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题名外参数激励MOEMS扫描镜动力学过程与追踪控制
被引量：1
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作者
王肖伊
王琪
李赟玺
杨亚非
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机构
哈尔滨工业大学航天学院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017年第9期135-141,共7页
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基金
国家自然科学基金(65175054)
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文摘
随着MOEMS扫描镜的发展,其较高的谐振频率及IC兼容的低成本等优点在激光3D图像传感器中应用前景广阔,研究外参数激励MOEMS扫描镜动力学特性与控制问题具有重要的理论和应用价值。从欧拉方程出发,建立静电驱动MOEMS扭转动力学模型,利用四阶Runge-Kutta算法仿真表明:在外参数指令信号激励下,MOEMS扫描镜扭转状态经历阻尼运动、周期、倍周期和混沌等动力学过程,其中周期运动存在着一个较大的参数控制范围。根据Lyapunov稳定性理论,设计了一种连续混沌系统追踪控制器,使受控的MOEMS扫描镜扭转状态收敛于任意期望的指令信号。实验表明,李萨如图指令信号适用于激光3D图像传感器;几何矢量指令信号适用于激光3D打印系统,理论分析与实验相一致。
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关键词
激光图像传感器
光学微机电系统
振动分析
机器人和机器控制
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Keywords
laser image sensor
micro-opto-electro-mechanical system
vibration analysis robotic and machine control
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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题名一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器
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作者
李海军
杨拥军
王建军
徐永青
郑七龙
陈维友
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1731-1734,共4页
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文摘
介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对器件的机械模型结构和光耦合模型结构进行了分析.测试表明器件的动态衰减范围≥50dB,插入损耗≤0.8dB,回波损耗≤-45dB,波长相关损耗≤0.2dB,偏振相关损耗≤0.25dB,响应时间<1ms.
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关键词
微机械
光学微机电系统
可变光衰减器
波分复用
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Keywords
MEMS
MOEMS
VOA
WDM
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分类号
TN253
[电子电信—物理电子学]
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