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圆锥量规锥度的高精度光学干涉法测量 被引量:4
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作者 康岩辉 张恒 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2551-2557,共7页
针对超精密数控机床对圆锥量规锥度高精度测量的需求,研究了一种将"大数"和"小数"相结合,准确测量圆锥量规锥度的方法。介绍了锥度测量系统的基本原理及组成,给出了实验测量结果,分析了测量系统的不确定度。该测量... 针对超精密数控机床对圆锥量规锥度高精度测量的需求,研究了一种将"大数"和"小数"相结合,准确测量圆锥量规锥度的方法。介绍了锥度测量系统的基本原理及组成,给出了实验测量结果,分析了测量系统的不确定度。该测量方法利用最大分度间隔误差为0.10″的多齿分度台构成高准确度分度系统保证测量"大数"部分的准确性,采用激光偏振干涉装置及精密回转工作台组成小角度测量系统保证测量"小数"部分的精度,而双光束白光干涉系统实现了测量位置的精确定位。实验和分析结果表明,该方法在不确定度置信因子k为2时,锥度测量系统的扩展不确定度约为0.24″,优于0.3″,可实现圆锥量规任意锥度的高精度测量。 展开更多
关键词 光学干涉法 圆锥量规 锥度测量
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光学干涉法在航天阀门产品表面粗糙度测量中的应用 被引量:6
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作者 刘姗姗 刘大亮 +4 位作者 刘兆宾 樊莉 刘国华 汪禹宁 赵薇 《制造技术与机床》 北大核心 2017年第3期116-120,共5页
航天阀门产品如活门壳体、阀芯等,其密封面处表面粗糙度的加工精度,对阀门密封性能起着至关重要的作用。采用垂直扫描光学干涉法,根据产品材质和表面形状等特性设置不同的测量参数,获得活门壳体平面形密封面、R形密封面和非金属阀芯密... 航天阀门产品如活门壳体、阀芯等,其密封面处表面粗糙度的加工精度,对阀门密封性能起着至关重要的作用。采用垂直扫描光学干涉法,根据产品材质和表面形状等特性设置不同的测量参数,获得活门壳体平面形密封面、R形密封面和非金属阀芯密封面表面粗糙度的测量图像及测量结果。经测量不确定度分析,扩展相对不确定度小于10%,满足测量精度的要求,实现了毫米级小尺寸平面和曲面表面粗糙度的高精度非接触测量。 展开更多
关键词 阀门 光学干涉法 表面粗糙度 非接触测量
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基于光学干涉法的光学元件表面粗糙度检测技术 被引量:3
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作者 宋永 刘德春 《激光杂志》 CAS 北大核心 2023年第2期226-230,共5页
为实现光学元件表面微小粗糙度的精准、详细检测,研究基于光学干涉法的光学元件表面粗糙度检测技术。该技术采用基于集成光学干涉成像技术对光学元件表面干涉成像,通过改进的Niblack二值化算法提取元件表面干涉图像条纹信息,并基于节点... 为实现光学元件表面微小粗糙度的精准、详细检测,研究基于光学干涉法的光学元件表面粗糙度检测技术。该技术采用基于集成光学干涉成像技术对光学元件表面干涉成像,通过改进的Niblack二值化算法提取元件表面干涉图像条纹信息,并基于节点迭代的去毛刺方法细化处理干涉条纹,利用最小二乘方法拟合干涉条纹,获取最小二乘拟合直线得出评定基准,建立评定表面粗糙度的高度参数和间距参数的数学模型,完成粗糙度检测。测试结果显示:该技术干涉成像能力较强,生成的光学透镜元件干涉图像弧度与边缘较为清晰,可有效去除干涉条纹毛刺,检测光学元件表面粗糙度时的真正类率最大数值已达到1.0。 展开更多
关键词 光学干涉法 光学元件 表面粗糙度 检测技术 干涉成像 干涉条纹 拟合直线 评定基准
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光学干涉法同时测定二氧化硅薄膜折射率和厚度
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作者 何秀坤 李光平 +2 位作者 王琴 郑驹 阎萍 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第6期47-49,共3页
本文利用二氧化硅薄膜的光学干涉效应和可变角度反射测量装置,给出了一种同时测定薄膜折射率和厚度的新方法.薄膜折射率和厚度的测量误差分别小于5%和6%.
关键词 光学干涉法 二氧化硅 薄膜 厚度
全文增补中
有机玻璃中溶剂迁移现象的钠光测试方法
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作者 刘缠牢 李党娟 +1 位作者 吴慎将 徐昌杰 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 2006年第5期49-52,共4页
提出一种基于钠光和斐索干涉原理、采用数字图像处理技术测量高聚物体系中溶剂迁移现象的方法。重点介绍了图像处理的步骤和方法、用K-L变换对细化条纹进行条纹间距的计算。结果表明,用该方法所开发的测试系统有良好的人机对话界面,能... 提出一种基于钠光和斐索干涉原理、采用数字图像处理技术测量高聚物体系中溶剂迁移现象的方法。重点介绍了图像处理的步骤和方法、用K-L变换对细化条纹进行条纹间距的计算。结果表明,用该方法所开发的测试系统有良好的人机对话界面,能方便、准确地测出干涉条纹的间距值。通过测试丙酮和乙醇在有机玻璃配制的聚合物膜中的迁移过程,得出了相应的干涉条纹变化规律,从而得到两种溶剂迁移过程中高聚物折射率的变化规律。结果表明,在迁移的过程中,随着时间的推移,条纹间距变小,而且变化程度逐渐减小;在同样的条件下,不同物质的迁移速度有很大的差异。 展开更多
关键词 物理化学 高分子材料 迁移现象 图像处理 光学干涉法
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受限管道内移动气泡的液膜界面形貌研究
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作者 张一迪 马磨云 +4 位作者 曹旭博 李中南 李真珍 刘青泉 滕宏辉 《力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期2522-2532,共11页
受限管道中的气泡移动在诸如二氧化碳填埋与驱油、心脑血管和肺部气液输运等领域具有重要的应用,液膜动力学以及气-液界面的形貌演变这些关键问题受到关注.文章旨在通过基于光干涉的实验方法,探究气泡在受限管道内移动过程中,气体与管... 受限管道中的气泡移动在诸如二氧化碳填埋与驱油、心脑血管和肺部气液输运等领域具有重要的应用,液膜动力学以及气-液界面的形貌演变这些关键问题受到关注.文章旨在通过基于光干涉的实验方法,探究气泡在受限管道内移动过程中,气体与管壁间的液膜相对厚度分布,并分析其变化规律,得到周期性变速移动气泡引起的液膜厚度特征.通过液滴微流控的流动聚焦法,分别在蛇形延长管道和平直短管道内形成了匀速移动的气泡和变速移动气泡.利用绿色光在气-液和液-固界面产生的两道反射光之间干涉所形成的条纹,通过相对光干涉强度(ROII)方法得到液膜厚度分布.发现在与气泡固连的参考系中,匀速移动气泡引起的液膜厚度呈稳态分布,且得到了与以往的研究工作相符的、接近气泡尾部的马鞍形厚度分布,证明了该实验方法的有效性.在气泡进行周期性减速—加速—匀速的移动过程中,气泡参考系内的液膜厚度呈现了随时间周期性变化的厚度分布.气泡加速与减速均引起了界面形貌的整体变化,且体现出了滞后性.本研究发现了变速移动气泡特殊的液膜厚度演变规律,将为针对受限管道内气泡的理论和计算研究提供实验观测的依据. 展开更多
关键词 微流控 气泡动力学 液膜流动 流动聚焦 光学干涉法
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波长轮换与相移扫描相结合的表面形貌测量系统 被引量:4
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作者 杨练根 何浪 +2 位作者 王选择 刘文超 何涛 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2466-2472,共7页
用光学显微干涉法进行表面形貌测量时其深度测量范围的扩大和形貌测量精度的提高是一对矛盾。为此,本文设计出了一种基于波长轮换与相移扫描相结合的三波长表面形貌测量系统,并提出了一种基于椭圆拟合与相位差大小尺度相结合的相位提取... 用光学显微干涉法进行表面形貌测量时其深度测量范围的扩大和形貌测量精度的提高是一对矛盾。为此,本文设计出了一种基于波长轮换与相移扫描相结合的三波长表面形貌测量系统,并提出了一种基于椭圆拟合与相位差大小尺度相结合的相位提取与识别算法。将这种算法运用于多波长干涉图像的数据处理,有效地提高了形貌的整体测量精度,并拓展了深度测量范围。实验结果表明:在深度测量范围扩大近15倍的条件下,采用粗糙度国家基准校准的方波多刻线样板得到的表面粗糙度数据与校准数据的相对误差仅为4.12%,表明该系统在一定的深度范围内能够实现表面形貌的高精度测量。另外,针对该系统设计的多波长相位识别算法对环境噪声要求不高,可以支持系统的高噪声或在线测量。 展开更多
关键词 表面形貌测量 相移干涉 波长轮换 相移扫描 光学显微干涉
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