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题名基于后焦面成像的聚合物平面波导光学参数测量仪
被引量：1
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作者
施矾
朱良富
邱冬
张斗国
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机构
中国科学技术大学光学与光学工程系
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出处
《量子电子学报》
CSCD
北大核心
2017年第3期374-378,共5页
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基金
国家自然科学基金,11374286,61427818
国家科技部973项目,2013CBA01703
安徽省杰青青年科学基金,1608085J02~~
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文摘
基于后焦面成像确定波导传播特性的基本原理,结合平面波导中的菲涅尔反射理论,设计了一种聚合物平面波导光学参数测量仪。通过MATLAB拟合处理数据实现了对样品局部折射率和厚度高精度、高空间分辨率的实时测量,平面波导厚度测量精度可以达到纳米量级,空间分辨率可达到300 nm。该测量仪结构简单、易于操作,在光学传感和细胞内生物传感领域具有很高的应用价值。
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关键词
波导光学
后焦面成像
光学参数测量仪
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Keywords
waveguide optics
back focal plane imaging
optical parameter measuring instrument
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分类号
TN252
[电子电信—物理电子学]
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