检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

平行缝焊微电子器件的光学检漏被引量：1: 1; 作者张泽丰徐达 +2 位作者谭亮魏少伟马紫成《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期285-291,共7页; 光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测... 展开更多; 关键词微电子器件光学检漏平行缝焊密封氦质谱检漏; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械惯性器件被引量：3: 2; 作者吕志清吴旭峰《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第6期375-380,共6页; 微电子加工技术和振动惯性技术相结合使惯性仪表技术发生了重大变革，惯性器件的概念已从宏观领域发展到微观世界，人们已能象生产集成电路那样来生产惯性器件，这类惯性器件被称为微机械惯性器件。文章叙述了微机械惯性器件的发展状况... 展开更多; 关键词惯性器件微电子机械加工惯性测量组合陀螺; 在线阅读下载PDF 职称材料

二元光学——九十年代的光学技术: 3; 作者陈岩松《量子电子学报》 CAS CSCD 1992年第1期43-44,共2页; 以光的衍射原理为基础的二元光学,近年来受到人们的极大重视,被喻称为九十年代的光学技术。因为二元光学器件虽然还不能完全取代传统的折射光学器件,但它有更广泛的应用范围和更好的工作效果,且具有造价低廉与重量轻便的优点。所以,二... 展开更多; 关键词二元光学器件光学技术九十年代微电子工艺技术设备基础折射光学光的衍射理为基础应用范围工作效果; 在线阅读下载PDF 职称材料

集成光学: 4; 作者林崇杰《四川激光》 1983年第4期236-243,共8页; 一、概述 70年代初，低损耗光纤的出现开拓了光通讯实用化的前景，对于可靠的通讯系统，紧凑的光学器件以及对它们的集成是非常需要的。显然，集成光学的目的就是要使光学器件系统小型化、集成化。至于集成到什么样的规模，人们的想像... 展开更多; 关键词集成光学通讯系统光学器件微电子学实用化光通讯低损耗小型化集成化光纤; 在线阅读下载PDF 职称材料

高能电子束纳米曝光系统的研制: 5; 作者田丰韩立顾文琪《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期641-642,共2页; 关键词高能电子束纳米曝光系统微电子产业半导体器件光学光刻技术电子束曝光技术高分辨; 在线阅读下载PDF 职称材料

8～12μm红外图像生成装置被引量：1: 6; 作者王宏杰钱丽勋 +2 位作者李卓王欣林栩凌《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期466-470,共5页; 介绍了一种将可见光图像转换为红外图像的装置.装置的核心器件是利用MEMS工艺制作的可见光/红外图像转换芯片.红外图像生成装置包括可见光图像生成系统、可见光/红外图像转换系统以及红外图像投影光学系统三部分.红外图像生成装置产生... 展开更多; 关键词红外图像生成技术半实物仿真光学微电子机械加工器件; 在线阅读下载PDF 职称材料

PZT铁电薄、厚膜及其制备技术研究进展被引量：9: 7; 作者夏冬林刘梅冬 +1 位作者徐慢赵修建《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第10期64-67,共4页; 铁电薄、厚膜材料具有良好的铁电、压电、热释电、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有许多重要的应用。近年来,随着铁电薄、厚膜制备技术的发展,PZT厚膜材料及厚膜器件成为科学工作者研究的... 展开更多; 关键词厚膜材料铁电 PZT 集成光学微电子学热释电光电子学器件压电; 在线阅读下载PDF 职称材料

Cu-Ni多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究被引量：2: 8; 作者谭军谢天生张广平《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期278-278,共1页; 关键词纳米压痕技术金属多层膜变形结构微电子机械系统载荷-位移曲线微观测试技术力学参量光学器件; 在线阅读下载PDF 职称材料

“微纳光子学”专题导读: 9; 作者李志远宋清海《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期1-2,共2页; 随着电子器件小型化需求的不断提升,微电子技术的发展受到限制。相对而言,微纳尺度上光学现象及微纳光电子器件的研究起步较晚,但随着光子学与微纳加工技术的发展,微纳光子学逐渐兴起且受到越来越多的关注。微纳光子学主要研究在微纳尺... 展开更多; 关键词光子学光电子器件微纳加工技术光学微腔微纳光纤微电子技术纳米光波导微纳尺度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名平行缝焊微电子器件的光学检漏被引量：1: 1; 作者张泽丰徐达谭亮魏少伟马紫成; 机构中国电子科技集团公司第十三研究所沈阳航天新乐有限责任公司; 出处《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期285-291,共7页; 文摘光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测结果的影响,分析了光学检漏的“充压”问题并给出解决方案,对比了光学检漏与氦质谱检漏的检测漏率。分析了光学检漏技术的优缺点,并通过实验验证了光学检漏的可行性及可靠性,为微电子器件的光学检漏应用提供参考。; 关键词微电子器件光学检漏平行缝焊密封氦质谱检漏; Keywords microelectronic device optical leakage detection parallel seam welding seal helium mass spectrometry leakage detection; 分类号 TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械惯性器件被引量：3: 2; 作者吕志清吴旭峰; 机构四川压电与声光技术研究所; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第6期375-380,共6页; 文摘微电子加工技术和振动惯性技术相结合使惯性仪表技术发生了重大变革，惯性器件的概念已从宏观领域发展到微观世界，人们已能象生产集成电路那样来生产惯性器件，这类惯性器件被称为微机械惯性器件。文章叙述了微机械惯性器件的发展状况、技术趋势及市场预测。; 关键词惯性器件微电子机械加工惯性测量组合陀螺; Keywords inertial device, microelectronic machining technology, IMU; 分类号 V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计] O318 [理学—一般力学与力学基础]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名二元光学——九十年代的光学技术: 3; 作者陈岩松; 机构中国科学院物理研究所; 出处《量子电子学报》 CAS CSCD 1992年第1期43-44,共2页; 文摘以光的衍射原理为基础的二元光学,近年来受到人们的极大重视,被喻称为九十年代的光学技术。因为二元光学器件虽然还不能完全取代传统的折射光学器件,但它有更广泛的应用范围和更好的工作效果,且具有造价低廉与重量轻便的优点。所以,二元光学的发展前途是非常良好的。近年来飞速发展的半导体微电子工艺技术,又为研制高质量的二元光学器件提供了良好的技术设备基础。; 关键词二元光学器件光学技术九十年代微电子工艺技术设备基础折射光学光的衍射理为基础应用范围工作效果; 分类号 TN201-55 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名集成光学: 4; 作者林崇杰; 机构成都电讯工程学院; 出处《四川激光》 1983年第4期236-243,共8页; 文摘一、概述 70年代初，低损耗光纤的出现开拓了光通讯实用化的前景，对于可靠的通讯系统，紧凑的光学器件以及对它们的集成是非常需要的。显然，集成光学的目的就是要使光学器件系统小型化、集成化。至于集成到什么样的规模，人们的想像肯定会受到微电子学成功的鼓舞。; 关键词集成光学通讯系统光学器件微电子学实用化光通讯低损耗小型化集成化光纤; 分类号 TN25 [电子电信—物理电子学] TN914 [电子电信—通信与信息系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高能电子束纳米曝光系统的研制: 5; 作者田丰韩立顾文琪; 机构中国科学院电工研究所; 出处《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期641-642,共2页; 关键词高能电子束纳米曝光系统微电子产业半导体器件光学光刻技术电子束曝光技术高分辨; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名8～12μm红外图像生成装置被引量：1: 6; 作者王宏杰钱丽勋李卓王欣林栩凌; 机构北京理工大学光电学院中国电子科技集团公司第十三研究所第十六专业部北京空间机电研究所; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期466-470,共5页; 基金国家自然科学基金(61205116)~~; 文摘介绍了一种将可见光图像转换为红外图像的装置.装置的核心器件是利用MEMS工艺制作的可见光/红外图像转换芯片.红外图像生成装置包括可见光图像生成系统、可见光/红外图像转换系统以及红外图像投影光学系统三部分.红外图像生成装置产生的红外图像辐射波段覆盖8~12μm,分辨率达到了20 lp/mm,可模拟温度范围为20~150℃,图像非均匀性小于5%,几何畸变小于3%.; 关键词红外图像生成技术半实物仿真光学微电子机械加工器件; Keywords infrared image generation technology, hardware-in-the-loop （ HWIL）, optical micro-elec- tro-mechanical devices; 分类号 TN214 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PZT铁电薄、厚膜及其制备技术研究进展被引量：9: 7; 作者夏冬林刘梅冬徐慢赵修建; 机构武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室华中科技大学电子科学与技术系; 出处《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第10期64-67,共4页; 基金国家高技术研究发展计划新材料领域基金(863-715-002-0100); 文摘铁电薄、厚膜材料具有良好的铁电、压电、热释电、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有许多重要的应用。近年来,随着铁电薄、厚膜制备技术的发展,PZT厚膜材料及厚膜器件成为科学工作者研究的热点。介绍了PZT铁电薄、厚膜材料与器件的研究进展以及PZT铁电薄、厚膜制备技术及几种典型的PZT铁电薄、厚膜材料制备技术的特点,并指出了目前存在的一些问题和未来的发展方向。; 关键词厚膜材料铁电 PZT 集成光学微电子学热释电光电子学器件压电; Keywords PZT ferroelectric thin films ferroelectric thick films preparation technology; 分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程] TN452 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Cu-Ni多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究被引量：2: 8; 作者谭军谢天生张广平; 机构沈阳材料科学国家(联合)实验室; 出处《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期278-278,共1页; 基金中国科学院"百人计划" 国家重点基础研究发展计划(973)资助项目(No.2004CB619303).; 关键词纳米压痕技术金属多层膜变形结构微电子机械系统载荷-位移曲线微观测试技术力学参量光学器件; 分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名“微纳光子学”专题导读: 9; 作者李志远宋清海; 机构华南理工大学物理与光电学院哈尔滨工业大学(深圳); 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期1-2,共2页; 文摘随着电子器件小型化需求的不断提升,微电子技术的发展受到限制。相对而言,微纳尺度上光学现象及微纳光电子器件的研究起步较晚,但随着光子学与微纳加工技术的发展,微纳光子学逐渐兴起且受到越来越多的关注。微纳光子学主要研究在微纳尺度下光与物质相互作用的规律及其在光的产生、传输、调控、探测和传感等方面的应用,包括微纳光子学理论、微纳光纤及纳米光波导、光学微腔及应用、硅基光子学、微纳光子学器件等。; 关键词光子学光电子器件微纳加工技术光学微腔微纳光纤微电子技术纳米光波导微纳尺度; 分类号 TN03 [电子电信—物理电子学] O43 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	平行缝焊微电子器件的光学检漏	张泽丰徐达谭亮魏少伟马紫成	《半导体技术》 CAS 北大核心	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	微机械惯性器件	吕志清吴旭峰	《压电与声光》 CSCD 北大核心	1997	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	二元光学——九十年代的光学技术	陈岩松	《量子电子学报》 CAS CSCD	1992	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	集成光学	林崇杰	《四川激光》	1983	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	高能电子束纳米曝光系统的研制	田丰韩立顾文琪	《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心	2003	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	8～12μm红外图像生成装置	王宏杰钱丽勋李卓王欣林栩凌	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2017	1	在线阅读下载PDF 职称材料
7	PZT铁电薄、厚膜及其制备技术研究进展	夏冬林刘梅冬徐慢赵修建	《材料导报》 EI CAS CSCD	2004	9	在线阅读下载PDF 职称材料
8	Cu-Ni多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究	谭军谢天生张广平	《电子显微学报》 CAS CSCD	2005	2	在线阅读下载PDF 职称材料
9	“微纳光子学”专题导读	李志远宋清海	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2022	0	在线阅读下载PDF 职称材料