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光学薄膜参数测量方法研究
被引量：
19
1
作者
李凯朋
王多书
+3 位作者
李晨
王济州
董茂进
张玲
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2015年第3期1048-1052,共5页
为了研究准确性和效率更高的膜层光学薄膜参数测量方法,对优化膜系结构和改进制备工艺都有重要的指导作用。论文在研究传统测量方法基础上,将包络线法与全光谱拟合反演法相结合,提出了一种新型的光学薄膜参数测量方法。该方法将采用包...
为了研究准确性和效率更高的膜层光学薄膜参数测量方法,对优化膜系结构和改进制备工艺都有重要的指导作用。论文在研究传统测量方法基础上,将包络线法与全光谱拟合反演法相结合,提出了一种新型的光学薄膜参数测量方法。该方法将采用包络线法计算的单层膜光学薄膜参数近似值作为参考,设置全光谱拟合反演法优化搜索的上下限,结合适当的评价函数构建计算物理模型,并选用综合优化算法求解获得待测膜系各膜层的光学薄膜参数。最后设计Ti O2、Si O2单层膜和膜系为:G|0.5HLHL0.5H|A(H-Ti O2,L-Si O2)的多层膜进行测量验证,并分析了该测量方法的效率、准确度、稳定性等。
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关键词
光学薄膜
光学薄膜参数
包络线法
全光谱拟合反演法
包络线-全光谱拟合反演法
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职称材料
题名
光学薄膜参数测量方法研究
被引量：
19
1
作者
李凯朋
王多书
李晨
王济州
董茂进
张玲
机构
兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2015年第3期1048-1052,共5页
文摘
为了研究准确性和效率更高的膜层光学薄膜参数测量方法,对优化膜系结构和改进制备工艺都有重要的指导作用。论文在研究传统测量方法基础上,将包络线法与全光谱拟合反演法相结合,提出了一种新型的光学薄膜参数测量方法。该方法将采用包络线法计算的单层膜光学薄膜参数近似值作为参考,设置全光谱拟合反演法优化搜索的上下限,结合适当的评价函数构建计算物理模型,并选用综合优化算法求解获得待测膜系各膜层的光学薄膜参数。最后设计Ti O2、Si O2单层膜和膜系为:G|0.5HLHL0.5H|A(H-Ti O2,L-Si O2)的多层膜进行测量验证,并分析了该测量方法的效率、准确度、稳定性等。
关键词
光学薄膜
光学薄膜参数
包络线法
全光谱拟合反演法
包络线-全光谱拟合反演法
Keywords
optical film
optical thin film parameters
envelope method
full spectral fitting inversion method
envelope-full spectral fitting inversion method
分类号
O484 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
光学薄膜参数测量方法研究
李凯朋
王多书
李晨
王济州
董茂进
张玲
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2015
19
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