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激光旋转切割石英管设备研制及其工艺研究
被引量：
3
1
作者
金越越
梁进智
+3 位作者
罗光华
封芸
马利
王雪梅
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第4期503-507,共5页
为了实现将密封石英管内器件取出的目的,设计研制了一套激光旋转切割设备。由于石英管内密封晶圆类易碎器件,为了不产生振动将石英管内器件取出,利用激光非接触切割原理,以石英管为中心设计光学旋转切割系统,实现360°旋转切割石英...
为了实现将密封石英管内器件取出的目的,设计研制了一套激光旋转切割设备。由于石英管内密封晶圆类易碎器件,为了不产生振动将石英管内器件取出,利用激光非接触切割原理,以石英管为中心设计光学旋转切割系统,实现360°旋转切割石英管,并分析试验数据,通过优化的试验数据,最终实现高效、无损伤的石英管切割技术。
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关键词
激光
切割
石英管
光学旋转切割系统
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职称材料
题名
激光旋转切割石英管设备研制及其工艺研究
被引量：
3
1
作者
金越越
梁进智
罗光华
封芸
马利
王雪梅
机构
北京华北莱茵光电技术有限公司
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第4期503-507,共5页
文摘
为了实现将密封石英管内器件取出的目的,设计研制了一套激光旋转切割设备。由于石英管内密封晶圆类易碎器件,为了不产生振动将石英管内器件取出,利用激光非接触切割原理,以石英管为中心设计光学旋转切割系统,实现360°旋转切割石英管,并分析试验数据,通过优化的试验数据,最终实现高效、无损伤的石英管切割技术。
关键词
激光
切割
石英管
光学旋转切割系统
Keywords
laser cutting
quartz tube
optical rotary cutting system
分类号
TG485 [金属学及工艺—焊接]
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光旋转切割石英管设备研制及其工艺研究
金越越
梁进智
罗光华
封芸
马利
王雪梅
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2022
3
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