活性,广泛应用在航空航天、微电子装备、光学精密测量、激光光学等诸多领域。光学元件表面缺陷将影响光学系统性能,而表面缺陷控制需要相应检测手段,高分辨率、高精度、高效率光学表面缺陷检测仍存在技术挑战。文中综述了光学元件表面缺陷类别、评价标准及检测方法,重点探讨了非球面光学元件表面缺陷检测技术及其应用范围,分析比较了各种方法的优缺点,最后对表面缺陷检测技术发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 缺陷检测 表面缺陷 非球面光学元件 条纹反射法
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高精密光学元件磨床的加工与检测系统的开发 被引量：6
7
作者 柯晓龙 郭隐彪 +1 位作者 张世汉 黄浩 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期559-562,共4页
高精密平面磨床是加工光学非球面元件的一种重要途径.出于通用性和效率的考虑,开发一套面向光学非球面元件的高精密平面磨床的加工与检测系统,以此来实现光学非球面元件的精密加工.以自行开发研制的四轴数控高精密平面磨床为研究基础,... 高精密平面磨床是加工光学非球面元件的一种重要途径.出于通用性和效率的考虑,开发一套面向光学非球面元件的高精密平面磨床的加工与检测系统,以此来实现光学非球面元件的精密加工.以自行开发研制的四轴数控高精密平面磨床为研究基础,采用模块化设计,选用Delphi 7为开发语言,运用Delphi 7和Matlab混合编程技术,搭建了加工与测量系统,实现了光学非球面元件的磨削加工、面形测量、磨削补偿以及环境检测等.实验结果表明,该系统可以满足光学元件的精密加工及检测,并具有较高的工作效率. 展开更多
关键词 光学非球面元件 精密平面磨床 加工 检测 系统
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《非球面加工与检测技术》专题文章导读
8
作者 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期527-527,共1页
关键词 非球面加工 检测技术 非球面光学元件 光学系统 文章 专题 像差校正 工程应用 成像质量 空间相机
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能动抛光磨盘的有限元法分析 被引量：8
9
作者 曾志革 邓建明 姜文汉 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期29-34,共6页
能动磨盘在光学抛光时随磨盘移动位置和旋转角度不同而产生不同的变形以实时与大口径被抛光工件表面实现良好的吻合。模拟了能动磨盘的工作过程 ,探讨了用于光学抛光的可行性。以加工直径 1 .5 m,f1 /2的抛物面光学元件为例 ,用有限元... 能动磨盘在光学抛光时随磨盘移动位置和旋转角度不同而产生不同的变形以实时与大口径被抛光工件表面实现良好的吻合。模拟了能动磨盘的工作过程 ,探讨了用于光学抛光的可行性。以加工直径 1 .5 m,f1 /2的抛物面光学元件为例 ,用有限元法对能动磨盘能够产生的变形进行了仿真计算 。 展开更多
关键词 能动磨盘 有限元法 光学抛光 非球面光学元件 表面加工
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气囊抛光机床自动对刀精度分析
10
作者 黄雪鹏 王振忠 +1 位作者 林泽文 钟波 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2020年第4期560-565,共6页
因气囊头为半球形,其与工件相对空间位置关系无法直接用气囊头试切工件获得.因此,提出测头和对刀仪结合的自动对刀系统.通过对刀误差分析,找出该对刀方案的主要误差来源为B轴摆臂回转误差,进而提出使用测头来获取工件的摆放误差和中心... 因气囊头为半球形,其与工件相对空间位置关系无法直接用气囊头试切工件获得.因此,提出测头和对刀仪结合的自动对刀系统.通过对刀误差分析,找出该对刀方案的主要误差来源为B轴摆臂回转误差,进而提出使用测头来获取工件的摆放误差和中心点坐标,再利用对刀仪来确定测头和气囊头的相对高度关系的对刀顺序.相比于传统人工对刀,该方法在速度上有极大的提升,在X、Y方向的对刀重复精度均达到30μm,Z方向为5μm,分别提高了40%和50%,具有较好的工程应用价值. 展开更多
关键词 非球面光学元件 精密抛光 测头 回转误差
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