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光学弱相干反射测量系统频谱分析
被引量：
1
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作者
曾绍群
徐海峰
+2 位作者
刘贤德
骆清铭
李再光
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1997年第2期136-139,共4页
本文在弱物体近似下从成象系统角度研究了光学弱相干反射测量术，分析了该技术测量时信号的形成机理．结果表明它相当于一线性平移不变系统，具有高通滤波特性，直接测量的是缺陷分布的高频信息．本文的工作为定量分析测量结果及进一步...
本文在弱物体近似下从成象系统角度研究了光学弱相干反射测量术，分析了该技术测量时信号的形成机理．结果表明它相当于一线性平移不变系统，具有高通滤波特性，直接测量的是缺陷分布的高频信息．本文的工作为定量分析测量结果及进一步提高空间分辨率提供了理论依据．
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关键词
光学反射测量术
系统分析
光学
检测
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职称材料
题名
光学弱相干反射测量系统频谱分析
被引量：
1
1
作者
曾绍群
徐海峰
刘贤德
骆清铭
李再光
机构
华中理工大学光电子系
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1997年第2期136-139,共4页
文摘
本文在弱物体近似下从成象系统角度研究了光学弱相干反射测量术，分析了该技术测量时信号的形成机理．结果表明它相当于一线性平移不变系统，具有高通滤波特性，直接测量的是缺陷分布的高频信息．本文的工作为定量分析测量结果及进一步提高空间分辨率提供了理论依据．
关键词
光学反射测量术
系统分析
光学
检测
Keywords
Optical reflectometry
System analysis
Optical testing
分类号
O435.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光学弱相干反射测量系统频谱分析
曾绍群
徐海峰
刘贤德
骆清铭
李再光
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1997
1
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