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题名一种纳米精度偏振干涉仪光学系统的研究
被引量：7
- 1
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作者
郭新军
王霁
严家骅
周自力
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机构
北京理工大学光电工程系
长城计量测试研究所
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2004年第1期21-24,共4页
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文摘
本干涉仪采用偏振测量和偏振接收装置。对干涉仪光路中激光的偏振态转换进行了详细的理论分析,对偏振干涉仪以及双频干涉仪的研制具有借鉴意义。该装置的重复性试验表明干涉仪重复性在30nm之内,说明干涉仪的性能比较可靠。如果对环境条件进行严格的控制,会得到更高的测量精度,有望实现纳米精度测量。
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关键词
纳米测量
偏振干涉仪
光学系统
光学细分
偏振态转换
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Keywords
Environmental impact
Interferometers
Light polarization
Polarization
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名激光干涉仪的细分技术
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作者
邓上
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机构
成都工具研究所规划发展部
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出处
《工具技术》
北大核心
2005年第7期94-95,共2页
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关键词
激光干涉仪
细分技术
干涉仪系统
迈克尔逊
脉冲当量
精密测量
细分方法
电子细分
光学细分
反射器
分辨率
接收
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分类号
TN957.51
[电子电信—信号与信息处理]
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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题名光栅式大量程高分辨率位移测量研究
被引量：3
- 3
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作者
吕海宝
曹聚亮
颜树华
徐涛
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机构
国防科学技术大学机电工程与自动化学院
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出处
《中国机械工程》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第8期878-880,共3页
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基金
国防科技重点实验室基金资助项目!( 99js53.8.1KG0 117)
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文摘
提出一种光栅式位移测量新方法 ,利用单个普通低线数计量光栅 ,实现高分辨率、大量程的位移测量。给出测量光路图 ,分析测量原理 ,最后介绍初步原理实验及结果。
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关键词
量程
分辨率
位移测量
光栅
光学细分
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Keywords
range resolution displacement measurement grating optical subdivision
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分类号
TH822
[机械工程—精密仪器及机械]
TH741.6
[机械工程—光学工程]
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题名纵向莫尔条纹在自准直仪中的应用
被引量：1
- 4
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作者
吴文明
高立民
吴易明
吴璀罡
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机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
中国科学院研究生院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期2544-2547,共4页
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文摘
为了提高自准直仪的分辨力,将纵向莫尔条纹引入到光路中,用长光栅代替传统单狭缝,将长光栅成像在CCD检测器上,CCD作为标尺光栅,通过两个光栅叠加形成的莫尔条纹的变化可以将成像位移分辨率提高到亚像元,进而将自准直仪的角度分辨率提高到毫秒级.实验结果表明,相对于直接检测狭缝边缘的方法,莫尔条纹法的分辨力提高了25倍.
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关键词
光学细分
莫尔条纹
自准直仪
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Keywords
Optical subdivision
Moire fringe
Autocollimator
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分类号
TP274
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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