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大口径强激光光学元件超精密制造技术研究进展
被引量：
12
1
作者
樊非
徐曦
+13 位作者
许乔
王健
钟波
谢瑞清
雷向阳
陈贤华
汪圣飞
侯晶
邓文辉
安晨辉
周炼
赵世杰
廖德锋
朱玉洁
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期1-13,共13页
惯性约束聚变高功率固体激光装置研制对大口径光学元件提出了全频段精度控制指标要求,以及高效率、批量化制造需求。本文围绕“超精密、确定性”强激光光学元件全流程制造方法,总结了近几年大口径强激光光学元件超精密制造技术取得的重...
惯性约束聚变高功率固体激光装置研制对大口径光学元件提出了全频段精度控制指标要求,以及高效率、批量化制造需求。本文围绕“超精密、确定性”强激光光学元件全流程制造方法,总结了近几年大口径强激光光学元件超精密制造技术取得的重要进展,重点介绍了单点金刚石超精密切削技术、非球面超精密数控磨削技术、确定性抛光技术等一系列关键技术,以及相关工艺及装备在强激光光学元件批量制造流程线中的应用情况。
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关键词
高功率固体激光装置
大口径
光学
元件
光学超精密制造技术
确定性抛光
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职称材料
题名
大口径强激光光学元件超精密制造技术研究进展
被引量：
12
1
作者
樊非
徐曦
许乔
王健
钟波
谢瑞清
雷向阳
陈贤华
汪圣飞
侯晶
邓文辉
安晨辉
周炼
赵世杰
廖德锋
朱玉洁
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期1-13,共13页
基金
国家科技重大专项(2017ZX04022001-101)
文摘
惯性约束聚变高功率固体激光装置研制对大口径光学元件提出了全频段精度控制指标要求,以及高效率、批量化制造需求。本文围绕“超精密、确定性”强激光光学元件全流程制造方法,总结了近几年大口径强激光光学元件超精密制造技术取得的重要进展,重点介绍了单点金刚石超精密切削技术、非球面超精密数控磨削技术、确定性抛光技术等一系列关键技术,以及相关工艺及装备在强激光光学元件批量制造流程线中的应用情况。
关键词
高功率固体激光装置
大口径
光学
元件
光学超精密制造技术
确定性抛光
Keywords
high-power laser facility
large-aperture optics
optical ultra-precision manufacturing technology
deterministic polishing
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大口径强激光光学元件超精密制造技术研究进展
樊非
徐曦
许乔
王健
钟波
谢瑞清
雷向阳
陈贤华
汪圣飞
侯晶
邓文辉
安晨辉
周炼
赵世杰
廖德锋
朱玉洁
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020
12
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