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题名一维光子晶体与光学多层介质膜
被引量：8
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作者
陈慰宗
申影
刘军
卜涛
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机构
西北大学物理系
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第9期1081-1084,共4页
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基金
西北大学校内科研基金资助
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文摘
本文阐述了一维光子晶体和光子禁带的概念，对比了一维光子晶体与光学多层介质膜在结构和特性方面的联系和差别，运用薄膜光学的理论和方法讨论了多层介质膜的高反射带与光子禁带和膜系结构参量的关系.
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关键词
一维光子晶体
光子禁带
高反射带
光学多层介质膜
薄膜光学
膜系结构参量
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Keywords
Photonic crystal
Photonic band gap
One-dimensional photonic crystal
High reflection multilayer dielectric film
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分类号
O734
[理学—晶体学]
O484.41
[理学—固体物理]
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题名基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
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作者
匡尚奇
张超
李硕
杨海贵
霍同林
周洪军
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机构
长春理工大学理学院
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期46-54,共9页
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基金
国家自然科学基金青年基金(No.61405189)
吉林省科技发展计划(Nos.20150101019JC
20170312024ZG)资助~~
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文摘
提出了一种基于量子遗传算法的宽带极紫外多层膜的离散化设计方法,解决了在膜系设计中普遍采用的遗传算法存在求解精度低的问题.同时在基于量子遗传算法的膜系设计方法中对膜系进行了离散化设计,解决了在仅由时间控制膜厚且沉积速率较大的镀膜系统中的膜厚高精度控制的问题.依据量子遗传算法的膜系设计结果采用磁控溅射镀膜系统镀制宽带极紫外多层膜.测试结果表明,宽角度极紫外多层膜的入射角为0°~15°,反射率达45%以上;宽光谱极紫外多层膜的入射波长为13~15nm,反射率达20%以上.相关研究工作为宽带极紫外多层膜的研发提供了另一种可供选择的且较优的搜索优化算法,同时该算法结合实验,实现膜厚的离散化设计,使镀制出的多层膜具有较好的光谱性能.
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关键词
光学多层膜
膜系设计
量子遗传算法
宽带极紫外多层膜
离散化设计
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Keywords
Optic multilayer
Design of multilayer coating
Quantum state genetic algorithm
Broadband extreme-ultraviolet multilayer
Discrete design
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分类号
O434
[机械工程—光学工程]
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题名溅射气压对Ti/Al多层膜结构和热稳定性的影响
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作者
田维
郭巧杭
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机构
天津城市建设学院基础学科部
福建工程学院数理系
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出处
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2011年第7期30-33,共4页
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文摘
为研究Ti/Al多层膜的结构和热稳定性与溅射气压的关系,采用对向靶直流磁控溅射法在0.5、2.0 Pa的溅射气压下制备了Ti/Al软X射线光学多层膜(Λ=9.25 nm,Γ=0.3,N=20),并采用低角度X射线衍射、高角度X射线衍射和原子力显微镜对其结构和热稳定性进行表征。发现:低溅射气压(0.5 Pa)下制备的多层膜具有相对高质量、有序的结晶层,导致了相对较小的表面粗糙度,热稳定性好;高溅射气压(2.0 Pa)下制备的多层膜周期性结构相对较差,晶向较为无序,表面粗糙度较大,结构热稳定性差。可见,Ti/Al多层膜的结构和热稳定性是溅射气压的函数,低溅射气压下制备的多层膜会获得更好的结构和热稳定性。
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关键词
Ti/Al软X射线光学多层膜
溅射气压
微结构
热稳定性
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Keywords
Ti/Al soft X-ray multilayer
sputtering pressure
microstructure
thermal stability
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分类号
O484.5
[理学—固体物理]
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