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光学接触式微型三维测量系统 被引量:5
1
作者 吉贵军 H Schwenke +1 位作者 E Trapet 罗震 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期95-97,共3页
本文介绍了一种集光学方法的高准确度和快速性及机械接触方法的可靠性和不受材料特性影响的单一性优点于一体的光学接触式微型三维测量系统 ,用于测量微型工件的三维几何参数。该系统测头直径为 40~ 10 0 μm,测量准确度优于 1μm,测... 本文介绍了一种集光学方法的高准确度和快速性及机械接触方法的可靠性和不受材料特性影响的单一性优点于一体的光学接触式微型三维测量系统 ,用于测量微型工件的三维几何参数。该系统测头直径为 40~ 10 0 μm,测量准确度优于 1μm,测量力小于 10 μN。 展开更多
关键词 三维微型测头 光学接触 微型工件
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一种非接触式光学微腔液压测量系统 被引量:1
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作者 魏鹤鸣 侯林嵩 +2 位作者 丁武成 殷瑞雪 任冬妮 《电子测量技术》 北大核心 2024年第7期42-48,共7页
为满足在狭小腔室中测量液体压强的需求,设计了一种非接触式光学法布里珀罗微腔液压测量系统,其中,光学微腔采用双光子三维打印技术制备,膜结构尺寸仅为350μm,设计的膜厚分别为4μm和6μm。系统主要采用嵌入式设计与衍射光栅光谱模块互... 为满足在狭小腔室中测量液体压强的需求,设计了一种非接触式光学法布里珀罗微腔液压测量系统,其中,光学微腔采用双光子三维打印技术制备,膜结构尺寸仅为350μm,设计的膜厚分别为4μm和6μm。系统主要采用嵌入式设计与衍射光栅光谱模块互联,实时采集光学微腔干涉光谱信号,实现了高精度光谱动态解调。实验结果表明,室温(25℃)下,4μm膜厚的微腔液压灵敏度高达398 pm/kPa,系统分辨率可达35.5 Pa,重复性较好,有望用于生物医学眼压等应用场景。 展开更多
关键词 微腔压力传感 双光子三维打印技术 接触光学传感 液体压强测量系统
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基于光学非接触测量的车身覆盖件曲面品质综合评价 被引量:3
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作者 李忠学 彭启立 +2 位作者 胡彩旗 陈杰 林忠钦 《汽车技术》 北大核心 2004年第3期33-35,39,共4页
车身覆盖件曲面品质的纯几何评价准则是曲面品质分析和优化的依据。针对曲面的误差控制、曲面的几何连续性、光顺性、美观性等定量和定性指标,分析了非接触激光扫描测量在实物曲面重构中的测量精度和测量效率。通过非接触测量方法获取... 车身覆盖件曲面品质的纯几何评价准则是曲面品质分析和优化的依据。针对曲面的误差控制、曲面的几何连续性、光顺性、美观性等定量和定性指标,分析了非接触激光扫描测量在实物曲面重构中的测量精度和测量效率。通过非接触测量方法获取了车身覆盖件曲面形状,应用模糊理论建立了一种车身覆盖件曲面品质分析的综合评价方法。该方法可以较好地评定车身覆盖件曲面的审美学特征,为车身设计提供有效的评价尺度。 展开更多
关键词 汽车检验 光学接触测量 车身覆盖件曲面 品质评价 误差控制 测量精度 测量效率
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飞机发动机叶片变形的非接触光学测量方法 被引量:5
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作者 李云霞 蒙文 +1 位作者 赵尚弘 李应红 《空军工程大学学报(自然科学版)》 CSCD 2002年第6期16-17,41,共3页
针对飞机叶片表面变形量测量要求提出一种非接触式光学测量方法。对测量原理及测量方案进行了阐述,分析了误差来源,并估算了系统测量精度。该测量方法具有简便易行、操作方便、测量精度高等优点。
关键词 飞机发动机 叶片变形 接触光学测量方法 线阵CCD 交汇测量 激光照射 压气机 变形测量
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基于非接触式光学测量的滑坡模型位移测试 被引量:2
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作者 陈海玉 徐福卫 陶莉 《三峡大学学报(自然科学版)》 CAS 2005年第6期487-489,513,共4页
提出一种基于非接触式光学测量技术的滑坡物理模型试验位移测试方法,结合模型试验平台具体环境进行改进,并应用该方法记录下某滑坡模型在不同水位运营状态下的位移发展情况.
关键词 滑坡系统 接触光学测量技术 物理模型试验
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一种简单实用的光学非接触外径测量方法
6
作者 潘石 周平 +1 位作者 王勇 俞建元 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期636-639,共4页
提出一种简单实用的光学非接触外径测量方法;主要仪器设备只需一台He-Ne激光器、一台测长仪(如阿贝比长仪)及一块数字万用表.该方法具有装置简单、操作方便、测量速度快、重复性好、定位精度高等特点.对Φ10~Φ200mm... 提出一种简单实用的光学非接触外径测量方法;主要仪器设备只需一台He-Ne激光器、一台测长仪(如阿贝比长仪)及一块数字万用表.该方法具有装置简单、操作方便、测量速度快、重复性好、定位精度高等特点.对Φ10~Φ200mm的一系列标准塞规及轴承外环的测量结果表明其定位精度优于2μm. 展开更多
关键词 直径 定位 激光 光学接触测量 接触测量
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烟草行业水松纸打孔参数的非接触光学测量方法研究 被引量:2
7
作者 黄盈 《安徽农业科学》 CAS 2013年第5期2257-2258,共2页
[目的]快速准确地测量水松纸打孔参数。[方法]设计了一种基于图像采集数字处理的测量方法。针对水松纸打孔边缘形状不规则的特性,开发出一种针对性滤波、边缘提取的图像处理方法。[结果]试验设计的测量水松纸打孔参数的方法提高了不规... [目的]快速准确地测量水松纸打孔参数。[方法]设计了一种基于图像采集数字处理的测量方法。针对水松纸打孔边缘形状不规则的特性,开发出一种针对性滤波、边缘提取的图像处理方法。[结果]试验设计的测量水松纸打孔参数的方法提高了不规则形状水松纸的检测精度,对水松纸打孔参数的检测精度达0.01 mm。[结论]此方法克服了目前测量方法误差大、操作繁琐、人为因素影响大等缺陷,提高了检测结果的准确性和检测效率。 展开更多
关键词 接触光学测量 水松纸 打孔参数
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表面形貌的全息式非接触光学测量方法
8
作者 王晓飞 罗鸿逵 郭鸿禧 《北方交通大学学报》 CSCD 北大核心 1998年第4期79-82,共4页
讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法.此方法采用全息光学元件HOE替代普通光学元件,作为离焦检测元件,提高了测量精度和范围.
关键词 表面形貌 全息光学元件 接触光学测量
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基于蓝光DVD光学读取头的纳米触发测头
9
作者 陈建国 陈欣磊 +3 位作者 许健 程荣俊 张连生 黄强先 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第11期69-72,共4页
基于光学读取头改装的非接触式微纳米测头已广泛应用于阶高、线宽和微小角度的测量。为了追求更高的精度与分辨力而提高聚焦透镜数值孔径(NA)则会使读取头内四象限传感器输出聚焦误差信号曲线的线性区间急剧减小,从而使测头系统的纵向... 基于光学读取头改装的非接触式微纳米测头已广泛应用于阶高、线宽和微小角度的测量。为了追求更高的精度与分辨力而提高聚焦透镜数值孔径(NA)则会使读取头内四象限传感器输出聚焦误差信号曲线的线性区间急剧减小,从而使测头系统的纵向可测量范围降低。为了在进一步提高纵向分辨力的情况下,扩大其纵向测量行程,基于蓝光DVD读取头研发了一种触发式非接触测头。既利用高NA值透镜测头的高精度和高分辨力,又通过触发测量的方式解除了高NA值带来低测量范围的限制,提高了测头的适用性。实验结果表明:该测头的纵向分辨力优于1 nm,重复性误差为18 nm,纵向测量范围可达10μm。 展开更多
关键词 光学接触测头 蓝光DVD读取头 触发器 聚焦误差信号
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非光学量测试与设备
10
《中国光学》 EI CAS 2000年第3期90-94,共5页
TB92 2000032101三维曲面的光学非接触测量技术=Optical noncontactmeasurement technology for 3-D surface[刊,中]/杜颖,李真,张国雄(天津大学精密仪器与光电子工程学院.天津(300072))//光学精密工程.- 1999,7(3).—1-6对三维曲面的... TB92 2000032101三维曲面的光学非接触测量技术=Optical noncontactmeasurement technology for 3-D surface[刊,中]/杜颖,李真,张国雄(天津大学精密仪器与光电子工程学院.天津(300072))//光学精密工程.- 1999,7(3).—1-6对三维曲面的光学非接触测量中的各种方法进行了较为全面的介绍,并重点说明了目前几种常用测量方法的发展状况和在其原理基础上研制的新型传感器。 展开更多
关键词 精密工程 三维曲面 测量方法 光学接触测量 测量精度 精密仪器 仪器仪表 数字光学轮廓仪 误差分析 测试
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测量强反射表面的测头研究 被引量:5
11
作者 赵小松 张国雄 张宏伟 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期274-277,共4页
针对金属表面强反射光影响光学非接触测量问题,基于视觉测量技术,利用金属表面反射光偏振特性以及三角法测头工作原理,设计了能测量金属强反射表面的测头,并分析了其结构参数.在已有的标定技术基础上,利用三坐标测量机,进一步研究了标... 针对金属表面强反射光影响光学非接触测量问题,基于视觉测量技术,利用金属表面反射光偏振特性以及三角法测头工作原理,设计了能测量金属强反射表面的测头,并分析了其结构参数.在已有的标定技术基础上,利用三坐标测量机,进一步研究了标定技术,在此基础上进行了实验研究,结果表明本系统具有很高的实用价值. 展开更多
关键词 强反射表面 结构设计 摄像机标定 三坐标测量机 测头 光学接触测量
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硅基防热材料表面流动特性研究 被引量:3
12
作者 高贺 张智 +2 位作者 陈连忠 王显 冯雪 《空气动力学学报》 CSCD 北大核心 2019年第3期406-411,共6页
硅基复合防热材料在气动热试验时,表面有大量的熔融物质在气流作用下形成流动的液态层,其表面流动特性直接影响防热材料表面温度、质量损失和线烧蚀量,也间接决定了防热材料的烧蚀性能和隔热性能。本文通过烧蚀机理分析和光学非接触式... 硅基复合防热材料在气动热试验时,表面有大量的熔融物质在气流作用下形成流动的液态层,其表面流动特性直接影响防热材料表面温度、质量损失和线烧蚀量,也间接决定了防热材料的烧蚀性能和隔热性能。本文通过烧蚀机理分析和光学非接触式测量的方法,研究某类硅基材料的流动特性。烧蚀机理分析将熔融物质视为液态边界层,研究其与固体防热材料表面之间的运动特性,同时考虑质量引射效应和液态层蒸发现象,得出液态层流动速度与气流剪切力、液态层厚度和液态层动力黏度的相关公式。光学非接触式测量方法以3D摄影测量为基础,结合PIV增量相关匹配算法和光流法,研究熔融液滴在固体防热材料表面整体的和单一的运动特性。在某一特定的流场状态下,对于表面液态层流动速度,烧蚀机理计算结果为26mm/s,而光学非接触测量结果为10mm/s。两种方法的误差来源主要是理论假设、材料参数和测量区域等方面的不同。研究结果表明,液滴之间具有很强的相互作用且流动速度差距较大,烧蚀机理分析可以做为工程计算方法预估试验结果,而光学非接触测量可以做为烧蚀机理分析的验证手段,并给出防热材料在试验过程中的烧蚀特性。 展开更多
关键词 硅基防热材料 表面流动 烧蚀机理分析 光学接触测量 液滴速度 烧蚀试验
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IOL-Master对高度近视眼人工晶状体度数测量的临床研究 被引量:10
13
作者 宁远 赵江月 张劲松 《眼科新进展》 CAS 2008年第5期373-375,共3页
目的通过比较非接触式光学相干生物测量仪(intraocular len-master,IOL-Master)与传统超声生物测量法联合角膜曲率计测量法对高度近视眼人工晶状体度数测量的准确性及特点,评价IOL-Master的临床应用价值。方法高度近视且患有老年性白内... 目的通过比较非接触式光学相干生物测量仪(intraocular len-master,IOL-Master)与传统超声生物测量法联合角膜曲率计测量法对高度近视眼人工晶状体度数测量的准确性及特点,评价IOL-Master的临床应用价值。方法高度近视且患有老年性白内障的患者19例30眼,术前分别用IOL-Master、超声波生物测量仪联合角膜曲率计测量眼轴长度和角膜曲率,使用SRK/T公式计算人工晶状体度数。对患者施行白内障超声乳化摘出术,按照超声波检查法得出的人工晶状体度数植入可折叠人工晶状体。术后1个月随诊检查视力及眼屈光度。结果超声波检查法和IOL-Master检查得出的眼轴分别是(28.789±1.853)mm和(29·057±1·828)mm,2者相比差异有统计学意义(P=0.001<0·05);角膜曲率计和IOL-Master测量角膜曲率分别为43·336±1·439和43.548±1.445,2者相比差异有统计学意义(P=0·02<0.05)。术后1个月患者平均绝对屈光误差值(meanabsolute refractive error,MAFE):IOL-Master为0~1.25D,平均(0.517±0.273)D,A超联合角膜曲率计为0~1.75D,平均(0.792±0.386)D,2者相比差异有统计学意义(P=0.001<0.05)。IOL-Master和A超联合角膜曲率计的MAFE为0~0·50D者分别占70.0%和43·3%,χ2检验差异有统计学意义(χ2=4.019,P<0·05)。IOL-Master和A超联合角膜曲率计的MAFE为0~1.00D者分别占86.7%和73.3%,χ2检验差异无统计学意义(χ2=1·531,P>0.05)。结论IOL-Mas-ter是一种高精确性、非接触性、操作简单、安全可靠的人工晶状体度数测量工具。与A超相比,IOL-Master对眼轴长度测量精确性较高,尤其是对高度近视眼患者。 展开更多
关键词 接触光学相干生物测量仪 人工晶状体度数 测量 高度近视眼 A型超声
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多种数据采集方式在汽车排气歧管逆向设计中的应用 被引量:7
14
作者 程芳 谭伟 《机床与液压》 北大核心 2007年第9期68-69,73,共3页
逆向设计中根据原型对象结构特征,选择合理的数据采集方式至关重要。本文以汽车排气歧管为研究对象,将非接触式光学扫描与接触式三坐标测量进行有机结合,准确实现了实物表面数字化,并给出了具体的实现方式。
关键词 逆向设计 接触光学扫描 接触式三坐标测量 排气歧管
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基于时间差法的共焦测头算法改进 被引量:1
15
作者 裘祖荣 江晓芸 李杏华 《电子测量技术》 2008年第8期11-12,23,共3页
近年来,三坐标测量机正在迅速发展。测头作为三坐标测量机的基本部件之一,与测量机的功能、工作效率、精度密切相关。光学非接触测头具有测量精度高,没有测量力,没有摩擦,测量速度与采样频率高等特点,是目前研究比较活跃的领域。本文中... 近年来,三坐标测量机正在迅速发展。测头作为三坐标测量机的基本部件之一,与测量机的功能、工作效率、精度密切相关。光学非接触测头具有测量精度高,没有测量力,没有摩擦,测量速度与采样频率高等特点,是目前研究比较活跃的领域。本文中所讲到的共焦测头就是光学非接触测头的一种。本文在研究了共焦法测量传感器及其测量系统的基础上,提出了一种通过测量连续两个峰值信号的时间差来计算被测表面位置的方法。这种测头舍弃了参考信号,简化了系统结构,降低了成本,实用性更强。 展开更多
关键词 接触光学测头 时间差法 共焦测头
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用莫尔测偏法在线快速检测非球表面形貌 被引量:3
16
作者 施宇清 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 2002年第1期15-19,共5页
介绍了非球表面三维形貌检测技术的新方法———相移莫尔测偏法的测量原理、图像评价方法和测量装置。详细说明了测量装置的光路和相移器的设计原理及方法 ,对测量误差的来源进行了分析。为了检验该技术测量非球表面的精度、速度和稳定... 介绍了非球表面三维形貌检测技术的新方法———相移莫尔测偏法的测量原理、图像评价方法和测量装置。详细说明了测量装置的光路和相移器的设计原理及方法 ,对测量误差的来源进行了分析。为了检验该技术测量非球表面的精度、速度和稳定性 ,用干涉法对同一非球表面进行了光学测量比较。实验结果表明 ,该技术是一种测量精度高、抗干扰能力强、稳定性高且速度快的在线检测方法。 展开更多
关键词 非球面 莫尔测偏法 相移技术 抗干扰性 在线检测 三维检测 接触光学检测
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振动台模型试验中的相对位移测量 被引量:3
17
作者 李昆 陈丽洁 王辉 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第11期67-69,共3页
针对大型振动台模型试验中存在的位移测量问题,采用光学非接触测量的方法设计了一种相对位移传感器,其准确度为10μm,频率响应为0~100Hz。并在某管道跨越工程地震模拟振动台试验中与其它传感器相比对,实验验证结果表明:该传感器的主要... 针对大型振动台模型试验中存在的位移测量问题,采用光学非接触测量的方法设计了一种相对位移传感器,其准确度为10μm,频率响应为0~100Hz。并在某管道跨越工程地震模拟振动台试验中与其它传感器相比对,实验验证结果表明:该传感器的主要技术指标完全满足设计要求。 展开更多
关键词 振动台模型试验 振动台试验 相对位移 地震模拟 设计要求 光学接触测量 传感器 位移测量 指标
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Direct microwelding of dissimilar glass and Kovar alloy without optical contact using femtosecond laser pulses 被引量:3
18
作者 JI Chang-hao HUANG Yu-jia +3 位作者 CHEN Xu JIANG Ji-yan GUO Zhi-jun LONG Yu 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第10期3422-3435,共14页
In the current microwelding process using femtosecond(fs) laser between dissimilar materials,surface polishing and pressure assistance,so-called optical contact,are believed necessary.In this paper,direct welding of s... In the current microwelding process using femtosecond(fs) laser between dissimilar materials,surface polishing and pressure assistance,so-called optical contact,are believed necessary.In this paper,direct welding of soda lime glass and Kovar alloy using a fs laser is investigated to overcome the limit of optical contact.The processing of fs laser welding is comprehensively studied by varying the laser power,welding velocity and the number of welding.The shear joining strength is as high as 2 MPa.The cross-section of glass-Kovar alloy joints,the elemental diffusion and the fracture behavior of welded joints were studied.The results show that the fs laser irradiates the surface of Kovar alloy,micron/nanometer-sized metal particles are generated.These particles perform the role as an adhesive part in the welding process.It is believed that the Si atoms diffuses to Kovar alloy from the glass and partially replaces the Fe^(2+) ions on the surface of Kovar alloy,indicating that the mixing and interdiffusion of materials have occurred during the welding process.Finally,the welded sample was tested and has excellent water resistance and sealing property.Furthermore,to justify that this method can be applied to other stack ups,the glass-copper,the glass-Al6063 and sapphire-ceramic are also welded together.This work greatly simplifies the fs laser microwelding process and promotes its industrial applications,such as optoelectronic devices,medical devices and MEMS. 展开更多
关键词 femtosecond laser microwelding GLASS Kovar alloy optical contact
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基于差动共焦的倾角测量传感器
19
作者 王廷煜 王之一 +4 位作者 杨永强 糜小涛 王建立 姚凯男 程雪 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2023年第11期1481-1489,共9页
为了解决传统激光差动共焦显微镜(LDCM)无法在测距的同时,进行高精度倾斜角度测量的问题,提出了一种基于差动共焦的倾角测量传感器。在对倾斜表面进行测量时,该传感器首先利用轴向扫描获取的差动响应信号精准定位其焦点位置,然后分析显... 为了解决传统激光差动共焦显微镜(LDCM)无法在测距的同时,进行高精度倾斜角度测量的问题,提出了一种基于差动共焦的倾角测量传感器。在对倾斜表面进行测量时,该传感器首先利用轴向扫描获取的差动响应信号精准定位其焦点位置,然后分析显微镜光瞳面场强分布并提取光斑图像的峰值位置,从而实现对倾角的精准测量。首先,建立聚焦光束经倾斜待测面反射后的光场分布模型,对不同倾斜角度下显微镜光瞳面的场强分布情况进行分析。然后,在分析倾斜光斑特征的基础上,提出了采用改进Meanshift算法进行光斑峰值位置提取的方法。最后,通过实验验证了传感器对倾角测量的有效性。实验结果表明,传感器对倾斜程度(0~8°)测量平均误差为0.011°,对倾斜方向(0~360°)的测量平均误差为0.128°,能够满足利用差动共焦非接触光学探针对三维表面进行检测的过程中,对待测表面倾斜角度测量的要求。该传感器为自由曲面的高精度轮廓测量提供了一种新的方法。 展开更多
关键词 接触光学探针 差动共焦 三维检测 倾斜测量 峰值提取
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