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利用共焦成像原理实现微米级的三维轮廓测量
被引量：
8
1
作者
孔兵
王昭
谭玉山
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第11期1151-1154,共4页
以普通光学成像透镜取代显微物镜 ,以针孔阵列 (5 0 0× 5 0 0 )取代单针孔 ,实现了全场并行共焦测量 .在数据处理上 ,采用了内插值三维重构算法 ,以及二次曲面拟合的系统误差校正算法 ,可以在较大的采样间距下获取较高的测量精度 ...
以普通光学成像透镜取代显微物镜 ,以针孔阵列 (5 0 0× 5 0 0 )取代单针孔 ,实现了全场并行共焦测量 .在数据处理上 ,采用了内插值三维重构算法 ,以及二次曲面拟合的系统误差校正算法 ,可以在较大的采样间距下获取较高的测量精度 .实验表明 ,系统的最大横向测量范围为 5mm× 5mm ,横向测量精度约为 13μm ,纵向测量精度约为 5 μm ,因此可大大提高测量视场及测量速度 .
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关键词
光学
测量
内插值
二次曲面拟合
共焦
成像
三维轮廓测量
微米级
光学成像透镜
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职称材料
题名
利用共焦成像原理实现微米级的三维轮廓测量
被引量：
8
1
作者
孔兵
王昭
谭玉山
机构
西安交通大学机械工程学院
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第11期1151-1154,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 (6 0 0 770 31)
教育部"教育振兴行动计划"资助项目 ([2 0 0 0 ]0 0 0 0 0 6 3)
文摘
以普通光学成像透镜取代显微物镜 ,以针孔阵列 (5 0 0× 5 0 0 )取代单针孔 ,实现了全场并行共焦测量 .在数据处理上 ,采用了内插值三维重构算法 ,以及二次曲面拟合的系统误差校正算法 ,可以在较大的采样间距下获取较高的测量精度 .实验表明 ,系统的最大横向测量范围为 5mm× 5mm ,横向测量精度约为 13μm ,纵向测量精度约为 5 μm ,因此可大大提高测量视场及测量速度 .
关键词
光学
测量
内插值
二次曲面拟合
共焦
成像
三维轮廓测量
微米级
光学成像透镜
Keywords
confocal
optical measurement
interpolation
conicoid fitting
分类号
TB96 [机械工程—光学工程]
O432.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
利用共焦成像原理实现微米级的三维轮廓测量
孔兵
王昭
谭玉山
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
8
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